振动装置和驱动装置制造方法及图纸

提供一种能够可靠地使水滴移动的振动装置。本发明专利技术的振动装置(1)包括：具有压电振子(5A)(振子)的振动元件(2)；以及使振动元件(2)振动的驱动装置(12)。振动元件(2)具有透光体(4)，压电振子(5A)与驱动装置(12)电连接。驱动装置(12)具有：第1电路，其向压电振子(5A)施加电信号，以使振动元件(2)成为共振状态；第2电路，其向压电振子(5A)施加与从压电振子(5A)输出的反馈信号相应的电信号；以及转换器，其在一定的时机对第1电路与压电振子(5A)的连接和第2电路与压电振子(5A)的连接进行切换。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】振动装置和驱动装置
本专利技术涉及一种振动装置和驱动装置。
技术介绍
以往在作为监视装置使用的摄影机等成像设备中，要求其视野始终清楚。特别是在车载用途等在室外使用的摄影机中，提出了各种用于去除雨滴等水滴的机构。在下述的专利文献1中公开了一种配置于摄影机主体的前方的具有透光性部分的振动装置。通过使包含上述透光性部分的板状体振动，使水滴移动且雾化。在该振动装置中，利用高阶的共振模式，使得振动的波腹位于板状体的中央部以外的部分。在此，在振动时，水相对于板状体的表面张力在振动的波腹部分和振动的波节部分是不同的。上述各位置处的表面张力之差成为驱动力，使水滴朝向振动的波腹移动，之后进一步使水滴雾化，而确保视野。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2017-229008号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题然而，在专利文献1所记载的振动装置中，由于将上述各位置处的表面张力之差作为驱动力，因此水滴的移动的容易程度依赖于距振动的波腹的距离。因此，有时板状体的中央部等距振动的波腹较远的部分的水滴会残留。另一方面，在为了可靠地去除水滴而增大振幅的情况下，需要增大驱动电压，存在效率降低的问题。本专利技术的目的在于提供一种能够可靠地使水滴移动的振动装置和驱动装置。用于解决问题的方案本专利技术的振动装置包括：具有振子的振动元件；以及使所述振动元件振动的驱动装置，所述振动元件具有透光体，所述振子与所述驱动装置电连接，所述驱动装置具有：第1电路，其向所述振子施加电信号，以使所述振动元件成为共振状态；第2电路，其向所述振子施加与从所述振动元件输出的反馈信号相应的电信号；以及转换器，其在一定的时机对所述第1电路与所述振子的连接和所述第2电路与所述振子的连接进行切换。本专利技术的驱动装置是使具有振子的振动元件振动的驱动装置，其中，该驱动装置包括：第1电路，其向所述振子施加电信号，以使所述振动元件成为共振状态；第2电路，其向所述振子施加与从所述振动元件输出的反馈信号相应的电信号；以及转换器，其在一定的时机对所述第1电路与所述振子的连接和所述第2电路与所述振子的连接进行切换。专利技术的效果根据本专利技术，能够提供一种能够可靠地使水滴移动的振动装置和驱动装置。附图说明图1是本专利技术的第1实施方式的振动装置的局部剖切立体图。图2是具有本专利技术的第1实施方式的振动装置的成像设备的正面剖视图。图3是本专利技术的第1实施方式的振动元件的立体图。图4是本专利技术的第1实施方式的驱动装置的示意性电路图。图5是示意性地表示向本专利技术的第1实施方式的压电振子施加的电信号的图。图6是用于说明本专利技术的第1实施方式的振动元件的振动模式的振动元件的示意性正面剖视图。图7是用于说明本专利技术的第1实施方式的振动元件的振动模式的振动元件的示意性立体图。图8是本专利技术的第1实施方式的变形例的压电振子的俯视图。图9是示意性地表示向本专利技术的第2实施方式的压电振子施加的电信号的图。图10是示意性地表示本专利技术的第3实施方式的振动元件的位移的电信号和向压电振子施加的电信号的图。图11是用于说明参考例的振动元件的混响振动的图。图12是本专利技术的第3实施方式的驱动装置的示意性电路图。图13是本专利技术的第3实施方式的振动元件的立体图。图14是本专利技术的第4实施方式的振动装置的正面剖视图。图15是本专利技术的第5实施方式的振动装置的正面剖视图。图16是本专利技术的第6实施方式的振动装置的正面剖视图。图17是本专利技术的第7实施方式的成像设备的正面剖视图。图18是本专利技术的第8实施方式的振动装置的正面剖视图。图19是本专利技术的第8实施方式的变形例的振动装置的正面剖视图。具体实施方式以下通过参照附图说明本专利技术的具体的实施方式，从而阐明本专利技术。另外，预先指出的是，本说明书所记载的各实施方式是例示性的，在不同的实施方式之间，能够进行结构的部分替换或者组合。图1是第1实施方式的振动装置的局部剖切立体图。