用于清洁印刷装置的装置和方法制造方法及图纸

一种用于生产半导体电池的设备，所述设备包括：印刷装置，用于在半导体电池上印刷；监控装置，经构造以监控所述印刷的半导体电池的特征；和清洁装置，经构造为用于基于所述半导体电池的监控的特征来清洁印刷装置的至少一个部分。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于清洁印刷装置的装置和方法
本公开内容的实施方式涉及用于生产半导体电池的设备。所述设备包括：印刷装置，用于在半导体电池上印刷；监控装置，经构造以监控印刷的半导体的特征；和清洁装置，经构造为用于基于半导体电池的监控的特征来清洁印刷装置的至少一个部分。
技术介绍
半导体电池在许多现代工业领域中都使用到，例如在电子工业或太阳能电池工业中。在半导体电池的生产中应用的工艺具有化学组分和物理组分。除了化学涂覆工艺、蚀刻和清洁工艺外，也使用了物理方法，诸如物理涂覆和清洁工艺、离子注入、结晶或温度工艺(例如漫射、加热和熔化)。其他工艺使用化学和物理工艺两者，诸如光刻或化学机械平面化。另外，多种测量方法用于表征和工艺控制。对于(微)电子电路的生产，半导体技术工艺以某种序列而应用在基板上。基板通常为半导体晶体(通常为硅)薄片，例如薄于1毫米的晶片。特别在集成电路生产中，电子部件和组件的功能在近表面(例如，低于100纳米的深度)区域中实现。在该
中，晶片的材料性质，尤其电性质被特定地改性和织构。丝网印刷很早就已在电子工业中用来在基板的表面上印刷电子部件设计，诸如电触点或互连。现有技术半导体电池，尤其太阳能电池的制造工艺，也使用了丝网印刷工艺。由于技术发展，在基板上、或在半导体电池上形成的结构变得越来越小且越来越精细，从而增强电池性能。例如，工业旨在提高太阳能电池的效率。由于对高功率的半导体电池的较高需求，半导体电池的生产也变得越来越复杂，其中成本压力同时增加。为了精确印刷，印刷机必须被定期维护，这主要地包括印刷机的部件的清洁。对印刷机的定期清洁产生停机时间，尤其引起用于生产半导体电池的制造系统的生产停工。停机时间造成生产能力的较低的利用率和半导体电池的较高的成本。鉴于上述，本公开内容旨在提供带有印刷装置的生产半导体电池的设备和方法，所述设备和方法克服上述问题中的至少一些问题。本公开内容尤其旨在提供具有改善的清洁工艺的用于生产半导体的设备。此外，本公开内容尤其旨在提供用于在半导体电池设备中清洁印刷装置的改善的方法。
技术实现思路
鉴于上述，提供了包括印刷装置的用于生产半导体电池的设备、用于清洁印刷装置的清洁装置、用于使用清洁装置的设备和用于清洁印刷装置的方法。根据本公开内容的一个方面，提供了用于生产半导体电池的设备，所述设备包括用于清洁印刷装置的清洁装置。根据本公开内容的另一方面，提供了用于清洁印刷设备的清洁装置。根据本公开内容的另一方面，提供了用于使用清洁装置的设备。根据本公开内容的另一方面，提供了用于在半导体生产设备中清洁印刷装置的方法。附图说明为了可详细地理解本公开内容的上述特征结构所用方式，在上文简要概述的本公开内容的更具体的描述可以参考各个实施方式进行。随附附图涉及实施方式并且在以下附图中描述：图1A示出了用于生产半导体电池的设备100的示例性实施方式。图1B图示了印刷装置的示例性设计。图2A示出了运输构型160的示例性实施方式的示意图。图2B示出了包括转台的运输构型的示例性实施方式的示意性俯视图。图2C示出了半导体电池的示例性划分工艺的示意图。图3A示出了清洁装置的示例性实施方式的示意图。图3B示出了布置在印刷套150上的清洁装置的示例性实施方式的示意图。图4示出了运输构型的示例性实施方式的示意性侧视图。图5示出了用于生产半导体电池的设备的示例性实施方式的示意图。图6示出了图5的上部部分的放大图。图7示出了包括转台的运输构型的另一示例性实施方式的示意图。图8示出了半导体电池生产设备的另一实施方式的示意图，半导体电池生产设备包括带有滑闸轨道160的运输构型。图9A示出了由印刷装置印刷的半导体电池的示意图。图9B示出了类似于图9a中描绘的上述示例的太阳能电池的放大图，所述太阳能电池包括指状物中断部。图10示出了用于清洁半导体电池设备的印刷装置的方法的流程图。具体实施方式现在将详细地参考本公开内容的各种实施方式，实施方式的一个或多个示例在附图中示出。在以下对附图的描述中，描述关于个别实施方式的相同附图标记。每个示例通过以解释本公开内容的方式来提供，而不表示限制。作为一个实施方式的一部分示出或描述的其他特征可以用在其他实施方式上或与其他实施方式结合使用以产生另一实施方式。