基板搬运装置以及基板搬运方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种能够对在规定位置交付基板进行可靠检测的基板搬运装置以及基板搬运方法。基板搬运装置包括：保持基板的保持部；使所述保持部相对于规定位置往复移动的往复机构；光学传感器，其在通过所述往复机构使所述保持部移动的路径上形成传感器区；以及控制部。控制部在基板的交付动作中对搬运异常进行判断。基板的交付动作包括通过所述往复机构将所述保持部趋向规定位置移动的前往动作，和所述保持部远离规定位置的返回动作。控制部在基板的交付动作中检测第1通过期间，在该第1通过期间与预先设定的第1正常期间不同时判断为搬运异常，该第1通过期间为所述保持部或者由该保持部保持的基板从所述传感器区通过的期间。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】基板搬运装置以及基板搬运方法本申请主张基于在2018年2月28日提出的日本专利申请2018-035510号的优先权，本申请的全部内容通过引用而并入此处。
本专利技术涉及搬运基板的基板搬运装置以及基板搬运方法。
技术介绍
在半导体基板的制造工序或半导体设备的制造工序等中，通过搬运机械手等搬运基板。在搬运基板时，要求向用于处理基板的处理单元的载置部准确地载置基板、以及将处理后的基板向收纳容器准确地收纳。因此，例如需要利用传感器针对每一张基板确认是否通过搬运机械手等而将基板正常搬运至载置部等。例如，专利文献1记载的基板搬运装置具有在通过搬运部搬运基板时保持基板的挑选部(手部)。该搬运部利用按压体固定保持位于挑选部上的基板，根据按压体的位置来检测基板的保持状态。另外，搬运部在向载置部等的规定位置交付基板时，解除基于按压体的固定保持。现有技术文献专利文献专利文献1：JP特开2012-74485公报
技术实现思路
在专利文献1所记载的基于按压体的基板检测动作中，在将基板交付至规定位置之后使挑选部后退时，没有检测基板。因此，无法检测基板搭在后退的挑选部上等在挑选部上残留基板的状态。在该情况下，尽管没有能够将基板交付至规定位置，也无法检测到这种情况。像这样，在专利文献1所记载的技术中，由于无法检测利用搬运部将基板交付至规定位置，所以存在无法检测搬运不良的情况。本专利技术的一实施方式鉴于上述问题点，提供一种能够可靠地检测将基板交付至规定位置的基板搬运装置以及基板搬运方法。本专利技术的一实施方式提供在规定位置交接基板的基板搬运装置。该基板搬运装置具备：保持基板的保持部；使所述保持部相对于规定位置进行往复移动的往复机构；光学传感器，其在通过所述往复机构使所述保持部移动的路径上形成传感器区；以及控制部。所述控制部在基板的交付动作中对搬运异常进行判断。基板的交付动作包括通过所述往复机构使所述保持部趋向规定位置而移动的前往动作、和以通过所述往复机构使所述保持部远离规定位置的方式移动的返回动作。所述控制部在基板的交付动作中检测所述保持部或者由该保持部保持的基板(以下，称为“保持基板”)从所述传感器区通过的第1通过期间(duration)，在该第1通过期间与预先设定的第1正常期间不同时判断为搬运异常。在本专利技术的一实施方式中，所述规定位置为收纳基板的基板收纳容器内的位置，所述光学传感器在所述基板收纳容器外形成所述传感器区。在本专利技术的一实施方式中，所述光学传感器的所述传感器区被设定在对以向所述基板收纳容器外偏移的状态载置的基板进行检测的位置。在本专利技术的一实施方式中，所述保持部具有：与基板的一端部抵接的抵接部；能够伸缩的防止位置偏移机构，其以将基板的另一端部朝向所述抵接部按压的方式伸展来固定所述基板；以及检测所述防止位置偏移机构的伸缩动作的伸缩检测部。所述防止位置偏移机构在所述前往移动中固定基板，在所述返回移动中解除基板的固定。所述伸缩检测部在所述防止位置偏移机构固定了基板的状态下检测所述防止位置偏移机构的伸展，在所述防止位置偏移机构解除了基板的固定的状态下检测所述防止位置偏移机构的收缩。在本专利技术的一实施方式中，所述保持部为在水平方向上平坦的板状部件，在俯视时，所述板状部件具有在保持了基板时与基板重叠的部分的至少一部分被去掉的中缺区域，在所述保持部正常保持基板时，在俯视时基板与所述板状部件的所述中缺区域全部重叠，在通过所述往复机构使所述保持部往复移动时，所述保持部的所述中缺区域从所述路径通过。在本专利技术的一实施方式中，所述光学传感器为形成沿着光轴的直线状的所述传感器区的透射型传感器，所述控制部将由所述透射型传感器投射的光线被所述保持部或者所述保持基板遮挡的期间检测为所述第1通过期间。