编码器装置及其制造方法、驱动装置、工作台装置及机械手装置制造方法及图纸

技术编号:25998529 阅读:36 留言:0更新日期:2020-10-20 19:08
编码器装置具备:位置检测部,其检测移动部的位置信息;磁铁,其沿所述移动部的移动方向具有多个极性;电信号产生部,其具有根据伴随所述移动部的移动所产生的磁场变化而磁特性发生变化的磁性感应部、和用于将所述磁铁的磁感线向所述磁性感应部引导的第1磁性体,所述电信号产生部基于所述磁性感应部的磁特性而产生电信号;和第2磁性体,其配置于所述磁铁与所述磁性感应部之间,用于将所述磁铁的一个极性部分的磁感线向所述磁铁的其他极性部分引导。能够减少磁铁因不必要的磁场而产生的噪音,从而产生稳定的电信号,能够实现检测结果的可靠性的提高。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】编码器装置及其制造方法、驱动装置、工作台装置及机械手装置
本专利技术涉及编码器装置、编码器装置的制造方法、驱动装置、工作台装置、及机械手装置。
技术介绍
检测被检测物的旋转角或旋转速度等位置信息的编码器装置搭载于机械手装置等各种装置上。作为以往的编码器装置,已知有如下装置:其使用韦根金属丝那样的磁性线材,将旋转的磁铁的磁场变化转换为电信号,并使用该电信号来求出旋转速度(例如,参照专利文献1)。上述那样的使用磁性线材的编码器装置中,期望减少因磁铁的不必要的磁场而产生的噪音,产生稳定的电信号,从而实现检测结果的可靠性的提高。现有技术文献专利文献专利文献1:日本特开平8-136558号公报
技术实现思路
根据第1方式,提供一种编码器装置,该编码器装置具备:位置检测部,其检测移动部的位置信息;磁铁,沿该移动部的移动方向具有多个极性;电信号产生部,其具有根据伴随该移动部的移动所产生的磁场变化而磁特性发生变化的磁性感应部、和用于将该磁铁的磁感线向该磁性感应部引导的第1磁性体,所述电信号产生部基于该磁性感应部的磁特性而产生电信号;和第2磁性体,其配置于该磁铁与该磁性感应部之间,用于将该磁铁的一个极性部分的磁感线向该磁铁的其他极性部分引导。根据第2方式,提供一种驱动装置,该驱动装置具备第1方式的编码器装置、和向该移动部供给动力的动力供给部。根据第3方式,提供一种工作台装置,该工作台装置具备移动物体、和使该移动物体移动的第2方式的驱动装置。根据第4方式,提供一种机械手装置,该机械手装置具备第2方式的驱动装置、和利用该驱动装置而相对移动的臂。根据第5方式,提供一种编码器装置的制造方法,编码器装置具备:位置检测部,其检测移动部的位置信息;磁铁,其沿该移动部的移动方向具有多个极性;电信号产生部,其具有根据伴随该移动部的移动所产生的磁场变化而磁特性发生变化的磁性感应部、基于该磁性感应部的磁特性而产生电信号的发电部、和用于将该磁铁的磁感线向该磁性感应部引导的第1磁性体;和第2磁性体,其配置于该磁铁与该磁性感应部之间,用于将该磁铁的一个极性部分的磁感线向该磁铁的其他极性部分引导,所述编码器装置的制造方法包括:准备该磁性感应部、该发电部、及该第1磁性体;将该发电部插入组装夹具的第1孔部,通过该发电部将该磁性感应部插入设于该第1孔部内的第2孔部;将该发电部和该磁性感应部固定;和将从该组装夹具取出的该发电部固定于壳体上,该壳体配置在该第2磁性体的侧面。根据第6方式,提供一种编码器装置的制造方法,所述编码器装置具备:位置检测部,其检测移动部的位置信息;磁铁,其沿该移动部的移动方向具有多个极性;电信号产生部,其具有根据伴随该移动部的移动所产生的磁场变化而磁特性发生变化的磁性感应部、基于该磁性感应部的磁特性而产生电信号的发电部、和用于将该磁铁的磁感线向该磁性感应部引导的第1磁性体;和第2磁性体,其配置于该磁铁与该磁性感应部之间,用于将该磁铁的一个极性部分的磁感线向该磁铁的其他极性部分引导,所述编码器装置的制造方法包括:准备该磁性感应部、该发电部、及该第1磁性体;将该发电部固定在壳体,该壳体配置于该第2磁性体的侧面;将该磁性感应部通过设于该壳体的开口插入该发电部内;和将该磁性感应部固定于该壳体。附图说明图1是表示第1实施方式的编码器装置的图。图2的(A)是表示图1中的磁铁及电信号产生单元的立体图,图2的(B)是表示图1中的磁铁、电信号产生单元、及磁传感器的俯视图,图2的(C)是以剖面示出图2的(A)的磁铁等的侧视图,图2的(D)是表示图2的(B)的磁传感器的电路图。