【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种主要用于扫描电镜的电子背散射衍射图像接收装置，属于一种电子光学仪器。扫描电镜是当今得到普遍应用的大型分析仪器、广泛应用于材料科学、生命科学、微电子学、农业、环境、地矿、医学、公安等众多领域，是进行显微观察及成分分析的重要手段。扫描电镜电子背散射衍射装置是用于获取块状样品中各种大小晶粒的晶体结构、晶粒间的取向关系等晶体学信息。这一技术的开发和研制扩展了扫描电镜的应用范围，使扫描电镜不仅能对材料进行形貌观察和成分分析，而且也能对材料进行晶体结构、晶粒取向等晶体学特征的分析。使晶体材料的组织、成分和取向一一对应起来，将研究材料的成分和结构在扫描电镜上有机的联系起来。但由于扫描电镜电子背散射衍射装置和相应的软件价格昂贵，国内用户难于大量购置和普遍使用。本技术的目的是设计一种扫描电镜的接收装置，其结构合理，能够与现有电镜连接安装，接收电子背散射衍射图像，降低成本，扩大扫描电镜的工作范围，提高扫描电镜工作质量。本技术所设计的扫描电镜的接收装置，主要由电光转换器、X-射线防护装置、摄像机、摄像机控制单元、电子束扫描控制单元及计算机构成，电光转换器、X-射线防...
【技术保护点】
一种扫描电镜的接收装置，其特征是：主要由电光转换器、Ｘ－射线防护装置、摄像机、摄像机控制单元、电子束扫描控制单元及计算机构成，光电转换器、Ｘ－射线防护装置、摄像机通过连接装置固定安装于扫描电镜为波谱仪预留的窗口处，摄像机控制单元和电子束扫描控制单元由采集卡及扫描卡构成，其插装于计算机主板上，摄像机通过连接线与计算机中采集卡接口连接，计算机的控制信号通过扫描卡及连接线控制扫描电镜内电子束的扫描。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：孙丽虹，刘安生，邵贝羚，孙继光，陈朝庆，胡广勇，张希顺，
申请(专利权)人：北京有色金属研究总院，
类型：实用新型
国别省市：11[]
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