在本专利技术的一实施方式中，所述光学传感器为利用光线形成所述传感器区的反射型传感器，所述控制部将通过所述反射型传感器投射的光线被所述保持部或者所述保持基板反射且被该反射型传感器接受的期间检测为所述第1通过期间。在本专利技术的一实施方式中，所述控制部在通过所述保持部接受位于规定位置的基板的接受动作时，对搬运异常进行判断。基板的接受动作包括通过所述往复机构使所述保持部趋向规定位置而移动的前往动作、和以通过所述往复机构使所述保持部远离规定位置的方式移动的返回动作。所述控制部在基板的接受动作中检测第2通过期间，在该第2通过期间与预先设定的第2正常期间不同时判断为搬运异常，所述第2通过期间为所述保持部或者所述保持基板从所述传感器区通过的期间。在本专利技术的一实施方式中，所述第1正常期间和所述第2正常期间为相同长度。在本专利技术的一实施方式中，所述控制部根据基于所述往复机构的所述保持部的移动速度，设定第1正常期间或者第2正常期间。在本专利技术的一实施方式中，所述控制部在进行所述交付动作时，将所述返回动作中的基于所述往复机构的所述保持部的移动速度设为比所述前往动作中的基于所述往复机构的所述保持部的移动速度慢。本专利技术的一实施方式提供在规定位置交接基板的基板搬运方法。该基板搬运方法包括：使保持了基板的保持部趋向规定位置移动的第1前往工序；执行从所述保持部向规定位置交付基板的动作的交付工序；第1返回工序，在交付工序后使所述保持部从规定位置后退；第1检测工序，在包括第1前往工序以及第1返回工序在内的期间内，检测所述保持部或者由该保持部保持的基板(以下，称为“保持基板”)从传感器区通过的第1通过期间，所述传感器区为在所述保持部移动的路径上形成光学传感器的区域；以及第1判断工序，在第1检测工序中检测到的第1通过期间与预先设定的第1正常期间不同时判断为搬运异常。在本专利技术的一实施方式中，所述保持部包括：与基板的一端部抵接的抵接部；能够伸缩的防止位置偏移机构，其以将基板的另一端部朝向所述抵接部按压的方式伸展来固定所述基板。而且，在第1前往工序中，通过所述防止位置偏移机构将所述基板的另一端部朝向所述抵接部按压来固定所述基板，防止位置偏移，且检测所述防止位置偏移机构的伸缩动作。在第1返回工序中，解除基于所述防止位置偏移机构的固定。在本专利技术的一实施方式中，所述第1返回动作中的基于所述往复机构的所述保持部的移动速度比所述第1前往动作中的基于所述往复机构的所述保持部的移动速度慢。在本专利技术的一实施方式中，所述方法还包括：使所述保持部朝向位于规定位置的基板移动的第2前往工序；接受工序，执行由所述保持部接受位于规定位置的基板的接受动作；第2返回工序，在所述接受工序后使所述保持部从规定位置后退；第2检测工序，在包括第2前往工序以及第2返回工序在内的期间内，检测所述保持部或者所述保持基板从所述传感器区通过的第2通过期间；以及第2判断工序，在第2检测工序中检测到的第2通过期间与预先设定的第2正常期间不同时判断为搬运异常。在本专利技术的一实施方式中，所述第1正常期间和所述第2正常期间为相同长度。根据本专利技术的实施方式，能够可靠地检测通过搬运部搬运来的基板被交付至规定位置。本专利技术的上述或本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基板搬运装置，其在规定位置交接基板，其特征在于，/n具备：/n保持基板的保持部；/n使所述保持部相对于所述规定位置进行往复移动的往复机构；/n光学传感器，其在通过所述往复机构使所述保持部移动的路径上形成传感器区；以及/n控制部，其在包括通过所述往复机构使所述保持部趋向所述规定位置的前往动作、和使所述保持部远离所述规定位置的返回动作在内的基板的交付动作中检测第1通过期间，在该第1通过期间与预先设定的第1正常期间不同时判断为搬运异常，所述第1通过期间为所述保持部或者由该保持部保持的基板即保持基板从所述传感器区通过的期间。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180228 JP 2018-0355101.一种基板搬运装置，其在规定位置交接基板，其特征在于，
具备：
保持基板的保持部；
使所述保持部相对于所述规定位置进行往复移动的往复机构；
光学传感器，其在通过所述往复机构使所述保持部移动的路径上形成传感器区；以及
控制部，其在包括通过所述往复机构使所述保持部趋向所述规定位置的前往动作、和使所述保持部远离所述规定位置的返回动作在内的基板的交付动作中检测第1通过期间，在该第1通过期间与预先设定的第1正常期间不同时判断为搬运异常，所述第1通过期间为所述保持部或者由该保持部保持的基板即保持基板从所述传感器区通过的期间。


