【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】过滤装置、纯化装置及药液的制造方法
本专利技术涉及一种过滤装置、纯化装置及药液的制造方法。
技术介绍
在通过包括光刻的配线形成工序制造半导体器件时，作为预湿液、抗蚀剂液(抗蚀剂树脂组合物)、显影液、冲洗液、剥离液、化学机械抛光(CMP：ChemicalMechanicalPolishing)浆料及CMP后的清洗液等或作为这些的稀释液，使用含有水和/或有机溶剂的药液。近年来，通过光刻技术的进歩，推进图案的精细化。对这种配线形成工序中所使用的药液还要求提高缺陷抑制性能。认为这种药液通常通过使用过滤器等将含有对药液所要求的成分作为主成分的被纯化液进行纯化来去除杂质等而得到。作为这种药液的纯化中能够使用的过滤器，在专利文献1中记载有“一种接枝化非对称多孔性超高分子量聚乙烯膜，当通过乙氧基-九氟丁烷起泡点试验确定时，具有约78psi至160psi的起泡点，在膜的1个或多个表面具有接枝化的1个或多个中性基或离子交换基”。以往技术文献专利文献专利文献1：日本特表2017-536232号公报<...
【技术保护点】
1.一种过滤装置，其用于将被纯化液进行纯化而得到药液，所述过滤装置具有：/n流入部；/n流出部；/n过滤器A；/n与所述过滤器A不同的至少1个过滤器B；及/n串联配置有所述过滤器A及所述过滤器B的从所述流入部至所述流出部的流道，/n所述过滤器A具有：超高分子量聚乙烯制的多孔性膜；及树脂层，以覆盖所述多孔性膜的表面的至少一部分的方式配置，/n所述树脂层包含具有中性基或离子交换基的树脂。/n
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180322 JP 2018-055045;20180816 JP 2018-1532531.一种过滤装置，其用于将被纯化液进行纯化而得到药液，所述过滤装置具有：
流入部；
流出部；
过滤器A；
与所述过滤器A不同的至少1个过滤器B；及
串联配置有所述过滤器A及所述过滤器B的从所述流入部至所述流出部的流道，
所述过滤器A具有：超高分子量聚乙烯制的多孔性膜；及树脂层，以覆盖所述多孔性膜的表面的至少一部分的方式配置，
所述树脂层包含具有中性基或离子交换基的树脂。
2.根据权利要求1所述的过滤装置，其中，
所述过滤器B包含在所述流道上配置于所述过滤器A的上游侧的至少1个过滤器BU。
3.根据权利要求2所述的过滤装置，其中，
至少1个所述过滤器BU包含具有1nm以上的孔径的过滤器。
4.根据权利要求2或3所述的过滤装置，其中，
至少1个所述过滤器BU含有具有第2离子交换基的树脂。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的过滤装置，其中，
所述具有中性基或离子交换基的树脂具有所述中性基，
所述过滤器A在所述流道上配置于最下游侧。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的过滤装置，其中，
所述具有中性基或离子交换基的树脂具有选自由酰胺基、酰亚胺基、甲酰胺基、磺酰胺基、次磺酰胺基、硫代酰胺基、脒基、甲脒基及亚磺脒基组成的组中的基团。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的过滤装置，其具有能够从所述流道上的所述过滤器A的下游侧向所述过滤器A的上游侧回流所述被纯化液的回流流道。
8.根据权利要求1至4中任一项所述的过滤装置，其中，
所述过滤器B包含至少1个在所述流道上配置于所述过滤器A的下游侧的过滤器BD。
9.根据权利要求8所述的过滤装置，其中，
至少1个所述过滤器BD包含具有20nm以下的孔径的过滤器。
10.根据权利要求8或9所述的过滤装置，其中，
所述过滤器BD含有选自由聚烯烃、聚酰胺、聚氟碳、聚苯乙烯、聚砜及聚醚砜组成的组中的至少1种。
11.根据权利要求8至10中任一项所述的过滤装置，其具有能够从标准过滤器的下游侧向所述标准过滤器的上游侧回流所述被纯化液的回流流道，所述标准过滤器包含至少1个所述过滤器BD中的任意过滤器BD。
12.根据权利要求8至11中任一项所述的过滤装置，其用于满足以下条件1的所述被纯化液的纯化，
条件1：在将溶出物的汉森溶解度参数的极化项的贡献率设为ΔPe及将所述被纯化液的汉森溶解度参数的极化项的贡献率设为ΔPs时，满足式；|ΔPs-ΔPe|≤10，该溶出物通过将甲醇作为提取溶剂的回流提取而从所述过滤器A溶出。
13.根据权利要求12所述的过滤装置，其中，
...
【专利技术属性】
技术研发人员：上村哲也，高桥智美，大松祯，清水哲也，
申请(专利权)人：富士胶片株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP
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