分析二氧化碳中杂质的方法技术

本发明专利技术涉及用于检测在应用二氧化碳过程中可以析出并且沉积到工件上的污染物，特别是已经存在并且溶于供应到应用中的新鲜二氧化碳中的污染物的方法和系统。本发明专利技术一个方面包括一种检测溶于二氧化碳流中污染物的方法，包括以下步骤：抽取至少一部分二氧化碳流以形成二氧化碳样品；改变该二氧化碳样品的至少一个物理条件以形成包含气态二氧化碳和至少一种悬浮污染物的气溶胶；并且用至少一个颗粒计数器检测至少一部分该二氧化碳样品中悬浮污染物颗粒的数目。还描述了一种用于连续检测溶于二氧化碳流中的污染物的系统。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
相关申请本申请要求2002年1月22日申请的美国临时申请US60/350,688的优先权。上述申请的全部内容引入本文作为参考。
技术介绍
通常提供给食品和饮料消费者的二氧化碳必须满足一系列被称为增强成分等级(EIG)的纯度规格。这种纯度的二氧化碳足以满足在食品和饮料中使用，并且大多数厂家均能生产。一些应用要求纯度比EIG更高的二氧化碳。例如，超临界流体萃取和超临界流体色谱法需要少量纯度更高的二氧化碳。这种纯度更高的二氧化碳的例子包括超临界流体萃取(SFE)和超临界流体色谱法(SFC)等级。这些等级的二氧化碳通常用钢瓶供应。最近开发了需要高纯度的和超高纯度(UHP)二氧化碳的其它应用。这些应用包括制药、半导体加工(光刻胶的除去和晶片清洗)、微电子-机械系统(MEMS)干燥和金属靶清洗。过去，一些方法已经用于测量二氧化碳中的杂质。一种通用的方法为高压液相色谱法(HPLC)。在Zito，R.的“CO2Snow Cleaningof OpticsCuring the Contamination Problem”，Proceeding ofSPIE Vol.4096(2000)中描述了该方法的例子。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种检测溶于二氧化碳流中污染物的方法，其包括以下步骤：ａ）抽取至少一部分二氧化碳流以形成二氧化碳样品；ｂ）改变该二氧化碳样品的至少一个物理条件以形成包含气态二氧化碳和至少一种悬浮污染物的气溶胶；和ｃ）用至少一个颗粒计数器检测至少一部分二氧化碳样品中悬浮污染物颗粒的数目。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：MC约翰逊，CJ黑姆，JF比林哈姆，ML马尔切夫斯基，
申请(专利权)人：普莱克斯技术有限公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]