图3的(A)是表示图2的(A)的磁铁及电信号产生单元的立体图,图3的(B)是图3的(A)的俯视图。图4是表示图1的编码器装置的电力供给系统及多旋转信息检测部的构成的图。图5是表示图1的编码器装置的正转时的动作的图。图6的(A)是表示编码器装置的制造方法的一例的流程图,图6的(B)是表示制造方法的变形例的一部分的流程图。图7的(A)是表示发电部、磁性感应部、磁性体、及壳体的立体图,图7的(B)是表示对壳体组装了磁性体的状态的立体图。图8的(A)是表示组装夹具的立体图,图8的(B)是表示组装夹具的剖视图,图8的(C)是表示将磁性感应部插入发电部的状态的立体图,图8的(D)是表示对壳体组装了电信号产生单元的状态的立体图。图9的(A)是表示基板、屏蔽板、及壳体的立体图,图9的(B)是表示组装好的编码器装置的剖视图。图10是表示编码器装置的制造方法的变形例的一部分的流程图。图11的(A)是表示第2实施方式的磁铁及电信号产生单元的立体图,图11的(B)是图11的(A)的俯视图,图11的(C)是图11的(B)的侧视图。图12的(A)是表示磁铁从图11的(A)的状态旋转了45°的状态的立体图,图12的(B)是图12的(A)的俯视图,图12的(C)是图12的(B)的侧视图。图13的(A)是表示第3实施方式的磁铁及电信号产生单元的俯视图,图13的(B)是表示磁铁从图13的(A)的状态旋转了45°的状态的俯视图。图14是表示第4实施方式的编码器装置的制造方法的流程图。图15的(A)是表示第4实施方式的壳体的立体图,图15的(B)是表示基板、屏蔽板、及壳体的立体图。图16是表示驱动装置的一例的图。图17是表示工作台装置的一例的图。图18是表示机械手装置的一例的图。具体实施方式[第1实施方式]参照图1至图9对第1实施方式进行说明。图1表示本实施方式的编码器装置EC。在图1中,编码器装置EC检测马达M(动力供给部)的旋转轴SF(移动部)的旋转位置信息。旋转轴SF例如是马达M的转轴(转子),但也可以是经由变速器等动力传递部与马达M的转轴连接并且与负荷连接的作用轴(输出轴)。编码器装置EC检测到的旋转位置信息被向马达控制部MC供给。马达控制部MC使用从编码器装置EC供给的旋转位置信息来控制马达M的旋转。马达控制部MC控制旋转轴SF的旋转。编码器装置EC具备位置检测系统(位置检测单元)1及电力供给系统(电力供给单元)2。位置检测系统1检测旋转轴SF的旋转位置信息。编码器装置EC是所谓多旋转绝对编码器,对包括表示旋转轴SF的旋转数的多旋转信息及表示旋转不满一周的角度位置(旋转角)的角度位置信息在内的旋转位置信息进行检测。编码器装置EC具备检测旋转轴SF的多旋转信息的多旋转信息检测部3及检测旋转轴SF的角度位置的角度检测部4。在例如搭载有编码器装置EC的装置(例如驱动装置、工作台装置、机械手装置)的电源被打开的状态(例如通常状态)下,位置检测系统1的至少一部分(例如角度检测部4)从该装置接收电力的供给而进行动作。此外,在例如搭载有编码器装置EC的装置的电源未被打开的状态(例如非正常状态、备用状态)下,位置检测系统1的至少一部分(例如多旋转信息检测部3)从电力供给本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种编码器装置,具备:/n位置检测部,其检测移动部的位置信息;/n磁铁,其沿所述移动部的移动方向具有多个极性;/n电信号产生部,其具有根据伴随所述移动部的移动所产生的磁场变化而磁特性发生变化的磁性感应部、和用于将所述磁铁的磁感线向所述磁性感应部引导的第1磁性体,所述电信号产生部基于所述磁性感应部的磁特性而产生电信号;和/n第2磁性体,其配置于所述磁铁与所述磁性感应部之间,用于将所述磁铁的一个极性部分的磁感线向所述磁铁的其他极性部分引导。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180328 JP 2018-0610361.一种编码器装置,具备:
位置检测部,其检测移动部的位置信息;
磁铁,其沿所述移动部的移动方向具有多个极性;
电信号产生部,其具有根据伴随所述移动部的移动所产生的磁场变化而磁特性发生变化的磁性感应部、和用于将所述磁铁的磁感线向所述磁性感应部引导的第1磁性体,所述电信号产生部基于所述磁性感应部的磁特性而产生电信号;和
第2磁性体,其配置于所述磁铁与所述磁性感应部之间,用于将所述磁铁的一个极性部分的磁感线向所述磁铁的其他极性部分引导。


