偏心测定装置及方法制造方法及图纸

技术编号:25998512 阅读:57 留言:0更新日期:2020-10-20 19:08
本发明专利技术提供一种能够准确地测定透镜的实际的曲率中心位置相对于被测定光学面的设计上的曲率中心位置的偏心量的偏心测定装置及方法。将具有低相干性的测定光经由扫描镜(44)及物镜(46)入射到组合透镜(10)。物镜(46)将测定光汇聚到组合透镜(10)的被测定光学面的设计上的曲率中心位置所在的扫描面上,扫描镜(44)使测定光的汇聚位置在扫描面上移动。光路长度调整部(35)根据被测定光学面的位置调整具有低相干性的参考光的光路长度。平衡检波器(37)从在组合透镜(10)的光学面反射的测定光和参考光的合波光检测在被测定光学面反射的测定光和参考光的干涉光。根据平衡检波器(37)的检测输出和扫描镜(44)的扫描信息测定被测定光学面的偏心量。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】偏心测定装置及方法
本专利技术涉及一种偏心测定装置及方法,尤其涉及一种能够测定透镜的实际的曲率中心位置相对于被测定光学面的设计上的曲率中心位置的偏心量的技术。
技术介绍
以往,作为这种偏心测定装置,已知有专利文献1~3中所记载的偏心测定装置。专利文献1中所记载的偏心测量仪利用使垂直光束入射到成为透镜的测定对象的被试透镜面(被测定光学面),并使其反射光束沿与入射光束相反的方向返回,根据该光束在位置传感器上的成像位置的偏转量进行偏心测定的方法(以下,将该方法称为“自动准直法”),尤其为了能够进行透镜的第1面和第2面的曲率中心相同的特殊的弯月形透镜的偏心测定,使照射光汇聚在从第1面的曲率中心向光轴方向偏离的位置,使在第1面反射的光束和在第2面反射的光束在不同的光路上行进。并且,从第1面(被测定光学面)反射并返回的光束在位置传感器上成像成点像,从第2面反射并返回的光束在位置传感器上成像成模糊图像,由此,使得能够区分是在哪个面反射的光束。专利文献2中所记载的干涉测量仪由包括使光束穿过放置在干涉仪光路中的透镜而获得的i面(特定的被测定光学面本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种偏心测定装置,其测定透镜的被测定光学面的偏心量,所述偏心测定装置具备:/n光源,射出测定光;/n测定光学系统,汇聚所述测定光,且具有第1光学系统和使所述测定光的光路弯曲的弯曲部;/n扫描控制部,使用所述弯曲部改变所述测定光的光路的弯曲角度,并扫描所述测定光的汇聚位置;/n检测部,检测在所述被测定光学面反射的测定光即反射测定光的强度信息;及/n测定部,测定所述被测定光学面的偏心量,/n所述检测部在通过所述扫描控制部改变所述弯曲角度时检测多个所述弯曲角度的每一个的所述强度信息,/n所述测定部根据多个所述弯曲角度的每一个的所述强度信息及所述弯曲部的弯曲角度信息来测定所述被测定光学面的偏心量。...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180312 JP 2018-044216;20190125 JP 2019-0113291.一种偏心测定装置,其测定透镜的被测定光学面的偏心量,所述偏心测定装置具备:
光源,射出测定光;
测定光学系统,汇聚所述测定光,且具有第1光学系统和使所述测定光的光路弯曲的弯曲部;
扫描控制部,使用所述弯曲部改变所述测定光的光路的弯曲角度,并扫描所述测定光的汇聚位置;
检测部,检测在所述被测定光学面反射的测定光即反射测定光的强度信息;及
测定部,测定所述被测定光学面的偏心量,
所述检测部在通过所述扫描控制部改变所述弯曲角度时检测多个所述弯曲角度的每一个的所述强度信息,
所述测定部根据多个所述弯曲角度的每一个的所述强度信息及所述弯曲部的弯曲角度信息来测定所述被测定光学面的偏心量。


2.根据权利要求1所述的偏心测定装置,其中,
所述第1光学系统的焦点距离是可变的,
通过改变所述第1光学系统的焦点距离来改变所述测定光的所述汇聚位置。


3.根据权利要求1所述的偏心测定装置,其中,
所述第1光学系统具有第1透镜,
所述第1透镜的焦点距离通过电控制来改变所述第1透镜本身的焦点距离,
通过改变所述第1透镜的焦点距离来改变所述测定光的所述汇聚位置。


4.根据权利要求2或3所述的偏心测定装置,其中,
所述测定光学系统具有改变所述第1光学系统的屈光力的最大值及所述第1光学系统的屈光力的最小值的第2光学系统。


5.根据权利要求1至4中任一项所述的偏心测定装置,其中,
从所述光源射出的所述测定光经由所述弯曲部入射到所述第1光学系统。


6.根据权利要求1至4中任一项所述的偏心测定装置,其中,
从所述光源射出的所述测定光经由所述第1光学系统入射到所述弯曲部。


7.根据权利要求1至6中任一项所述的偏心测定装置,其具有使所述测定光成为平行光的准直透镜,
从所述光源射出的所述测定光经由所述准直透镜入射到所述第1光学系统。


8.根据权利要求1至7中任一项所述的偏心测定装置,其具备将所述测定光的光路和所述反射测定光的光路分开的第1分波部,
所述检测部检测在所述第1分波部射出的所述反射测定光。


9.根据权利要求1至8中任一项所述的偏心测定装置,其中,
所述检测部检测所述反射测定光的光量作为所述强度信息,
所述测定部使用所述反射测定光的所述光量取最大值时的所述弯曲角度信息来测定所述被测定光学面的偏心量。


10.根据权利要求1至8中任一项所述的偏心测定装置,其具备:
第2分波部,将参考光从所述测定光分波;及
合波部,对所述反射测定光和所述参考光进行合波,
所述光源为射出低相干光作为所述测定光的低相干光源,
所述检测部检测通过所述合波部合波的合波光的光量作为所述强度信息。


11.根据权利要求1至8中任一项所述的偏心测定装置,其具备:
第2分波部,将参考光从所述测定光分波;及
合波部,对所述反射测定光和所述参考光进行合波,
所述光源为射出低相干光作为所述测定光的低相干光源,
所述检测部检测通过所述合波部合波的合波光的...

【专利技术属性】
技术研发人员:中林耕基
申请(专利权)人:富士胶片株式会社
类型:发明
国别省市:日本;JP

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