图1所示的振动装置1是通过振动使水滴、异物移动而从摄像元件的视野内去除水滴、异物的振动装置。振动装置1具有振动元件2、用于保持振动元件2的壳体构件9、驱动装置12。振动元件2与驱动装置12电连接。图2是具有第1实施方式的振动装置的成像设备的正面剖视图。在由振动元件2和壳体构件9包围的内部空间内配置有用单点划线表示的摄像元件10A。由此构成作为本专利技术的一实施方式的光学检测装置的成像设备10。成像设备10具有振动装置1和摄像元件10A。作为摄像元件10A，例如能够列举出接受从可见区域到远红外区域的任意波长的光的CMOS、CCD、辐射热测量计、热电堆等。作为成像设备10，例如能够列举出摄影机、Radar、LIDAR设备等。另外，也可以在上述内部空间内配置摄像元件10A以外的光学地检测能量线的光学检测元件。作为所检测的能量线，例如可以是电磁波、红外线等活性能量线。光学检测元件的检测区域包含在后述的透光体部中。在图2所示的成像设备10中，摄像元件10A的视野包含在透光体部中。图3是第1实施方式的振动元件的立体图。振动元件2为大致圆板状。更具体而言，振动元件2具有在中央部具有开口部3c的大致圆板状的振动体3。振动体3具有互相相对的第1主面3a和第2主面3b。第1主面3a是振动装置1的外侧的主面，第2主面3b是上述内部空间侧的主面。延长部3d从开口部3c在第1主面3a的外周缘沿着与第1主面3a垂直的方向延伸。另外，也可以不设置延长部3d。回到图2，在振动体3的延长部3d上以覆盖开口部3c的方式设有透光体4。透光体4由透光性材料构成。作为透光性材料，例如能够使用透光性的塑料、玻璃或者透光性的陶瓷等。另外，本说明书中的透光性是指，至少上述光学检测元件所检测的波长的能量线、光透过的透光性。在本实施方式中，振动体3和透光体4的俯视时的形状为圆形，但并不限定于此，既可以是大致椭圆形，或者也可以是矩形、多边形等。透光体4为圆板状，但也可以是圆顶状等。压电振子5A和压电振子5B以隔着开口部3c互相相对的方式设于振动体3的第2主面3b上。振动元件2的压电振子5A和压电振子5B与驱动装置12连接。压电振子5A具有矩形板状的压电体6。压电体6例如由Pb(Zr、Ti)O3、(K、Na)NbO3等适当的压电陶瓷或者LiTaO3、LiNbO3等适当的压电单晶构成。另外，压电体6的形状并不限定于上述。压电振子5A具有设于压电体6的一个主面上的第1电极7a和反馈电极7c。第1电极7a和反馈电极7c分割地设置。压电振子5A在压电体6的另一个主面上具有以与第1电极7a相对的方式设置的第2电极7b。在本实施方式中，第1电极7a和反馈电极7c与驱动装置12电连接。第2电极7b与接地电位连接。压电振子5B也与压电振子5A同样地构成。压电振子5A本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种振动装置，其中，该振动装置包括：/n具有振子的振动元件；以及/n使所述振动元件振动的驱动装置，/n所述振动元件具有透光体，所述振子与所述驱动装置电连接，/n所述驱动装置具有：第1电路，其向所述振子施加电信号，以使所述振动元件成为共振状态；第2电路，其向所述振子施加与从所述振动元件输出的反馈信号相应的电信号；以及转换器，其在一定的时机对所述第1电路与所述振子的连接和所述第2电路与所述振子的连接进行切换。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180522 JP 2018-0979001.一种振动装置，其中，该振动装置包括：
具有振子的振动元件；以及
使所述振动元件振动的驱动装置，
所述振动元件具有透光体，所述振子与所述驱动装置电连接，
所述驱动装置具有：第1电路，其向所述振子施加电信号，以使所述振动元件成为共振状态；第2电路，其向所述振子施加与从所述振动元件输出的反馈信号相应的电信号；以及转换器，其在一定的时机对所述第1电路与所述振子的连接和所述第2电路与所述振子的连接进行切换。


2.根据权利要求1所述的振动装置，其中，所述第2电路根据所述反馈信号向所述振子施加使所述振动元件的振动放大的电信号。


3.根据权利要求1或2所述的振动装置，其中，所述第2电路根据所述反馈信号向所述振子施加使所述振动元件的振动衰减的电信号。


4.根据权利要求1～3中任一项所述的振动装置，其中，在一定的时机从所述第2电路向所述振子施加由所述第1电路产生的电信号的波长的半波长量的电信号。


5.根据权利要求3所述的振动装置，其中，在一定的时机从所述第2电路向所述振子施加所述振动元件的振动的波长的多个波长的量的电信号。


6.根据权利要求5所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：藤本克己，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：日本;JP