药液混合装置及药液混合补水系统制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种药液混合装置及药液混合补水系统，药液混合装置包括：药液罐，顶部设有药液入口、补水口和药液循环入口，底部设有药液出口；药液供给管路，出口端连接药液入口，入口端连接药液供给端，药液供给管路上设有第一阀门；补水管路，出口端连接补水口，入口端连接补水端，补水管路上设有第二阀门；药液输出管路，入口端连接药液出口，出口端连接产品清洗端，药液输出管路上设有循环泵和第三阀门，位于循环泵的下游；药液混合管路，入口端连通循环泵与第三阀门之间的药液输出管路，出口端连通药液循环入口，药液混合管路上设有药液混合元件；浓度检测单元，用于检测药液罐内药液的浓度。本发明专利技术可实现对补水后的清洗药液进行充分的混合。

【技术实现步骤摘要】
药液混合装置及药液混合补水系统
本专利技术涉及半导体
，更具体地，涉及一种药液混合装置及药液混合补水系统。
技术介绍
在集成电路清洗领域，针对不同的集成电路产品清洗对象及纳米节点，需选择对应的清洗药液，有些药液单次使用后会将其排放掉，而另一些药液需要反复利用。针对反复使用的药液，清洗工艺对水含量指标有较高要求，随着药液反复喷洒及回收，药液中的水分在循环中流逝，导致水含量降低，当水含量不在规定允许含量区间时，会直接影响药液清洗效果及循环管路泵速，对所清洗产品及设备本身都将产生不利影响。现有技术中，药液和水由厂务端直接注入药液罐中，混合后供工艺使用，对于一些黏度高、亲水性差的化学药液，容易产生混合不均匀，甚至导致浓度计检测偏差，直接影响工艺效果。
技术实现思路
本专利技术的目的是提出一种药液混合装置及药液混合补水系统，实现将药液与水在短时间内进行充分混合。为实现上述目的，第一方面，本专利技术提出了一种药液混合装置，用于混合清洗半导体产品的药液，包括：药液罐，所述药液罐的顶部设有药液入口、补水口和药液循环入口，所述药液罐的底部设有药液出口；药液供给管路，所述药液供给管路的出口端连接所述药液入口，所述药液供给管路的入口端连接药液供给端，所述药液供给管路上设有第一阀门；补水管路，所述补水管路的出口端连接所述补水口，所述补水管路的入口端连接补水端，所述补水管路上设有第二阀门；药液输出管路，所述药液输出管路的入口端连接所述药液出口，所述药液输出管路的出口端连接半导体产品清洗端，所述药液输出管路上设有循环泵和第三阀门，所述第三阀门位于所述循环泵的下游；药液混合管路，所述药液混合管路的入口端连通所述循环泵与所述第三阀门之间的药液输出管路，所述药液混合管路的出口端连通所述药液循环入口，所述药液混合管路上设有药液混合元件；浓度检测单元，至少部分位于所述药液罐内，用于检测所述药液罐内药液的浓度。第二方面，本专利技术还提出一种药液混合补水系统，包括：定量补水装置以及至少一个如第一方面所述的药液混合装置；所述定量补水装置包括储水罐、供水管路和补水管路；所述储水罐的底部设有进水口和出水口；所述供水管路的出口端连通所述进水口，所述供水管路的入口端连接供水端，所述供水管路上设有第五阀门；所述补水管路的入口端连通所述出水口，所述补水管路的出口端与至少一个所述药液混合装置的所述补水管路的入口端连接，所述补水管路的入口端设有定量补水元件；所述定量补水元件用于根据所述浓度检测单元检测的药液浓度值进行定量补水，以使所述浓度检测单元检测的所述药液浓度值在预设浓度值范围之内。本专利技术的有益效果在于：1、通过设置药液混合管路连通循环泵与第三阀门之间的药液输出管路和药液循环入口，能够在药液罐底部和顶部之间形成药液循环回路，通过在药液混合管路上设置的药液混合元件，能够对补水后的清洗药液进行充分的混合，避免了现有技术中直接补水造成药液与水短时间内无法充分混合以及浓度计检测偏差的缺陷，保证清洗药液的浓度在工艺要求的浓度范围之内，有效提高产品清洗的工艺效果。2、通过在定量补水装置的储水罐的出水口上设置定量补水元件，能够根据浓度检测单元检测的药液浓度值进行定量补水，使浓度检测单元检测的浓度值在预设范围之内；同时，还可以设置多个药液混合装置，每个药液混合装置的补水管路的入口端均与定量补水装置的补水管路连通，能够实现分别为多个药液混合装置进行补水，无需为每个药液混合装置增加定量补水装置，节省因定量补水装置复杂带来的设备空间臃肿，能够有效满足多个药液罐反复补水需求，改善药液准备时间及产品良率。本专利技术的装置具有其它的特性和优点，这些特性和优点从并入本文中的附图和随后的具体实施方式中将是显而易见的，或者将在并入本文中的附图和随后的具体实施方式中进行详细陈述，这些附图和具体实施方式共同用于解释本专利技术的特定原理。附图说明通过结合附图对本专利技术示例性实施例进行更详细的描述，本专利技术的上述以及其它目的、特征和优势将变得更加明显，在本专利技术示例性实施例中，相同的参考标号通常代表相同部件。图1示出了一种现有的药液混合装置的结构示意图。图2示出了根据本专利技术的一个实施例的一种药液混合装置的结构示意图。图3示出了根据本专利技术的一个实施例的一种药液混合补水系统的结构示意图。附图标记说明：1、药液罐；2、药液供给管路；3、补水管路；4、药液输出管路；5、药液混合管路；6、浓度检测单元；7、第一阀门；8、药液供给端；9、第二阀门；10、补水端；11、循环泵；12、第三阀门；13、半导体产品清洗端；14、第四阀门；15、压力检测单元；16、混流单元；17、储水罐；18、供水端；19、供水管路；20、第五阀门；21、补水管路；22、定量补水元件；23、水循环管路；24、第六阀门。具体实施方式图1示出了现有的半导体清洗药液混合装置，其工作过程为将药液和水由厂务端的水供给端和药液供给端直接注入混合罐中，混合后供工艺使用，该对于一些价格昂贵的药液通常会反复循环使用，在使用过程中，水含量的减少较为明显，该装置在药液补水过程中，直接将水补给到混合罐中，对于黏度高、亲水性差的化学药液很容易产生混合不均匀，甚至导致浓度计(TS)检测偏差，直接影响工艺效果。并且现有的药液混合装置无法实现短时间内对多种药液的补水操作，影响工艺效率。本专利技术能够在药液补水过程中快速的将药液和水混合均匀，避免短时间内的药液补水的混合不均匀导致的药液浓度偏差，有效提高工艺效果，同时还能够实现分别为多个药液混合装置进行补水，有效满足反复补水需求，改善药液准备时间及产品良率。下面将参照附图更详细地描述本专利技术。虽然附图中显示了本专利技术的优选实施例，然而应该理解，可以以各种形式实现本专利技术而不应被这里阐述的实施例所限制。相反，提供这些实施例是为了使本专利技术更加透彻和完整，并且能够将本专利技术的范围完整地传达给本领域的技术人员。实施例1图2示出了根据本专利技术的一个实施例的一种药液混合装置的结构示意图。如图3所示，一种药液混合装置，用于混合清洗半导体产品的药液，包括：药液罐1，药液罐1的顶部设有药液入口、补水口和药液循环入口，药液罐1的底部设有药液出口；药液供给管路2，药液供给管路2的出口端连接药液入口，药液供给管路2的入口端连接药液供给端8，药液供给管路2上设有第一阀门7；补水管路3，补水管路3的出口端连接补水口，补水管路3的入口端连接补水端10，补水管路3上设有第二阀门9；药液输出管路4，药液输出管路4的入口端连接药液出口，药液输出管路4的出口端连接半导体产品清洗端13，药液输出管路4上设有循环泵11和第三阀门12，第三阀门12位于循环泵11的下游；药液混合管路5，药液混合管路5的入口端连通循环泵11与第三阀门12之间的药液输出管路4，药液混合管路5的出口端连通药液循环本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种药液混合装置，用于混合清洗半导体产品的药液，其特征在于，包括：/n药液罐，所述药液罐的顶部设有药液入口、补水口和药液循环入口，所述药液罐的底部设有药液出口；/n药液供给管路，所述药液供给管路的出口端连接所述药液入口，所述药液供给管路的入口端连接药液供给端，所述药液供给管路上设有第一阀门；/n补水管路，所述补水管路的出口端连接所述补水口，所述补水管路的入口端连接补水端，所述补水管路上设有第二阀门；/n药液输出管路，所述药液输出管路的入口端连接所述药液出口，所述药液输出管路的出口端连接半导体产品清洗端，所述药液输出管路上设有循环泵和第三阀门，所述第三阀门位于所述循环泵的下游；/n药液混合管路，所述药液混合管路的入口端连通所述循环泵与所述第三阀门之间的药液输出管路，所述药液混合管路的出口端连通所述药液循环入口，所述药液混合管路上设有药液混合元件；/n浓度检测单元，至少部分位于所述药液罐内，用于检测所述药液罐内药液的浓度。/n

