电子加速器用旋转式X射线透射转换靶制造技术

本实用新型专利技术公开了电子加速器用旋转式X射线透射转换靶，包括真空腔体、旋转靶和轴承组件；其中，所述旋转靶安装在所述轴承组件上，由所述轴承组件带动所述旋转靶在真空腔体内作高速旋转运动；从加速器中输出的电子束沿着真空腔体的束流管道轰击旋转靶靶面外缘，部分能量转换为X射线经真空腔体上的透射窗出射到工作区域，且通过旋转靶的高速旋转使得剩余能量以热量的形式沉积到旋转靶外缘上的一条环形区域。本实用新型专利技术通过高速旋转的方式，在不改变电子束轰击位置的情况下，将电子束沉积的功率分散到整个靶上，从而降低电子束轰击区域的温度，避免转换靶烧蚀损耗。

【技术实现步骤摘要】
电子加速器用旋转式X射线透射转换靶
本技术涉及粒子加速器设备
，具体涉及电子加速器用旋转式X射线透射转换靶。
技术介绍
电子加速器是用于产生X射线的一种装置，是工业辐照、放疗、安检成像等应用最重要的组成装置之一。电子加速器将电子加速到一定能量(0.6-25MeV)后，电子轰击靶材，通过韧致辐射的原理产生X射线。靶的性能决定了X射线的转换效率、能谱以及可以承受的功率。目前电子加速器所采用的X射线转换靶都是固定式的，对于成像用加速器，要求X射线焦斑固定，因此电子束必须轰击在靶面上固定的位置。当电子束功率较大时，会导致靶面温度急剧升高，造成靶面烧蚀甚至形成漏洞，导致加速器真空破坏，因此加速器的功率受到靶性能的严重制约。
技术实现思路
为了解决在加速器输出电子束功率密度很大的情况下，固定式X射线转换靶造成靶面烧蚀损伤的技术问题，本技术提供了电子加速器用旋转式X射线透射转换靶。本技术通过高速旋转的方式，在不改变电子束轰击位置的情况下，将电子束沉积的功率分散到整个靶上，从而降低电子束轰击区域的温度，避免转换旋转靶烧蚀损耗。本技术通过下述技术方案实现：电子加速器用旋转式X射线透射转换靶，包括真空腔体、旋转靶和轴承组件；其中，所述旋转靶安装在所述轴承组件上，由所述轴承组件带动所述旋转靶在真空腔体内作高速旋转运动；从加速器中输出的电子束沿着束流管道轰击旋转靶靶面外缘，部分能量转换为X射线经透射窗出射到工作区域，且通过旋转靶的高速旋转使得剩余能量以热量的形式沉积到旋转靶外缘上的一条环形区域。本技术通过轴承组件带动旋转靶在真空腔体内高速旋转，在电子束轰击旋转靶时，使得位置固定的电子束功率沉积到整个旋转靶的环形区域上，从而降低电子束轰击区域的温度，避免转换靶烧蚀损坏。优选的，本技术的旋转靶结构设计多样，所述旋转靶可采用一体式结构，所述旋转靶的靶面外缘由多条缝分割，且分割槽垂直于靶面或者与靶面呈夹角，靠近靶面中心的分割槽端部切割为圆形。优选的，本技术的旋转靶还可采用组合焊接式结构，便于加工；所述旋转靶包括靶基体和靶转换体；所述靶转换体通过钎焊连接在靶基体的外缘周上。优选的，本技术的旋转靶还可直接在靶面上且位于电子束沉积区域采用熔铸方式形成转换层，所述转换层的厚度为0.1～2mm。优选的，本技术的旋转靶还可直接在靶面上且位于电子束沉积区域采用等离子喷涂方式形成转换层，所述转换层的厚度为0.02～2mm。优选的，本技术的旋转靶靶面外缘可采用多层环状或分离扇形金属箔结构。优选的，本技术的转换靶上电子束轰击区域的靶总厚度为0.05～5mm。优选的，本技术的旋转靶上电子束沉积区域的靶材料采用但不限于钼、钨、铼、钽或铼钨合金。优选的，本技术转换靶采用和金属真空封接的金刚石作为透射窗，所述透射窗的厚度小于1mm。优选的，本技术的轴承组件采用但不限于金属润滑滚轴承、液态金属轴承或磁流体轴承。本技术具有如下的优点和有益效果：1、本技术过高速旋转的方式，在不改变电子束轰击位置的情况下，将电子束沉积的功率分散到整个靶上，从而降低电子束轰击区域的温度，避免转换靶烧蚀损坏。2、本技术采用旋转式X射线透射转换靶，可以将靶面的最高温度降低数倍，大大提高加速器电子束功率密度上限，提高设备使用效率或成像性能。具体数值取决于所使用的电子束参数、旋转靶系统结构设计和材料选择，以及靶的转速。附图说明此处所说明的附图用来提供对本技术实施例的进一步理解，构成本申请的一部分，并不构成对本技术实施例的限定。在附图中：图1为本技术在旋转靶上的电子束沉积区域示意图。图2为本技术第一实施例的转换靶整体结构示意图。图3为本技术第二实施例的转换靶整体结构示意图。图4为本技术第三实施例的转换靶整体结构示意图。图5为本技术第一实施例的旋转靶结构示意图。图6为本技术第二实施例的旋转靶结构示意图。图7为本技术第三实施例的旋转靶结构示意图。图8为本技术第四实施例的旋转靶结构示意图。附图中标记及对应的零部件名称：1-真空腔体，2-旋转靶，2-1-靶基体，2-2-靶转换体，3-轴承组件，3-1-轴承转子，3-2-轴承驱动套，3-3，轴承定子，4-电子束，5-X射线，6-透射窗，7-分割槽，8-圆柱体凸起，9-安装孔，10-驱动线圈，11-转换层，12-多层金属箔，13-束流管道。具体实施方式在下文中，可在本技术的各种实施例中使用的术语“包括”或“可包括”指示所技术的功能、操作或元件的存在，并且不限制一个或更多个功能、操作或元件的增加。此外，如在本技术的各种实施例中所使用，术语“包括”、“具有”及其同源词仅意在表示特定特征、数字、步骤、操作、元件、组件或前述项的组合，并且不应被理解为首先排除一个或更多个其它特征、数字、步骤、操作、元件、组件或前述项的组合的存在或增加一个或更多个特征、数字、步骤、操作、元件、组件或前述项的组合的可能性。在本技术的各种实施例中，表述“或”或“A或/和B中的至少一个”包括同时列出的文字的任何组合或所有组合。例如，表述“A或B”或“A或/和B中的至少一个”可包括A、可包括B或可包括A和B二者。在本技术的各种实施例中使用的表述(诸如“第一”、“第二”等)可修饰在各种实施例中的各种组成元件，不过可不限制相应组成元件。例如，以上表述并不限制所述元件的顺序和/或重要性。以上表述仅用于将一个元件与其它元件区别开的目的。例如，第一用户装置和第二用户装置指示不同用户装置，尽管二者都是用户装置。例如，在不脱离本技术的各种实施例的范围的情况下，第一元件可被称为第二元件，同样地，第二元件也可被称为第一元件。应注意到：如果描述将一个组成元件“连接”到另一组成元件，则可将第一组成元件直接连接到第二组成元件，并且可在第一组成元件和第二组成元件之间“连接”第三组成元件。相反地，当将一个组成元件“直接连接”到另一组成元件时，可理解为在第一组成元件和第二组成元件之间不存在第三组成元件。在本技术的各种实施例中使用的术语仅用于描述特定实施例的目的并且并非意在限制本技术的各种实施例。如在此所使用，单数形式意在也包括复数形式，除非上下文清楚地另有指示。除非另有限定，否则在这里使用的所有术语(包括技术术语和科学术语)具有与本技术的各种实施例所属领域普通技术人员通常理解的含义相同的含义。所述术语(诸如在一般使用的词典中限定的术语)将被解释为具有与在相关
中的语境含义相同的含义并且将不被解释为具有理想化的含义或过于正式的含义，除非在本技术的各种实施例中被清楚地限定。为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚明白，下面结合实施例和附图，对本技术作进一步的详细说明，本技术的示意性实施方式及本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.电子加速器用旋转式X射线透射转换靶，其特征在于，包括真空腔体（1）、旋转靶（2）和轴承组件（3）；其中，所述旋转靶（2）安装在所述轴承组件（3）上，由所述轴承组件（3）带动所述旋转靶（2）在真空腔体（1）内作高速旋转运动；从加速器中输出的电子束（4）沿着束流管道（13）轰击旋转靶（2）靶面外缘，部分能量转换为X射线（5）经透射窗（6）出射到工作区域，且通过旋转靶（2）的高速旋转使得剩余能量以热量的形式沉积到旋转靶（2）外缘上的一条环形区域。/n

