感光性组合物制造技术

一种感光性组合物，其用于脉冲曝光且包含色材A、光自由基聚合引发剂B及自由基聚合性化合物C，在自由基聚合性化合物C的总质量中重均分子量为3000以上的自由基聚合性化合物C1的含量为70质量％以上。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】感光性组合物
本专利技术涉及一种包含色材的感光性组合物。更具体而言，涉及一种用于固体摄像元件或滤色器等的感光性组合物。
技术介绍
随着数位相机、附有相机的行动电话等的普及，对电荷耦合元件(CCD)影像传感器等固体摄像元件的需要大大增加。滤色器用作显示器或光学元件的核心装置。滤色器通常具备红、绿及蓝这3原色的像素(着色图案)，发挥将透射光分解成3原色的作用。使用包含色材的感光性组合物来形成滤色器。例如，专利文献1中记载有关于一种利用了300nm以下的超短波长曝光器的固体摄像元件的滤色器制造用感光性组合物的专利技术。并且，专利文献2中记载有，使用至少含有具有不饱和双键的分散树脂、颜料、光聚合引发剂、溶剂且颜料的质量大于固体成分的总量的50质量％且95质量％以下的感光性组合物来制造滤色器。以往技术文献专利文献专利文献1：日本特表2012-532334号公报专利文献2：日本特开2008-165020号公报
技术实现思路
专利技术要解决的技术课题关于使用包含色材的感光性组合物来形成的膜，期望其具有优异的耐溶剂性、耐湿性、耐热扩散性。并且，近年来，滤色器中正在进行图案尺寸的微细化。因此，用于形成滤色器等的感光性组合物中，期望进一步提高光刻性。本专利技术的目的在于提供一种能够形成具有优异的光刻性并且耐溶剂性、耐湿性及耐热扩散性优异的膜的感光性组合物。用于解决技术课题的手段本专利技术人对感光性组合物进行深入研究的结果，发现能够通过后述的感光性组合物来实现目的，从而完成了本专利技术。因此，本专利技术提供以下。＜1＞一种感光性组合物，其用于脉冲曝光且包含色材A、光自由基聚合引发剂B及自由基聚合性化合物C，在自由基聚合性化合物C的总质量中重均分子量为3000以上的自由基聚合性化合物C1的含量为70质量％以上。＜2＞根据＜1＞所述的感光性组合物，其中，色材A为颜料。＜3＞根据＜1＞或＜2＞所述的感光性组合物，其中，在感光性组合物的总固体成分中色材A的含量为50质量％以上。＜4＞根据＜1＞至＜3＞中任一项所述的感光性组合物，其中，在感光性组合物的总固体成分中光自由基聚合引发剂B的含量为2～10质量％。＜5＞根据＜1＞至＜4＞中任一项所述的感光性组合物，其中，在感光性组合物的总固体成分中色材A与自由基聚合性化合物C1的合计量为80质量％以上。＜6＞根据＜1＞至＜5＞中任一项所述的感光性组合物，其中，在感光性组合物中所包含的重均分子量为3000以上且除了色材A及光自由基聚合引发剂B以外的化合物的合计质量中自由基聚合性化合物C1的含量为60质量％以上。＜7＞根据＜1＞至＜6＞中任一项所述的感光性组合物，其中，自由基聚合性化合物C1具有酸基。＜8＞根据＜7＞所述的感光性组合物，其中，自由基聚合性化合物C1的酸值为30～150mgKOH/g。＜9＞根据＜1＞至＜8＞中任一项所述的感光性组合物，其中，自由基聚合性化合物C1包含在侧链上具有烯属不饱和键合基团的重复单元。＜10＞根据＜1＞至＜9＞中任一项所述的感光性组合物，其中，自由基聚合性化合物C1包含在侧链上具有烯属不饱和键合基团的重复单元及具有接枝链的重复单元。＜11＞根据＜1＞至＜10＞中任一项所述的感光性组合物，其中，自由基聚合性化合物C1的烯属不饱和键合基团量为0.2～3.0mmol/g。＜12＞根据＜1＞至＜11＞中任一项所述的感光性组合物，其中，自由基聚合性化合物C1的重均分子量为5000～40000。＜13＞根据＜1＞至＜12＞中任一项所述的感光性组合物，其中，自由基聚合性化合物C1为分散剂。＜14＞根据＜1＞至＜13＞中任一项所述的感光性组合物，其中，自由基聚合性化合物C包含自由基聚合性化合物C1及分子量小于3000的自由基聚合性化合物C2，在自由基聚合性化合物C1与自由基聚合性化合物C2的合计量中，自由基聚合性化合物C1的含量为93～99.5质量％。＜15＞根据＜1＞至＜14＞中任一项所述的感光性组合物，其为用于利用波长300nm以下的光进行脉冲曝光的感光性组合物。＜16＞根据＜1＞至＜15＞中任一项所述的感光性组合物，其为用于在最大瞬间照度50000000W/m2以上的条件下进行脉冲曝光的感光性组合物。＜17＞根据＜1＞至＜16＞中任一项所述的感光性组合物，其为固体摄像元件用感光性组合物。＜18＞根据＜1＞至＜17＞中任一项所述的感光性组合物，其为滤色器用感光性组合物。专利技术效果根据本专利技术，能够提供一种能够形成具有优异的光刻性并且耐溶剂性、耐湿性及耐热扩散性优异的膜的感光性组合物。具体实施方式以下，对本专利技术的内容进行详细说明。本说明书中，“～”是以将其前后所记载的数值作为下限值及上限值而包含的含义来使用。本说明书中的基团(原子团)的标记中，未标有经取代及未经取代的标记包含不具有取代基的基团(原子团)，并且还包含具有取代基的基团(原子团)。例如，“烷基”不仅包含不具有取代基的烷基(未经取代的烷基)，而且还包含具有取代基的烷基(经取代的烷基)。本说明书中，“(甲基)烯丙基”表示烯丙基及甲基烯丙基这两者或其中任一个，“(甲基)丙烯酸酯”表示丙烯酸酯及甲基丙烯酸酯这两者或其中任一个，“(甲基)丙烯酸”表示丙烯酸及甲基丙烯酸这两者或其中任一个，“(甲基)丙烯酰基”表示丙烯酰基及甲基丙烯酰基这两者或其中任一个。本说明书中，重均分子量及数均分子量为通过GPC(凝胶渗透色谱)法测量出的聚苯乙烯换算值。本说明书中，所谓红外线是指波长为700～2500nm的光。本说明书中，颜料是指难以在溶剂中溶解的化合物。例如，颜料在23℃的100g水及23℃的100g丙二醇单甲醚乙酸酯中的溶解度均优选为0.1g以下，更优选为0.01g以下。本说明书中，总固体成分是指从组合物的所有成分中去除溶剂后的成分的总质量。本说明书中，“工序”这一术语不仅包含独立的工序，即使在无法与其他工序明确区分的情况下，只要能够达成该工序的所期望的作用，则包含于本术语中。＜感光性组合物＞本专利技术的感光性组合物用于脉冲曝光，其特征在于，所述感光性组合物包含色材A、光自由基聚合引发剂B及自由基聚合性化合物C，在自由基聚合性化合物C的总质量中重均分子量为3000以上的自由基聚合性化合物C1的含量为70质量％以上。通过对本专利技术的感光性组合物进行脉冲曝光，能够在曝光部中瞬间由光自由基聚合引发剂B等大量地产生自由基。通过在曝光部中瞬间大量地产生自由基，根据抑制因氧而引起的失活等的效果，能够有效地固化固化性化合物，因此能够仅对曝光部选择性地进行固化，能够沿着掩模形状形成图案。因此，通过本专利技术的感光性组合物为用于脉冲曝光的感光性组合物，具本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种感光性组合物，其用于脉冲曝光，且包含色材A、光自由基聚合引发剂B及自由基聚合性化合物C，/n在所述自由基聚合性化合物C的总质量中重均分子量为3000以上的自由基聚合性化合物C1的含量为70质量％以上。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180305 JP 2018-0386221.一种感光性组合物，其用于脉冲曝光，且包含色材A、光自由基聚合引发剂B及自由基聚合性化合物C，
在所述自由基聚合性化合物C的总质量中重均分子量为3000以上的自由基聚合性化合物C1的含量为70质量％以上。


