对组合样品的结构和成分进行测量分析的方法及装置制造方法及图纸

本发明专利技术是一种对组合样品的结构和成分进行测量分析的方法及装置，它涉及利用Ｘ射线衍射、Ｘ射线荧光技术对结构和成分进行测量分析的方法及装置。Ｘ射线源１、Ｘ射线透镜３、样品台７及其控制电路、能量探测器９及其测量电路等均置于仪器平台１３上，Ｘ射线源与Ｘ射线透镜形成入射光路，能量探测器位于衍射光路上。将Ｘ射线源发出的发散白光Ｘ射线通过Ｘ射线透镜聚焦成准平行的微会聚束照射到样品台上，平移样品台使被测样品６位于该焦点，然后用能量探测器接收从被测样品上衍射的Ｘ射线和发射的荧光Ｘ射线，再传输到计算机１２中进行数据处理，得到衍射谱和荧光光谱，从而分析出结构和成分。本发明专利技术操作简单，测量速度较快，能够适用于各种组合样品。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及同时利用X射线衍射、X射线荧光技术对结构和成分进行测量分析的方法及装置。
技术介绍
目前，在对材料的晶体结构和成分进行分析时，通常采用X射线衍射技术。最常规的是角度色散X射线衍射(简称XRD)，采用单波长X射线(单色光，衍射前单色化或衍射后单色化)照射材料样品，使样品面与探测器之间做θ-2θ连动扫描，得到满足衍射公式2dsinθ＝λ0的衍射图谱(d为晶面间距、是样品材料的结构参数，θ为衍射角，λ0为X射线的波长)，即衍射强度与衍射角θ的关系曲线，再根据衍射图谱上的衍射峰所处的角度计算对应的晶面间距，分析材料的晶体结构。另一种技术是能量色散X射线衍射(简称EDXRD)，采用白光X射线照射样品，探测器固定在某个特定的衍射角2θ0上。在这个固定的角度上，不同的晶面间距d对不同的波长λ(或光子能量E＝12399/λ)发生衍射而被探测器接收，探测器具有能量分辨能力，将记录到的X射线按其光子能量分开，得到满足衍射公式2dsinθ0＝12399/E的衍射图谱，即衍射强度与光子能量的关系曲线，根据图谱上的衍射峰所对应的光子能量同样可计算晶面间距，分析被测材料的晶体结构。不过，上述技术本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种对组合样品的结构和成分进行测量分析的方法，其特征为：将Ｘ射线源（１）发出的发散白光Ｘ射线通过Ｘ射线透镜（３）聚焦成准平行的白光Ｘ射线微会聚束，焦点处于样品台（７）上，平移样品台使被测样品位于该焦点，然后用能量探测器（９）接收从被测样品上衍射的Ｘ射线和被测样品发射的荧光Ｘ射线，再传输到计算机（１２）中进行数据处理，得到衍射谱和荧光光谱，从而得到组合样品的结构和成分信息。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员：高琛，罗震林，
申请(专利权)人：中国科学技术大学，
类型：发明
国别省市：34[中国|安徽]