2.根据权利要求1所述的基板搬运装置，其特征在于，
所述规定位置为收纳基板的基板收纳容器内的位置，所述光学传感器在所述基板收纳容器外形成所述传感器区。


3.根据权利要求2所述的基板搬运装置，其特征在于，
所述光学传感器的所述传感器区被设定在对以向所述基板收纳容器外偏移的状态载置的基板进行检测的位置。


4.根据权利要求1～3中任一项所述的基板搬运装置，其特征在于，
所述保持部具有：与基板的一端部抵接的抵接部；能够伸缩的防止位置偏移机构，其以将基板的另一端部朝向所述抵接部按压的方式伸展来固定所述基板；以及检测所述防止位置偏移机构的伸缩动作的伸缩检测部，
所述防止位置偏移机构在所述前往移动中固定基板，在所述返回移动中解除基板的固定，
所述伸缩检测部在所述防止位置偏移机构固定了基板的状态下检测所述防止位置偏移机构的伸展，在所述防止位置偏移机构解除了基板的固定的状态下检测所述防止位置偏移机构的收缩。


5.根据权利要求1～4中任一项所述的基板搬运装置，其特征在于，
所述保持部为在水平方向上平坦的板状部件，在俯视时，所述板状部件具有在保持了基板时与基板重叠的部分的至少一部分被去掉的中缺区域，在所述保持部正常保持基板时，在俯视时基板与所述板状部件的所述中缺区域全部重叠，
在通过所述往复机构使所述保持部往复移动时，所述保持部的所述中缺区域从所述路径通过。


6.根据权利要求1～5中任一项所述的基板搬运装置，其特征在于，
所述光学传感器为形成沿着光轴的直线上的所述传感器区的透射型传感器，
所述控制部将由所述透射型传感器投射的光线被所述保持部或者所述保持基板遮挡的期间检测为所述第1通过期间。


7.根据权利要求1～5中任一项所述的基板搬运装置，其特征在于，
所述光学传感器为利用光线形成所述传感器区的反射型传感器，
所述控制部将通过所述反射型传感器投射的光线被所述保持部或者所述保持基板反射且被该反射型传感器接受的期间检测为所述第1通过期间。


8.根据权利要求1～7中任一项所述的基板搬运装置，其特征在于，
所述控制部在通过所述保持部接受位于所述规定位置的基板的基板的接受动作时，对搬运异常进行判断，
所述基板的接受动作包括通过所述往复机构而使所述保持部趋向所述规定位置移动的前往动作、和通过所述往复机构使...

【专利技术属性】
技术研发人员：深津英司，小河丰，
申请(专利权)人：株式会社斯库林集团，
类型：发明
国别省市：日本;JP