2.根据权利要求1所述的感光性组合物，其中，
所述色材A为颜料。


3.根据权利要求1或2所述的感光性组合物，其中,
在所述感光性组合物的总固体成分中所述色材A的含量为50质量％以上。


4.根据权利要求1至3中任一项所述的感光性组合物，其中，
在所述感光性组合物的总固体成分中所述光自由基聚合引发剂B的含量为2质量％～10质量％。


5.根据权利要求1至4中任一项所述的感光性组合物，其中，
在所述感光性组合物的总固体成分中色材A与自由基聚合性化合物C1的合计量为80质量％以上。


6.根据权利要求1至5中任一项所述的感光性组合物，其中，
在感光性组合物中所包含的重均分子量为3000以上且除了所述色材A及所述光自由基聚合引发剂B以外的化合物的合计质量中所述自由基聚合性化合物C1的含量为60质量％以上。


7.根据权利要求1至6中任一项所述的感光性组合物，其中，
所述自由基聚合性化合物C1具有酸基。


8.根据权利要求7所述的感光性组合物，其中，
所述自由基聚合性化合物C1的酸值为30mgKOH/g～150mgKOH/g。


9.根据权利要求1至8中任一项所述的感光性组合物，其中，
所述自由基聚合性化合物C1包...

【专利技术属性】
技术研发人员：中村翔一，大河原昂广，奈良裕树，
申请(专利权)人：富士胶片株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP