具有防液膜的细管内壁的防液性评价方法及其评价装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种具有防液膜的细管内壁的防液性评价方法，包括：将在从内壁一方的端部至规定位置上成膜形成防液膜的细管竖立设置于液体材料中并使所述防液膜成膜侧作为上方的工序，以及，测定在所述细管内上升并停止的液面的位置以确定所述防液膜的下端位置的工序。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及具有防液膜的细管内壁的防液性评价方法及其评价装置。
技术介绍
关于以往的细孔内壁的防液性评价方法及其评价装置，有以下评价方法以及装置，即向细孔内部导入溶液而形成溶液和空气的界面，一边连续改变溶液浓度或者溶液温度，一边向溶液照射光或者超声波，并测定其反射或者透过的光量，即，使气液界面的形状发生连续变化，并将其成为平坦状态时设为其基准形状，从而对在细孔内壁所实施的防液处理进行评价的方法及其装置(例如，参照专利文献1)。专利文献1特开平8-334452号公报根据专利文献1，是对整个细孔内区域进行防液性评价，而无法适用于在特定位置形成有防液部和亲液部的边界的对象，且还无法获得有关边界位置的信息。
技术实现思路
本专利技术鉴于以上的事实，其目的在于提供一种能够对部分性成膜的管嘴内部的防液区域和未处理区域(亲液性区域)之间的边界位置进行特定的防液性评价方法及其评价装置。本专利技术的具有防液膜的细管内壁的防液性评价方法，包括将在从内壁一方的端部至规定位置上成膜形成防液膜的细管竖立设置于设在单元中的液体材料(liquid)中并使所述防液膜成膜侧作为上方的工序，以及，测定在所述细管内上升并停止的液面的位置以确定所述防液膜的下端位置的工序。由此，可以测量细管内的防液膜的界面位置，如果是毛细管现象作用的细管，可以展现为各种形态。分配管嘴等中，通过在管嘴内面的前端部分形成防液膜，提高液体材料排出的抗液性(liquid repellency)等，因此可利用于排出质量稳定性的评价等。本专利技术的具有防液膜的细管内壁的防液性评价方法，包括将在从内壁一方的端部至规定位置上成膜形成防液膜的多个细管竖立设置于液体材料中并使所述防液膜成膜侧作为上方的工序，以及，测定在所述细管内上升并停止的液面的位置以确定所述防液膜的下端位置的工序。由此，可对多个细管进行连续的高速检查，且能测量各个防液膜的界面位置，如果是毛细管现象作用的细管，可以展现为各种形态。分配管嘴等通过在管嘴内面的前端部分形成防液膜而提高液体材料排出的抗液性等，因此可利用于排出质量稳定性的评价等。本专利技术的具有防液膜的细管内壁的防液性评价方法，是对单元内的气压和温湿度进行控制，以形成同一环境。由此，可以在同一环境下对基于毛细管现象的液体的上升程度进行控制，并能在同一条件下特定细管内的防液膜的界面位置。由此，可改变气压或温湿度，能够适用于各种防液膜和防液评价。本专利技术的具有防液膜的细管内壁的防液性评价方法，是对管内的气压和温湿度进行控制，以形成同一环境。由此，可以在同一环境下对基于毛细管现象的液体的上升程度进行控制，并能在同一条件下特定细管内的防液膜的界面位置。由此，可改变气压或温湿度，能够适用于各种防液膜和防液评价。本专利技术的具有防液膜的细管内壁的防液性评价方法，是根据防液膜的种类和防液性，将从纯水、环己基苯、二碘甲烷、溴化萘、乙二醇、己烷、辛烷、癸烷或甘油等中选择的任一种作为液体材料。由此，可以根据所谓防液膜是防油膜还是防水膜的防液膜的种类以及防液性，选择最佳的液体材料。由此，可以通过变更液体材料，适用于各种防液膜和防液评价。本专利技术的具有防液膜的细管内壁的防液性评价方法，是在液面的中央部测定细管内的液体材料的液面高度。由此，可测量细管内的防液膜的界面位置。本专利技术的具有防液膜的细管内壁的防液性评价方法，是在细管内的液体材料的液面上设置多个点，通过该点对弯月面形状进行特定，并由该弯月面形状求出防液膜的下端位置。由此，可以测量细管内的防液膜的界面位置，如果是毛细管现象作用的细管，可以展现为各种形态。本专利技术的具有防液膜的细管内壁的防液性评价方法，细管由分配管嘴或者喷墨管嘴构成。