2.如权利要求1所述的编码器装置,其特征在于,
所述磁铁沿所述移动方向呈平板状,且在与所述移动方向正交的厚度方向上也具有彼此不同的极性,
所述第2磁性体沿所述移动方向连续地设置,
所述第1磁性体以从所述磁性感应部跨越所述第2磁性体的方式直至设置到能够与所述磁铁相对的位置。


3.如权利要求1或2所述的编码器装置,其特征在于,
所述磁铁沿所述移动方向呈平板状,且在与所述移动方向正交的宽度方向上也具有彼此不同的极性,
在所述第2磁性体,以与所述磁铁沿所述移动方向的彼此不同极性间的间隔相同的间隔设有多个开口,
所述第1磁性体设于所述第2磁性体与所述磁性感应部之间,并且所述第1磁性体通过所述第2磁性体的所述开口将所述磁铁的磁感线向所述磁性感应部引导。


4.如权利要求1至3中任一项所述的编码器装置,其特征在于,
所述电信号产生部具有第3磁性体,所述第3磁性体用于将通过所述磁性感应部的磁感线向所述磁铁引导。


5.如权利要求4所述的编码器装置,其特征在于,
所述第1磁性体及第3磁性体将来自在所述移动方向上位于彼此不同位置的所述磁铁的彼此不同极性的2个部分的磁感线向所述磁性感应部的长度方向引导。


6.如权利要求4或5所述的编码器装置,其特征在于,
所述移动部包含旋转轴,
在所述电信号产生部,在所述旋转轴旋转1周期间具有第1时间和第2时间,在所述第1时间,来自所述磁铁的磁感线经由所述第1磁性体及所述第3磁性体通过所述磁性感应部,在所述第2时间,来自所述磁铁的磁感线通过所述第2磁性体而不通过所述磁性感应部,
在所述第1时间工作台时,由所述电信号产生部产生电信号。


7.如权利要求4至6中任一项所述的编码器装置,其特征在于,
所述磁铁的沿所述移动方向的多个极性部分的、在所述移动方向上的宽度分别设定为比所述第1磁性体的前端部与所述第3磁性体的前端部之间的间隔窄,
在所述移动方向上设有来自所述磁铁的磁感线不通过所述磁性感应部的区间。


8.如权利要求1至7中任一项所述的编码器装置,其特征在于,
沿所述移动部的所述移动方向设有来自所述磁铁的磁感线不被引导至所述磁性感应部的中立区间。


9.如权利要求1至8中任一项所述的编码器装置,其特征在于,
所述磁铁分别具有磁化为2个磁极的多个磁铁要素,
所述磁铁要素分别沿所述移动方向呈平板状,且呈至少具有3个边的多边形。


10.如权利要求1至9中任一项所述的编码器装置,其特征在于,
所述磁性感应部根据伴随所述磁铁的移动所产生的磁场变化而产生大巴克豪森跳变。


11.如权利要求1至10中任一项所述的编码器装置,其特征在于,
所述电信号产生部通过所述移动部的移动而产生脉冲状的电力。


12.如权利要求1至11中任一项所述的编码器装置,其特征在于,
具备电池,所述电池基于由所述电信号产生部产生的电信号,供给由所述位置检测部消耗的电力的至少一部分。


13.如权利要求12所述的编码器装置,其特征在于,
具备切换部,所述切换部基于由所述电信号产生部产生的电信号,切换从所述电池向所述位置检测部的电力供给的有无。


14.如权利要求12或13所述的编码器装置,其特征在于,
所述电池包括一次电池或二次电池。


15...

【专利技术属性】
技术研发人员:三桥雄一
申请(专利权)人:株式会社尼康
类型:发明
国别省市:日本;JP

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