【技术实现步骤摘要】
一种气体热式质量流量计
本专利技术涉及气体流量测量领域,具体而言,涉及一种气体热式质量流量计。
技术介绍
气体热式质量流量计的优点在于其计量结果不受环境温度和压力变化的影响,但当质量流量转换为标准体积流量计量时,如果校准气体与实际测量气体不一致,其计量结果将受气体的组分变化影响。因此,在用于贸易计量的目的时,将与现有的计量规范相冲突。对于工业气体测量,采用简单的气体转换因子可获得测量需要的重复性,但对于贸易计量的需求,气体转换因子不完全能保障测量需要的精度,因此,有效解决气体热式质量流量计因校准和使用气体间的精度,对于其在贸易计量领域内的应用十分必要。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种气体热式质量流量计,以解决现有气体热式质量流量计在使用过程中,当校准气体和测量气体不一致时受气体组分影响而导致测量精度偏差的技术问题。本专利技术提供的气体热式质量流量计,包括流量计主体、MEMS传感元件、控制模块、电池电源模块和流体矫直器。所述流量计主体具有供气体流动的气流通道。所述MEMS传感元件安装于所述流量计主体,且所述MEMS传感元件的探测部伸入所述气流通道,所述探测部包括质量流量传感器,所述MEMS传感元件还包括热物性传感器,所述热物性传感器包括两个热敏元件,其中,一个所述热敏元件被配置为与被测量的气体接触。所述质量流量传感器和所述热物性传感器均与所述控制模块电连接。所述电池电源模块用于为所述气体热式质量流量计中的用电部件供电。所述流体矫直器安装于所 ...
【技术保护点】
1.一种气体热式质量流量计,其特征在于,包括:/n流量计主体(100),所述流量计主体(100)具有供气体流动的气流通道(110);/nMEMS传感元件(200),所述MEMS传感元件(200)安装于所述流量计主体(100),且所述MEMS传感元件(200)的探测部(210)伸入所述气流通道(110),所述探测部(210)包括质量流量传感器(211),所述MEMS传感元件(200)还包括热物性传感器(270),所述热物性传感器(270)包括两个热敏元件,其中,一个所述热敏元件被配置为与被测量的气体接触;/n控制模块(700),所述质量流量传感器(211)和所述热物性传感器(270)均与所述控制模块(700)电连接;/n电池电源模块(500),所述电池电源模块(500)用于为所述气体热式质量流量计中的用电部件供电;以及/n流体矫直器(150),所述流体矫直器(150)安装于所述流量计主体(100)的入口处。/n
【技术特征摘要】
1.一种气体热式质量流量计,其特征在于,包括:
流量计主体(100),所述流量计主体(100)具有供气体流动的气流通道(110);
MEMS传感元件(200),所述MEMS传感元件(200)安装于所述流量计主体(100),且所述MEMS传感元件(200)的探测部(210)伸入所述气流通道(110),所述探测部(210)包括质量流量传感器(211),所述MEMS传感元件(200)还包括热物性传感器(270),所述热物性传感器(270)包括两个热敏元件,其中,一个所述热敏元件被配置为与被测量的气体接触;
控制模块(700),所述质量流量传感器(211)和所述热物性传感器(270)均与所述控制模块(700)电连接;
电池电源模块(500),所述电池电源模块(500)用于为所述气体热式质量流量计中的用电部件供电;以及
流体矫直器(150),所述流体矫直器(150)安装于所述流量计主体(100)的入口处。
2.根据权利要求1所述的气体热式质量流量计,其特征在于,所述MEMS传感元件(200)包括安装部(230)和与所述安装部(230)固定连接的杆状部(220),所述安装部(230)用于与所述流量计主体(100)固定连接,所述探测部(210)位于所述杆状部(220)远离所述安装部(230)的一端,所述热物性传感器(270)位于所述杆状部(220)与所述安装部(230)之间。
3.根据权利要求2所述的气体热式质量流量计,其特征在于,所述杆状部(220)与所述安装部(230)之间设置有封闭空间(261),所述热物性传感器(270)位于所述封闭空间(261)中,所述封闭空间(261)开设有用于与外界进行气体交换的开口(262)。
4.根据权利要求2所述的气体热式质量流量计,其特征在于,所述杆状部(220)与所述安装部(230)之间设置有并排的第一封闭空间(263)和第二封闭空间(264),所述第一封闭空间(263)设置有所述热物性传感器(270),所述第一封闭空间(263)内充满参考气体,所述第二封闭空间(264)开设有用于与外界进行气体交换的开口(262),所述第二封闭空间(264)设置有所述热物性传感器(270),所述第二封闭空间(264)内的所述热物性传感器(270)被配置为与所述气流通道(110)内的气体接触;
所述第一封闭空间(263)与所述第二封闭空间(264)二者的空间尺寸相同。...
【专利技术属性】
技术研发人员:冯勇,周昌全,黄立基,
申请(专利权)人:矽翔微机电杭州有限公司,
类型:发明
国别省市:浙江;33
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