保持架机构制造技术

本发明专利技术的保持架机构包括：保持被保持体的保持架框；设置在上述保持架框上，压紧上述被保持体的固定基准构件；根据上述被保持体的尺寸，相对于上述保持架框可以移动，压紧上述被保持体的可动基准构件；在上述保持架框的横向和纵向上至少各设置一个，使上述被保持体向上述固定基准构件或上述可动基准构件压紧的压紧构件；及驱动上述可动基准构件的驱动部。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种保持架机构，适用于检查例如液晶显示器(LCD)等平板显示器(FPD)上所用的玻璃基片，检测缺陷等的基片检查装置。
技术介绍
在LCD上所用的玻璃基片的缺陷检查中，进行称为宏观观测的检查和称为微观观测的检查。其中宏观观测是在玻璃基片的表面上照射照明光，通过检查人员的目视观测其反射光或穿透光的光学变化，检测出玻璃基片表面上的伤痕等缺陷。在该宏观观测时，将玻璃基片保持在基片检查装置的保持架上，在该状态摇动上述保持架，通过检查人员的目视观测上述玻璃基片的表面。当还要继续观测上述玻璃基片的背面时，将上述玻璃基片翻过来，与上述一样摇动上述保持架，通过检查人员的目视观测上述玻璃基片的背面。在上述的宏观观测或用显微镜的微观观测时，可进行对多数尺寸玻璃基片的检查。图14是表示在现有例的基片检查装置中所用的基片保持架的构成图。基片保持架1由形成四边形框状的保持架框2构成。在该保持架框2内，从背面支持FPD玻璃基片的图中未画出的支持板条或支持销，按规定的间隔均等设置。另外，沿着保持架框2的右侧和下侧的框，分别固定设置基准销3a、3b和3c、3d，并且沿着保持架框2的上侧和左侧的框，分别设置压紧销4a、4b和4c、4d。这些压紧销4a、4b和4c、4d分别在各压紧方向f1、f2上赋能，将玻璃基片8压紧在基准销3c、3d和3a、3b上，对玻璃基片8进行定位。各压紧销4a、4b和4c、4d分别在各可动孔5a、5b和5c、5d内，可以向各压紧方向f1、f2移动。另外，在保持架框2的上侧和下侧的框上，分别形成基准销单元安装部7a、7b。在这些基准销安装部7a、7b上通过螺钉安装有为设定不同尺寸玻璃基片基准位置的基准销单元(板条)6。基准销单元6对尺寸小的玻璃基片的基准位置进行设定。在基准销单元6上固定设置2个基准销6a、6b。图15是表示在上述基片保持架上保持大型玻璃基片的状态图。在用上述基片保持架1对大型玻璃基片8进行宏观观测(或微观观测)时，通过检查人员的手动操作，从保持架框2取下基准销单元。在该状态，当在保持架框上设置有大型玻璃基片8时，分别在压紧方向f1、f2上压出压紧销4a、4b和4c、4d，大型的玻璃基片8的二边分别接触在基准销3c、3d和3a、3b上，这样，大型玻璃基片8将被定位。图16是表示在上述基片保持架上保持小型玻璃基片的状态图。在用上述的基片保持架1对小型玻璃基片9进行宏观观测(或微观观测)时，通过检查人员的手动操作，在保持架框2上安装基准销单元6。在该状态，当在保持架框2上设置小型玻璃基片9时，分别在压紧方向f1、f2上压出压紧销4b和4c、4d，使小型玻璃基片9的二边分别接触到基准销3d和6a、6b上，这样，小型玻璃基片9将被定位。在上述的基片保持架1上，例如在大型玻璃基片8的宏观观测后进行小型玻璃基片9的宏观观测时，为了变更该小型玻璃基片9的基准位置，必须通过检查人员的手动操作安装基准销单元6。该基准销单元6通过螺钉固定等办法安装，使基准位置不动，但是该安装、拆卸作业非常麻烦，花费时间。因此在尺寸不同的玻璃基片混合存在的批量中，在基准销单元6的装卸作业上花费时间，很难提高检查的效率。另外，随着玻璃基片8的大型化，保持架框2也变得大型化。因此，在安装基准销单元6时，有时检查人员的手够不到基片保持架1的里边，无法进行螺钉固定。另外由于该作业产生的麈埃，将产生基片检查装置净化度降低的问题。本专利技术的目的在于提供一种保持架机构，可以简单地进行基准构件对尺寸不同的玻璃基片变更作业。专利技术的公开(1)本专利技术的保持架机构包括保持被保持体的保持架框；设置在上述保持架框上，压紧上述被保持体的固定基准构件；根据上述被保持体的尺寸，相对于上述保持架框可以移动，压紧上述被保持体的可动基准构件；在上述保持架框的横向和纵向上至少各设置一个，使上述被保持体向上述固定基准构件或上述可动基准构件压紧的压紧构件；及驱动上述可动基准构件的驱动部。