由此，可适用于微细孔内防液处理状态的定量评价等。在分配管嘴或者喷墨管嘴等中，通过在管嘴内面的前端部分形成防液膜，提高液体材料排出的抗液性等，因此可以利用于排出质量稳定性的评价等。本专利技术的具有防液膜的细管内壁的防液性评价装置，其特征是，包括控制单元，其对内部的气压和温湿度进行控制以形成同一环境；固定夹具，其可将在从内壁的一方端部至规定位置上成膜形成防液膜的多个细管竖立设置且固定并使所述防液膜成膜侧作为上方、同时可在上下方向移动；槽，其对浸渍在所述固定夹具上安装的多个细管的液体材料进行储存；高度检测器，其对在所述细管内上升并在所述防液膜的下端位置附近停止的各个液面的位置进行测定、同时能在水平方向移动；所述固定夹具、所述槽、以及所述高度检测器被设置在所述控制单元内，测定所述液面的各个位置，确定所述防液膜的下端位置。由此，可对多个细管进行连续地高速检查，能测量各个防液膜的界面位置，如果是毛细管现象作用的管，可以展现为各种形态。分配管嘴等通过在管嘴内面的前端部分形成防液膜，提高液体材料排出的抗液性等，因此可以利用于排出质量稳定性的评价等。另外，通过改变气压或者温湿度、液体材料，可以适用于各种防液膜和防液评价。附图说明图1是表示本专利技术的一实施方式的细管内壁的防水性评价方法的说明图。图2是对图1的主要部分放大显示的详细说明图。图3是本专利技术的一实施方式的作用说明图。图4是本专利技术的一实施方式的作用说明图。图5是本专利技术的一实施方式的作用说明图。图6是本专利技术的一实施方式的作用说明图。图7是对图5的主要部分放大显示的详细说明图。具体实施例方式图1是表示本专利技术的一实施方式的具有防液膜的细管内壁的防液性评价方法的说明图，图2是对图1的主要部分放大显示的详细说明图。对于本专利技术的具有防液膜的细管内壁的防水性评价方法以及评价装置，用于在例如显示体、半导体等电子器件的制造中使用的分配单元或者喷墨管嘴等微细孔内的防液处理状态即防液部和亲液部的边界面的定量评价等，且对部分性成膜的管嘴内部的防液区域和未处理区域(亲液性区域)的边界位置进行特定。如图1所示，将对细孔内壁已进行部分性防液处理的第一分配管嘴1、第二分配管嘴2、和第三分配管嘴3竖立设置并使防液膜8位于上方，间隔一定距离并列配置，并安装在固定夹具4上。固定夹具4可通过对其进行上下移动，而浸渍在槽5的作为液体材料6的纯水内。这些槽5、液体材料6、第一～第三分配管嘴1～3、固定夹具4等被配设在由气压·温湿度控制单元7进行控制的处理空间内，从而将管内或者整个处理气氛的气压和温湿度控制在任意的固定值，使基于毛细管现象的各管嘴1～3内的液体材料6的上升程度相同。固定夹具4被浸渍在放入了需要的液体材料6的槽5内，从而使安装在其上的第一～第三分配管嘴1～3除了设有防液膜8的上部附近之外，也都浸渍在液体材料6中。此时，第一～第三分配管嘴1～3内的液体材料6的管嘴液面6a通过毛细管现象，而上升为比槽5内的液体材料6的液面6b高。上述槽5内的液体材料6是根据防液膜8的种类和防液性进行选择。在本实施方式中，液体材料6使用纯水，但能够根据防液膜8的种类例如类似防油膜或者防水膜等的种类、以及按照防液性选择液体材料6，也能够使用环己基苯、二碘甲烷、溴化萘、乙二醇、己烷、辛烷、癸烷、甘油等。如图2所示，在第一分配管嘴1的前端部附近，从第一分配管嘴1的顶部1a开始沿轴方向对其内壁进行防液处理且只有一定距离，从而形成防液膜8。然后，由毛细管现象而在细管内上升的液体材料6，接触第一分配管嘴1的防液部和亲液部的边界面，并通过表面张本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种具有防液膜的细管内壁的防液性评价方法，其特征是，包括：将在从内壁一方的端部至规定位置上成膜形成防液膜的细管竖立设置于设在单元中的液体材料中并使所述防液膜成膜侧作为上方的工序，和测定在所述细管内上升并停止的液面的位置以确定 所述防液膜的下端位置的工序。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：足肋慎太郎，樋口和央，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]