【技术实现步骤摘要】
一种探针卡清洗装置
本技术涉及探针卡清洗领域,具体为一种探针卡清洗装置。
技术介绍
探针卡是一种测试接口,主要对裸芯进行测试,通过其连接测试机和芯片,从而传输信号,完成对芯片参数的测试,探针卡主要目的在于将探针卡上的探针直接与芯片上的焊垫或凸块直接接触,引出芯片讯号,再配合周边测试仪器与软件控制达到自动化量测的目的,探针卡应用在IC尚未封装前,针对裸晶使用探针做功能测试,筛选出不良品、再进行之后的封装工程,因此,它是IC制造中对制造成本影响相当大的重要制程之一。探针卡在经过多次使用后经常受到污染而影响探针卡的使用效果,所以有必要对其进行清洗处理,但是现有对探针卡进行清洗时,需要人工将探针卡放入异丙酮溶液中进行清洗,清洗费时费力,且异丙酮溶液对人体有害,并且在清洗过后需要运用人工将探针擦干,操作复杂,且工作人员在擦拭过程中可能会被探针刺伤。
技术实现思路
本技术的目的在于:为了解决现有技术中探针卡清洗操作复杂,和人工擦干探针不便的问题,提供一种探针卡清洗装置。为实现上述目的,本技术提供如下技术方 ...
【技术保护点】
1.一种探针卡清洗装置,包括工作台(1),其特征在于:所述工作台(1)的内部安装有第二电机(19),且第二电机(19)的输出端连接有旋转台(18),所述旋转台(18)的顶部连接有支撑柱(3),且支撑柱(3)的顶部安装有第一电机(2),所述第一电机(2)的输出端连接有丝杆(5),且丝杆(5)的外侧设置有滑块(20),所述工作台(1)顶部的一侧连接有清洗箱(7),且清洗箱(7)的内部安装有超声波清洗器(8),所述清洗箱(7)的一侧安装有风机(13),且风机(13)的输入和输出端皆连接有风管(14),所述风管(14)的一端连接有过滤管(15),且风管(14)远离过滤管(15)的一 ...
【技术特征摘要】
1.一种探针卡清洗装置,包括工作台(1),其特征在于:所述工作台(1)的内部安装有第二电机(19),且第二电机(19)的输出端连接有旋转台(18),所述旋转台(18)的顶部连接有支撑柱(3),且支撑柱(3)的顶部安装有第一电机(2),所述第一电机(2)的输出端连接有丝杆(5),且丝杆(5)的外侧设置有滑块(20),所述工作台(1)顶部的一侧连接有清洗箱(7),且清洗箱(7)的内部安装有超声波清洗器(8),所述清洗箱(7)的一侧安装有风机(13),且风机(13)的输入和输出端皆连接有风管(14),所述风管(14)的一端连接有过滤管(15),且风管(14)远离过滤管(15)的一端连接有风管架(16),所述风管架(16)的外侧设置有喷头(17),所述滑块(20)的一侧连接有连接板(6),且连接板(6)的底部连接有升降板(9)。
2.根据权利要求1所述的一种探针卡清洗装置,其特征在于:所述支撑柱(3)的内部开设有滑槽(4),且滑块(20)与滑...
【专利技术属性】
技术研发人员:李芳,
申请(专利权)人:深圳市昊昇精密有限公司,
类型:新型
国别省市:广东;44
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