【技术特征摘要】
1.电子加速器用旋转式X射线透射转换靶，其特征在于，包括真空腔体（1）、旋转靶（2）和轴承组件（3）；其中，所述旋转靶（2）安装在所述轴承组件（3）上，由所述轴承组件（3）带动所述旋转靶（2）在真空腔体（1）内作高速旋转运动；从加速器中输出的电子束（4）沿着束流管道（13）轰击旋转靶（2）靶面外缘，部分能量转换为X射线（5）经透射窗（6）出射到工作区域，且通过旋转靶（2）的高速旋转使得剩余能量以热量的形式沉积到旋转靶（2）外缘上的一条环形区域。


2.根据权利要求1所述的电子加速器用旋转式X射线透射转换靶，其特征在于，所述旋转靶（2）为一体式结构，所述旋转靶（2）的靶面外缘由多条缝分割，且分割槽（7）垂直于靶面或者与靶面呈夹角，靠近靶面中心的分割槽端部切割为圆形。


3.根据权利要求1所述的电子加速器用旋转式X射线透射转换靶，其特征在于，所述旋转靶（2）包括靶基体（2-1）和靶转换体（2-2）；所述靶转换体（2-2）通过钎焊连接在靶基体（2-1）的外缘周上。


4.根据权利要求1所述的电子加速器用旋转式X射线透射转换靶，其特征在于，所述旋转靶（2）的靶面上且位于电子束沉积区域采用熔铸方式形成转换层，所述转换层的厚...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄刚，彭宇飞，李建北，
申请(专利权)人：中国工程物理研究院流体物理研究所，
类型：新型
国别省市：四川;51