本说明书意图包括这样的修改和变化。在本公开内容中，提供用于生产半导体电池的设备。所述设备包括：印刷装置，用于印刷半导体电池；监控装置，经构造以监控半导体电池的特征；和清洁装置，经构造为用于基于半导体电池的监控的特征来清洁印刷装置的至少一个部分。参看图1A，描绘了用于生产半导体电池的设备100的示例性实施方式。所述设备包括运输构型160，其中运输构型160将半导体电池130传送至印刷装置120。监控装置140布置在位于印刷装置120下游的运输构型160处。监控装置140监控在印刷工艺之后的半导体电池130的特征。基于印刷的半导体电池的监控的特征，清洁装置210进行对印刷装置120的清洁。如在本文所述实施方式中使用的术语半导体电池可为选自由以下项组成的组群中的至少一个元件：导电材料、具有硅或氧化铝基的导电材料、板、晶片、半导体晶片、半导体、太阳能电池晶片、Si晶片、Si太阳能电池晶片、绿带电路板、以及尤其用于形成光生伏打电池或绿带电路的类似制品。例如，太阳能电池晶片或绿带电路板可提供作为半导体电池。术语半导体电池、电池、半导体或太阳能电池在本文可同义地使用。印刷装置可理解为用于在半导体电池上进行印刷的装置，其中印刷步骤包括将材料，诸如包含金属或电介质材料或类似者的浆料，放置在半导体电池上。图1B用于图示印刷装置的示例性设计。印刷装置120包括具有至少一个印刷工具128和印刷掩模125(例如，印刷丝网125)的印刷腔室122。印刷工具128可理解为用于施加将沉积在半导体电池130上的材料(未示出)的工具。印刷工具128推动材料穿过印刷丝网125沉积在半导体电池130上。印刷工具可例如理解为刮墨刀128，其可从印刷丝网125的一端移动至印刷丝网的另一端。通过在印刷丝网125上施加力，印刷工具128将材料施加在定位于印刷丝网125下方的半导体电池130上。监控装置可理解为包括至少一个传感器单元的传感器组件。传感器单元可为选自由以下项组成的组群中的至少一个元件：激光扫描器、示踪装置、电磁传感器、光学传感器、光学视觉系统、光学检验单元或声传感器等等。监控工艺可通过使用大量传感器单元来操作。监控装置可布置在运输路径处或接近于运输路径或沿运输路径的一个或多个区段布置。监控装置也可紧靠或邻近印刷装置布置。术语印刷的半导体电池的特征可理解为物理性质，例如印刷的半导体电池的电、机械、光学或材料组成性质等等。特别地，半导体电池的特征通过监控印刷的半导体电池的表面来监控。半导体电池的特征可包括上述物理性质的至少一个参数，例如印刷的半导体电池的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于生产半导体电池的设备，所述设备包括：/n印刷装置，用于在半导体电池上印刷；/n监控装置，经构造以监控所述印刷的半导体电池的特征；以及/n清洁装置，经构造为用于基于所述半导体电池的监控的特征来清洁所述印刷装置的至少一个部分。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种用于生产半导体电池的设备，所述设备包括：
印刷装置，用于在半导体电池上印刷；
监控装置，经构造以监控所述印刷的半导体电池的特征；以及
清洁装置，经构造为用于基于所述半导体电池的监控的特征来清洁所述印刷装置的至少一个部分。


2.如权利要求1所述的设备，其中提供有用于向所述印刷装置供应半导体电池的运输构型，所述运输构型在所述印刷装置与所述监控装置之间形成用于半导体电池的运输路径。


3.如权利要求2所述的设备，其中所述运输构型包括转台和/或滑闸。


4.如权利要求2或3所述的设备，其中
半导体电池支撑件布置在所述运输构型上，其中所述清洁装置可选地可布置在所述半导体电池支撑件上。


5.如权利要求1至4中任一项所述的设备，其中，所述监控装置经构造以将所述半导体电池划分成数个区段并且经构造以监控所述半导体电池的至少一个区段的特征，其中所述印刷装置的所述至少一个部分对应于所述半导体电池的至少一个区段。


6.如权利要求1至5所述的设备，其中所述半导体电池的所述特征包括指状物中断部。


7.如权利要求1至6所述的设备，其中所述清洁装置包括摩擦单元。


8.一种用于清洁印刷装置的清洁装置，其中所述清洁装置可布置在半导体电池支撑件处。


9.如权...

【专利技术属性】
技术研发人员：达维德·科莱，
申请(专利权)人：应用材料意大利有限公司，
类型：发明
国别省市：意大利;IT