【技术特征摘要】
1.一种药液混合装置，用于混合清洗半导体产品的药液，其特征在于，包括：
药液罐，所述药液罐的顶部设有药液入口、补水口和药液循环入口，所述药液罐的底部设有药液出口；
药液供给管路，所述药液供给管路的出口端连接所述药液入口，所述药液供给管路的入口端连接药液供给端，所述药液供给管路上设有第一阀门；
补水管路，所述补水管路的出口端连接所述补水口，所述补水管路的入口端连接补水端，所述补水管路上设有第二阀门；
药液输出管路，所述药液输出管路的入口端连接所述药液出口，所述药液输出管路的出口端连接半导体产品清洗端，所述药液输出管路上设有循环泵和第三阀门，所述第三阀门位于所述循环泵的下游；
药液混合管路，所述药液混合管路的入口端连通所述循环泵与所述第三阀门之间的药液输出管路，所述药液混合管路的出口端连通所述药液循环入口，所述药液混合管路上设有药液混合元件；
浓度检测单元，至少部分位于所述药液罐内，用于检测所述药液罐内药液的浓度。


2.根据权利要求1所述的药液混合装置，其特征在于，所述药液混合元件包括第四阀门、压力检测单元和混流单元，所述第四阀门、所述压力检测单元和所述混流单元沿所述药液混合管路的入口端至出口端依次设置。


3.根据权利要求2所述的药液混合装置，其特征在于，所述第一阀门、所述第二阀门、所述第三阀门为常闭式气动阀；
所述第四阀门为常开式气动阀，且所述第四阀门和所述第三阀门互锁。


4.根据权利要求2所述的药液混合装置，其特征在于，所述混流单元为混流器，所述压力检测单元为液体压力表。


5.根据权利要求1所述的药液混合装置...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵艳霞，许璐，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11