(2)本专利技术的保持架机构是上述(1)中所述的机构，并且上述可动基准构件多组设置在对应于多数上述被保持体尺寸的位置上。(3)本专利技术的保持架机构是上述(1)或(2)中所述的机构，并且上述固定基准构件多个设置，使上述被保持体的相邻二边压紧。(4)本专利技术的保持架机构是上述(2)中所述的机构，并且上述驱动部根据在上述保持架框上所保持的被保持体尺寸，选择性驱动多组上述可动基准构件。(5)本专利技术的保持架机构是上述(1)中所述的机构，并且上述可动基准构件可向对应于上述被保持体尺寸的位置自由转动，当上述保持架框保持规定尺寸的被保持体时，向上述保持架框的内侧方向转动，而当保持上述规定尺寸以外的被保持体时，向上述保持架框的外侧方向转动。(6)本专利技术的保持架机构是上述(5)中所述的机构，并且上述保持架框，在上述可动基准构件向上述保持架框体外侧方向转动时，形成使上述可动基准构件躲避的躲避部。(7)本专利技术的保持架机构是上述(1)中所述的机构，并且上述可动基准构件设置在可向上述保持架框的横向和纵向至少一方自由移动的移动构件上。(8)本专利技术的保持架机构是上述(7)中所述的机构，并且上述移动构件形成可在上述横向和纵向的某一个方向上自由移动的I字形状。(9)本专利技术的保持架机构是上述(7)中所述的机构，并且上述移动构件形成可在上述横向和纵向的两个方向上自由移动的L字形状。(10)本专利技术的保持架机构包括保持被保持体的保持架框；设置在上述保持架框上，压紧上述被保持体的固定基准构件；根据上述被保持体的尺寸，相对于上述保持架框可以移动，压紧上述被保持体的可动基准构件；及驱动上述可动基准构件的驱动部。附图的简单说明图1是表示本专利技术的实施例所涉及的基片检查装置构成的透视图。图2是表示在本专利技术的实施例所涉及的基片检查装置中所用基片保持架的构成图。图3A是表示本专利技术的实施例所涉及的可动基准销机构具体构成的图。图3B是本专利技术的实施例所涉及的L字形臂的平面图和侧断面图。图4是表示本专利技术的实施例所涉及的可动基准销机构的驱动系统构成的模式图。图5A是表示由本专利技术的实施例所涉及的基片保持架保持大型玻璃基片时的状态图。图5B是表示由本专利技术的实施例所涉及的基片保持架保持小型玻璃基片时的状态图。图6A是表示由本专利技术的实施例所涉及的基片保持架保持大型玻璃基片时的状态图。图6B是表示由本专利技术的实施例所涉及的基片保持架保持小型玻璃基片时的状态图。图7A、图7B是表示本专利技术的实施例所涉及的基片保持架的构成图。图8A、图8B是表示本专利技术的实施例所涉及的基片保持架的构成图。图9A是表示本专利技术的实施例所涉及的可动基准板驱动机构构成的模式图。图9B是表示本专利技术的实施例所涉及的可动基准板驱动机构构成的断面图。图10A、图10B是表示本专利技术的实施例所涉及的基片保持架的构成图。图11是表示本专利技术的实施例所涉及的可动基准板驱动机构构成的模式图。图12A、图12B是表示本专利技术的实施例的变形例所涉及的基片保持架的构成图。图13A、图13B是表示本专利技术的实施例的变形例所涉及的基片保持架的构成图。图14是表示在现有例所涉及的基片检查装置所用的基片保持架的构成图。图15是表示在现有例所涉及的基片保持架上保持大型玻璃基片的状态图。图16是表示在现有例所涉及的基片保持架上保持本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种保持架机构，其特征在于包括： 保持被保持体的保持架框； 设置在上述保持架框上，压紧上述被保持体的固定基准构件； 可动基准构件，其根据上述被保持体的尺寸，相对于上述保持架框可以移动，并压紧上述被保持体； 压紧构件，其在上述保持架框的横向和纵向上至少各设置一个，使上述被保持体向上述固定基准构件或上述可动基准构件压紧；及 驱动上述可动基准构件的驱动部。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：丸山规夫，
申请(专利权)人：奥林巴斯光学工业株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]