作为活性表面增强拉曼光谱术衬底的金属涂覆纳米晶体硅制造技术

本发明专利技术所公开的方法和设备（３００）关于使用金属涂覆纳米粒子多孔硅衬底（２４０、３４０）的拉曼光谱术。在本发明专利技术的某些实施例中，多孔硅衬底（１１０、２１０）可以通过在稀释氢氟酸（１５０）中的阳极浸蚀形成。通过阴极电迁移或者任何已知技术，诸如金或者银的拉曼活性金属的薄涂层可以被涂覆在多孔硅（１１０、２１０）上。金属涂覆衬底（２４０、３４０）为ＳＥＲＳ、ＳＥＲＲＳ、超拉曼和／或ＣＡＲＳ拉曼光谱术提供广延的、富含金属的环境。在本发明专利技术的某些实施例中，金属纳米粒子可以被加入到金属涂覆衬底（２４０、３４０）中以进一步增强拉曼信号。使用本发明专利技术所公开的方法和设备（３００），拉曼光谱术可以被用于探测、鉴定和／或量化很多种类的分析物。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术公开的方法和设备300关于使用拉曼光谱术(RamanSpectroscopy)的分子探测和/或表征(characterization)。更具体地，本专利技术的方法和设备300关于金属涂覆多孔硅作为衬底240、340，用于表面增强拉曼光谱术(SERS)、表面增强共振拉曼光谱术(SERRS)、超拉曼光谱术(hyper-Raman spectroscopy)和/或相干反斯托克斯拉曼光谱术(CARS)。
技术介绍
已经证明对来自生物样品或者其它样品的单个分子进行灵敏而精确的探测和/或鉴定，是难以实现的目标，在医学诊断、病理学、毒物学、环境取样、化学分析、法医学和很多其它领域都有广泛的潜在应用。已经尝试使用拉曼光谱术和/或表面等离子体共振来达到这个目标。当光通过有形介质(tangible medium)的时候，一定量的光转离开其最初方向，此现象称为拉曼散射。由于光的吸收和电子被激发到更高的能态，而且一些散射光的频率与最初的激发光(excitatory light)不同，进而光发射的波长不同。拉曼发射光谱的波长是样品中的光吸收分子的化学组成和结构的特征，而光散射的强度是依赖于样品本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种方法，包括：ａ）提供金属涂覆多孔衬底；ｂ）把所述衬底暴露于包含一个或者多个分析物的样品；ｃ）用激光激发和光谱术来探测和／或鉴定一个或者多个分析物。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：S尚，A伯林，Y米内奥，
申请(专利权)人：英特尔公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]