竖直--水平正交式激光散斑照相方法及装置制造方法及图纸

本发明专利技术竖直一水平正交式激光散斑照相方法及装置，其方法是加热物体周围流体类似热透镜，以激光散斑照相技术可将由于热透镜效应所产生的光线偏折量转变成相应的散斑位移。该装置包括激光器，激光纹影－主观散斑照相水平光路和毛玻璃后置的主观散斑照相的竖直光路。该二光路是正交式的。可测得加热物体三维温度场的热流分布。为电子器件冷却技术研究，提供了有效的手段，对提高电子器件寿命，稳定性具有十分重要的价值。（*该技术在2011年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术所属
为光学测试技术。本专利技术的现有技术情况激光散班测试技术是七十年代发展起来的一门新的光学测试技术，目前国内外主要利用该项技术测量固体的应力、应变、位移及流体的速度场，密度场。而对测量加热物体壁面的热流分布时，往往只能采用传统的光学干涉方法，该方法只适用于测量二维或轴对称加热物体对流热流，而且只能获得与光束传播方向相垂直截面内的热流分布。对于测量微小电子器件三维对流换热热流分布则无能为力。随着微电子技术的发展，芯片的集成度不断提高，集成块尺寸越来越小，使芯片上的热流密度日益增高，而微电子器件的工作温度对其寿命和可靠性影响极大，因此微电子器件的冷却问题已成为九十年代的“热障”。如何测量微电子器件壁面热流分布已是微电子冷却技术研究的关键。加热物体周围流体形成的热透镜效应所导致的光束偏转技术，已在纹影仪，光热光谱技术中得到应用，如专利技术人为Johue.Mnrphy等的美国专利U.S.No4.468.136。该项专利技术是用光束偏转的光热光谱技术来测量材料表面性质的方法及装置。另外一项专利，专利技术人为Jaogues Badoz等，专利申请号为U.S.pat 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种竖直——水平正交式激光散班照相方法，其特征在于所说的方法是在加热物体周围流体呈现一个不均匀温度场（称为热透镜），从而产生一个不均匀的折射率场（即热透镜效应），以激光散班照明技术可将由热透镜效应所产生的光线偏折量转变成相应的散班位移，形成散班图（１２），根据散班位移与热流量的关系，确定加热物体壁面的对流热流分布。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：宋耀祖，刘志宏，过增元，
申请(专利权)人：清华大学，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]