一种单晶炉尾气连续在线回收装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种单晶炉尾气连续在线回收装置，C组设备包括预加热器、预催化反应器和预冷却器串联在一起的设备组；A组设备包括由加热器A、催化反应器A和冷却器A

【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉尾气连续在线回收装置
本技术属于气体回收设备领域，涉及一种单晶炉尾气连续在线回收装置。
技术介绍
在采用减压充氩法生产太阳能电池用单晶硅时，使用真空泵抽出单晶炉内的尾气。尾气主要成分为氩气，同时尾气中含有大量的氢气、烷烃、一氧化碳及二氧化碳等杂质，且杂质含量相对较高，该尾气直接排放会对环境造成污染。经氩气连续在线回收装置去除该尾气中所含的杂质首先对保护环境有重大意义，同时回收的高纯度氩气可以回用到单晶硅的生产过程中，对节能降耗具有重大的经济效益。现有技术中的单晶炉尾气回收系统为间歇式的氩气回收，在氩气的回收过程中因管路故障或人为操作造成的额外泄露会引起回收氩气纯度下降、无法回用；系统再生时间过长经常造成无法连续工作；催化剂活性下降甚至活性丧失会造成的氩气回收系统失效。
技术实现思路
技术目的为规避在氩气回收过程中，因生产过程中的故障或人为操作造成的额外泄露引起回收氩气纯度下降，无法回用的风险；为规避在氩气回收过程中，因系统再生时间过长造成的无法连续工作的风险；为规避在氩气回收过程中，因系统再生阶段催化剂超温造成的催化剂活性下降甚至活性丧失造成的氩气回收系统失效的风险，本技术提出了一种稳定并且可靠的单晶炉尾气连续在线回收装置。技术方案一种单晶炉尾气连续在线回收装置，预加热器的进气端口通过管道连接有尾气入口，预加热器的出气端口通过管道连接预催化反应器的进气端口，预催化反应器的出气端口通过管道连接预冷却器的进气端口，预冷却器的出气端口通过管道同时连接切换阀门A1的一端和切换阀门B1的一端，切换阀门A1的另一端通过管道同时连接加热器A、切换阀门A7和切换阀门A8的一端，切换阀门A8的另一端通过管道同时连接切换阀门V1、切换阀门V2和切换阀门B8的一端，切换阀门V1的另一端通过管道连接有高纯氩气入口，切换阀门V2的另一端通过管道连接有压缩空气入口，切换阀门B8的另一端和切换阀门B1的另一端通过管道同时与切换阀门B7的一端和加热器B的一端相连，切换阀门B7的另一端和切换阀门A7的另一端通过管道同时与切换阀门A6的一端和切换阀门B6的一端相连，加热器A的另一端通过管道连接切换阀门A9和催化反应器A的一端，催化反应器A的另一端通过管道连接冷却器A1的一端，冷却器A1的另一端通过管道连接切换阀门A2的一端，切换阀门A2的另一端与切换阀门A6的另一端同时通过管道连接切换阀门A3的一端，切换阀门A3的另一端和切换阀门A9的另一端同时与切换阀门A11的一端和反应器A的一端通过管道连接，反应器A的另一端通过管道连接冷却器A2的一端，冷却器A2的另一端通过管道连接切换阀门A10、切换阀门A5和切换阀门A4的一端，切换阀门A10的另一端通过管道连接切换阀门B11的一端，切换阀门B11的另一端通过管道连接切换阀门B3、反应器B和切换阀门B9的一端，切换阀门B9的另一端与加热器B的另一端通过管道连接催化反应器B的一端，催化反应器B的另一端通过管道连接冷却器B1的一端，冷却器B1的另一端通过管道连接切换阀门B2的一端，切换阀门B2的另一端与切换阀门B6的另一端和切换阀门B3的另一端通过管道连接在一起，反应器B的另一端通过管道连接冷却器B2的一端，冷却器B2的另一端通过管道连接切换阀门B10的一端、切换阀门B5的一端和切换阀门B4的一端，切换阀门B10的另一端通过管道连接切换阀门A11的另一端，切换阀门A5的另一端和切换阀门B5的另一端同时通过管道连接再生废气排放口，切换阀门A4的另一端和切换阀门B4的另一端通过管道连接回收氩气出口；所述预催化反应器内装填有脱氧剂；所述催化反应器A和催化反应器B内装填有氩气净化催化剂；所述反应器A和反应器B中装填有分子筛吸附剂。所述预加热器、加热器A和加热器B为电阻式、蒸汽式、导热油或导热盐式加热器，所述预冷却器、冷却器A1、冷却器B1、冷却器A2和冷却器B2为自然对流式式风冷或强制式风冷或管壳式水冷换热器。所述预催化反应器、催化反应器A、催化反应器B、反应器A和反应器B外侧皆设有冷却盘管。优点及效果通过预催化脱氧装置，有效处理了非常规工况泄露入系统的空气，规避了在氩气回收过程中，因生产过程中的故障或人为操作造成的额外泄露引起回收氩气含氧量超标，无法回用的风险；通过反应器周圈缠绕冷却盘管对反应器进行快速冷却，可快速带走反应器的热量，减少再生过程中的冷吹时间，规避在氩气回收过程中，因系统再生时间过长造成的无法连续工作的风险。