一种剥离废液组分回收系统和回收工艺技术方案

本发明专利技术公开了一种光刻胶剥离废液回收系统，包括相连接的蒸馏釜和蒸馏塔，蒸馏塔上设置有侧线汽相采出口和塔顶采出口，侧线汽相采出口与第一冷凝器连通，第一冷凝器的馏出液出口与成品罐连通；塔顶采出口通过第二冷凝器分别与含水馏分罐和和中间馏分罐连通；蒸馏塔与真空机组连通。该剥离废液组分回收系统采用单塔运行，蒸馏塔与真空机组连通，通过真空机组调节蒸馏塔的真空度，利于光刻胶剥离液中含水馏分、中间馏分、成品和塔釜重组分的分离。本发明专利技术还公开了一种光刻胶剥离废液的回收工艺。

【技术实现步骤摘要】
一种剥离废液组分回收系统和回收工艺
本专利技术涉及电子行业废液回收
，具体涉及一种剥离废液组分回收系统和回收工艺。
技术介绍
在印刷电路板、液晶显示面板、半导体集成电路等工艺中，需要通过多次图形掩膜照射曝光、蚀刻等工序在硅晶圆或玻璃基片上形成多层精密的微电路，然后将剥离液涂覆在微电路保护区域上将作为掩膜的光刻胶除去，由此得到剥离废液。剥离液的主要组成包括有机胺和极性有机溶剂。针对含有四甲基氢氧化铵、丁醇胺、丙二醇、N-甲基吡咯烷酮、二乙二醇单丁醚的剥离废液。现有技术中的回收工艺如CN108926860A所述的，废剥离液再生装置包括脱轻塔及产品塔，脱轻塔中部经管道与废剥离液储罐连通，塔釜出料经管道与产品塔连通，脱轻塔塔釜出料管道或产品塔塔釜出料管道上设有刮膜式蒸发器，相应的生产工艺是利用脱轻塔从废剥离液中分离除去其中低沸点成分例如水，利用刮膜式蒸发器分离去除剥离液中高沸点成分例如光刻胶及金属离子。上述方法能实现剥离液原组分与剥离、回收、运输过程中引入杂质的分离，但是其纯度和洁净度往往达不到电子化学品的要求。CN105本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光刻胶剥离废液回收系统，包括相连接的蒸馏釜和蒸馏塔，其特征在于，所述蒸馏塔上设置有侧线汽相采出口和塔顶采出口，所述侧线汽相采出口与第一冷凝器连通，所述第一冷凝器的馏出液出口与成品罐连通；所述塔顶采出口通过第二冷凝器分别与含水馏分罐和和中间馏分罐连通；所述蒸馏塔与真空机组连通。/n

【技术特征摘要】
1.一种光刻胶剥离废液回收系统，包括相连接的蒸馏釜和蒸馏塔，其特征在于，所述蒸馏塔上设置有侧线汽相采出口和塔顶采出口，所述侧线汽相采出口与第一冷凝器连通，所述第一冷凝器的馏出液出口与成品罐连通；所述塔顶采出口通过第二冷凝器分别与含水馏分罐和和中间馏分罐连通；所述蒸馏塔与真空机组连通。


2.根据权利要求1所述的剥离废液组分回收系统，其特征在于，所述真空机组为三级真空机组。


3.根据权利要求1所述的剥离废液组分回收系统，其特征在于，所述蒸馏塔的塔顶设置有内回流器，所述内回流器的下方设置有侧线液相采出口和外回流口，所述侧线液相采出口与外回流冷凝器连通，所述外回流冷凝器的采出液出料口与外回流口相通。


4.根据权利要求3所述的剥离废液组分回收系统，其特征在于，所述第二冷凝器的馏出液出口与外回流冷凝器的进料口连接，所述外回流冷凝器的采出液出料口与所述含水馏分罐、成品罐以及中间馏分罐连通。


5.根据权利要求1所述的剥离废液组分回收系统，其特征在于，所述含水馏分罐、成品罐、中间馏分罐以及第二冷凝器均与真空机组连通；还包括真空缓冲罐，所述第二冷凝器的馏分冷凝通道与真空缓冲罐连通，所述真空缓冲罐与真空机组连通。


6.一种光刻胶剥离废液的回收工艺，其特征在于，包括以下步骤：
S1：常压下持续加热蒸馏釜中的原料，经由蒸馏塔的塔顶采出蒸馏塔进料中的含水馏分；
S2：减压蒸馏，继续采出含水馏分；
S3：停止含水馏分的采出，...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘文军，
申请(专利权)人：江阴市大洋固废处置利用有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32