高分辨表面等离子体波角度/折射率传感器制造技术

本发明专利技术属于精密测量技术领域，包括激光器、起偏器、磁光调制器、角度传感部件、检偏器、光电探测器、信号源、锁定放大器、Ａ／Ｄ模／数转换器、ＰＣ计算机信号处理、显示单元，角度传感部件为置于被测物上的一直角棱镜，棱镜的斜角面与激光器相对设置；一直角面镀有激光表面等离子体波的金属膜；起偏器、磁光调制器置于棱镜与激光器之间的入射光路之中。本发明专利技术分辨率高，结构简单，传感部件仅是一个棱镜，体积小，特别适用于空间受限的场合。（*该技术在2018年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于精密测量
，特别涉及基于光学全内反射原理和激发表面等离子体波原理的角度或折射传感器的设计。精密角度测量通常用干涉仪和自准直仪，这些仪器虽然提供了很高的分辨率，但大多数难于达到1×10-7弧度的要求，而且传感器体积较大。如众所周知的多功能双频激光干涉仪(如HP5528)，角度测量分辨率为3×10-7弧度。传感器体积也大，难于用于空间受限的场合(如纳米机械)。最近，基于光学全内反射原理和激发表面等离子体波原理的角度传感器受到关注，它们的一个共同特点是传感器体积小，且可以提供相当好的分辨率，特别适用于空间受限的情况。Huang等人利用全内反射的振幅特性研制了高灵敏度角度传感器，但这种传感器受外界光强的影响。Chiu等人利用全内反射P波和S波的相位特点研制了另一种角度传感器，可以不受外界照明的影响。基于全内反射原理的角度传感器有一个共同的缺点，即严重的非线性，其传感部件必须用两个相同的棱镜配合才可以工作。Margheri等人利用激发表面等离子体波原理制作角度传感器，克服了非线性，其传感器部件只要一个棱镜即可以工作。Margheri方案中输入光仅含P波(又称TM波)，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种高分辨表面等离子体波角度／折射传感器，包括激光器、起偏器、磁光调制器、角度传感部件、检偏器、光电探测器、信号源、锁定放大器、Ａ／Ｄ模／数转换器、ＰＣ计算机信号处理、显示单元，其特征在于，所说的角度传感部件为置于被测物上的一直角棱镜，该棱镜的斜角面与所说的激光器相对设置；一直角面镀有激发表面等离子体波的金属膜；所说的起偏器、磁光调制器置于所说的棱镜与激光器之间的入射光路之中，所说的检偏器、光电探测器置于所说的棱镜与激光器之间的反射光路之中；所说的锁定放大器、Ａ／Ｄ模／数转换器、ＰＣ计算机依次与所说的光电探测器相连，所说的信号源连于所说的磁光调制器与锁定放大器之间；所说的ＰＣ计算机信号处理、显...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：郭继华，朱兆明，邓为民，
申请(专利权)人：清华大学，
类型：发明
国别省市：41[中国|河南]