附图说明图1是本技术装置的示意图；图2是包含冷却盘管的反应器的示意简图；附图标记说明：11-尾气入口，12-高纯氩气入口，13-压缩空气入口，14-回收氩气出口，15-再生废气排放口，21-预催化反应器，22-催化反应器A，23-催化反应器B，24-反应器A，25-反应器B，31-预加热器，32-加热器A，33-加热器B，41-预冷却器，42-冷却器A1，43-冷却器B1，44-冷却器A2，45-冷却器B2，51-冷却盘管，61-切换阀门V1，62-切换阀门V2，101-切换阀门A1，102-切换阀门A2，103-切换阀门A3，104-切换阀门A4，105-切换阀门A5，106-切换阀门A6，107-切换阀门A7，108-切换阀门A8，109-切换阀门A9，110-切换阀门A10，111-切换阀门A11，201-切换阀门B1，202-切换阀门B2，203-切换阀门B3，204-切换阀门B4，205-切换阀门B5，206-切换阀门B6，207-切换阀门B7，208-切换阀门B8，209-切换阀门B9，210-切换阀门B10，211-切换阀门B11。具体实施方式下面结合附图对本技术做进一步的说明：如图1和图2所示，一种单晶炉尾气连续在线回收装置，预加热器31的进气端口通过管道连接有尾气入口11，预加热器31的出气端口通过管道连接预催化反应器21的进气端口，预催化反应器21的出气端口通过管道连接预冷却器41的进气端口，预加热器31、预冷却器41、预催化反应器21及填充在预催化反应器21中的脱氧剂共同组成预催化脱氧系统，预冷却器41的出气端口通过管道同时连接切换阀门A1101的一端和切换阀门B1201的一端，切换阀门A1101的另一端通过管道同时连接加热器A32、切换阀门A7107和切换阀门A8108的一端，切换阀门A8108的另一端通过管道同时连接切换阀门V161、切换阀门V262和切换阀门B8208的一端，切换阀门V161的另一端通过管道连接有高纯氩气入口12，切换阀门V262的另一端通过管道连接有压缩空气入口13，切换阀门B8208的另一端和切换阀门B1201的另一端通过管道同时与切换阀门B7207的一端和加热器B33的一端相连，切换阀门B7207的另一端和切换阀门A7107的另一端通过管道同时与切换阀门A6106的一端和切换阀门B6206的一端相连，加热器A32的另一端通过管道连接切换阀门A9109和催化反应器A22的一端，催化反应本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种单晶炉尾气连续在线回收装置，其特征在于：预加热器(31)的进气端口通过管道连接有尾气入口(11)，预加热器(31)的出气端口通过管道连接预催化反应器(21)的进气端口，预催化反应器(21)的出气端口通过管道连接预冷却器(41)的进气端口，预冷却器(41)的出气端口通过管道同时连接切换阀门A

【技术特征摘要】
1.一种单晶炉尾气连续在线回收装置，其特征在于：预加热器(31)的进气端口通过管道连接有尾气入口(11)，预加热器(31)的出气端口通过管道连接预催化反应器(21)的进气端口，预催化反应器(21)的出气端口通过管道连接预冷却器(41)的进气端口，预冷却器(41)的出气端口通过管道同时连接切换阀门A1(101)的一端和切换阀门B1(201)的一端，切换阀门A1(101)的另一端通过管道同时连接加热器A(32)、切换阀门A7(107)和切换阀门A8(108)的一端，切换阀门A8(108)的另一端通过管道同时连接切换阀门V1(61)、切换阀门V2(62)和切换阀门B8(208)的一端，切换阀门V1(61)的另一端通过管道连接有高纯氩气入口(12)，切换阀门V2(62)的另一端通过管道连接有压缩空气入口(13)，切换阀门B8(208)的另一端和切换阀门B1(201)的另一端通过管道同时与切换阀门B7(207)的一端和加热器B(33)的一端相连，切换阀门B7(207)的另一端和切换阀门A7(107)的另一端通过管道同时与切换阀门A6(106)的一端和切换阀门B6(206)的一端相连，加热器A(32)的另一端通过管道连接切换阀门A9(109)和催化反应器A(22)的一端，催化反应器A(22)的另一端通过管道连接冷却器A1(42)的一端，冷却器A1(42)的另一端通过管道连接切换阀门A2(102)的一端，切换阀门A2(102)的另一端与切换阀门A6(106)的另一端同时通过管道连接切换阀门A3(103)的一端，切换阀门A3(103)的另一端和切换阀门A9(109)的另一端同时与切换阀门A11(111)的一端和反应器A(24)的一端通过管道连接，反应器A(24)的另一端通过管道连接冷却器A2(44)的一端，冷却器A2(44)的另一端通过管道连接切换阀门A10(110)、切换阀门A5(105)和切换阀门A4(104)的一端，切换阀门A10(110)的另一端通过管道连接切换阀门...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱刚，汪涛，封红军，
申请(专利权)人：朱刚，
类型：新型
国别省市：辽宁;21