【技术实现步骤摘要】
尺度可控的微皱纹金薄膜柔性裂纹传感器
本专利技术涉及传感器
，特别是涉及尺度可控的微皱纹金薄膜柔性裂纹传感器。
技术介绍
近年来，应变传感器引起了人们越来越多的兴趣，因为人们对可穿戴电子设备、人工智能、智能健康监测系统等有着巨大的需求。但是，尽管柔性传感器发展迅速，可是迄今为止，电阻应变传感器在灵敏度方面的提升非常有限，通常存在灵敏度不够的问题，无法灵敏、可靠地将所受到的外力作用情况，对应转换为电阻的变化情况。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术的目的是提供尺度可控的微皱纹金薄膜柔性裂纹传感器，其具有良好的灵敏度，能够灵敏、可靠地将所受到的外力作用情况，对应转换为电阻的变化情况，具有重大的生产实践意义。为此，本专利技术提供了尺度可控的微皱纹金薄膜柔性裂纹传感器，包括柔性基底，所述柔性基底的表面涂覆有氧化石墨烯层；涂覆有氧化石墨烯层的柔性基底的表面，通过离子溅射的方式，沉积形成有金膜。其中，所述柔性基底的制备包括以下步骤：第一步：将聚二甲基硅氧烷PDMS作为主剂...
【技术保护点】
1.尺度可控的微皱纹金薄膜柔性裂纹传感器，其特征在于，包括柔性基底(1)，所述柔性基底(1)的表面涂覆有氧化石墨烯层(2)；/n涂覆有氧化石墨烯层(2)的柔性基底(1)的表面，通过离子溅射的方式，沉积形成有金膜(3)。/n
【技术特征摘要】
1.尺度可控的微皱纹金薄膜柔性裂纹传感器，其特征在于，包括柔性基底(1)，所述柔性基底(1)的表面涂覆有氧化石墨烯层(2)；
涂覆有氧化石墨烯层(2)的柔性基底(1)的表面，通过离子溅射的方式，沉积形成有金膜(3)。
2.如权利要求1所述的尺度可控的微皱纹金薄膜柔性裂纹传感器，其特征在于，所述柔性基底(1)的制备包括以下步骤：
第一步：将聚二甲基硅氧烷PDMS作为主剂，与固化剂按照10:1的质量比进行混合，在搅拌脱气后，悬涂在玻璃基片上并进行固化；
第二步：将固化后的聚二甲基硅氧烷PDMS从玻璃基片上剥离，预拉伸预设的长度后，能够在聚二甲基硅氧烷PDMS的表面形成褶皱，然后进行紫外臭氧处理，在聚二甲基硅氧烷PDMS的外表面...
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