感光层、层叠体、感光性树脂组合物、试剂盒及感光性树脂组合物的制造方法技术

本发明专利技术涉及一种感光层，其包含于具有水溶性树脂层和感光层的层叠体中，上述感光层为由感光性树脂组合物形成的层，该感光性树脂组合物包含通过活化光线及辐射线中的至少一个的照射而产生酸的化合物、对于乙酸丁酯的溶解速度通过酸的作用而发生变化的树脂及水，上述感光性树脂组合物中的水的含量为0.008质量％以上且1质量％以下。并且，本发明专利技术涉及一种与该感光层相关联的层叠体、感光性树脂组合物、试剂盒及感光性树脂组合物的制造方法。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】感光层、层叠体、感光性树脂组合物、试剂盒及感光性树脂组合物的制造方法
本专利技术涉及一种感光层、层叠体、感光性树脂组合物、试剂盒及感光性树脂组合物的制造方法。
技术介绍
近年来，广泛利用使用了有机半导体的电子器件。与以往的使用了硅等的无机半导体的器件相比，使用了有机半导体的器件具有能够通过简单的步骤来制造的优点。进而，有机半导体能够通过改变其分子结构来容易地改变材料特性。并且，材料的变化丰富，认为能够实现如通过无机半导体无法实现的功能或元件。有机半导体具有例如适用于有机太阳电池、有机电致发光显示器、有机光检测器、有机场效应晶体管、有机电致发光元件、气体传感器、有机整流元件、有机逆变器、资讯记录元件等电子设备的可能性。目前为止，已通过印刷技术来进行了有机半导体的图案形成。但是，利用印刷技术形成的图案在微细加工上存在极限。并且，有机半导体还具有容易受由有机溶剂的接触引起的损伤的问题。因此，正在研究将水溶性树脂用作保护膜的有机半导体的图案形成方法。例如，在专利文献1中揭示一种层叠体，其在有机半导体层上依次包含特定的水溶性树脂层和感光层，且水溶性树脂层与感光层接触。由此，记载为实现基于感光层的曝光显影的微细图案，且能够抑制层叠体的龟裂。在专利文献2及专利文献3中揭示有一种层叠体，其在有机半导体层的表面具有水溶性树脂层及感光层，该层叠体中，在该感光性树脂组合物中掺合有特定的光产酸剂和特定的树脂。由此，记载为能够在有机半导体上形成良好的图案。以往技术文献专利文献专利文献1：国际公开第2016/175220号专利文献2：日本特开2015-194674号公报专利文献3：日本特开2015-087609号公报
技术实现思路
专利技术要解决的技术课题根据如上述的技术，通过将水溶性树脂层介于有机半导体层等半导体层与感光层之间，可实现确保有机半导体层等的保护性。本专利技术人等谋求进一步的改良，关于感光层及包含该感光层的层叠体，著眼于对感光层进行曝光显影时的制造质量的改善。具体而言，若基于图3来表示，则在该以往的例中，准备了在基板4上依次层叠有有机半导体层3、水溶性树脂层2、感光层11的层叠体(图3(a))。若隔着规定的掩模(未图示)对该感光层11进行曝光之后进行显影，则能够在感光层中形成所去除的部分(去除部)5(图3(b))。但是，已知使用以往的使用了酸反应性树脂的感光层11，有时在暴露的水溶性树脂层2的表面产生缺陷9。因此，本专利技术的目的在于提供一种对层叠于水溶性树脂层的上侧的感光层进行曝光/显影时，能够抑制此时产生的缺陷或使其消失的感光层、层叠体、感光性树脂组合物、试剂盒及感光性树脂组合物的制造方法。用于解决技术课题的手段为了解决上述问题，本专利技术人等对各种材料、层构成等进行研究并重复进行了改良试验。其结果，发现了通过调节形成感光层的感光性树脂组合物的含水量，能够极其有效地抑制在上述水溶性树脂层上产生的缺陷或使其消失。本专利技术是基于该见解而完成的。即，根据以下方案[1]、优选为[2]至[14]来解决了上述问题。[1]一种感光层，其包含于具有水溶性树脂层和感光层的层叠体中，该感光层为由感光性树脂组合物形成之层，该感光性树脂组合物包含藉由光化射线及辐射线中的至少一者的照射而产生酸之化合物、相对于乙酸丁酯之溶解速度藉由酸的作用而发生变化之树脂及水，上述感光性树脂组合物中的水的含量为0.008质量％以上且1质量％以下。[2]根据[1]所述的感光层，其中，上述感光层对于i射线的照射具有感光能力。[3]根据[1]或[2]所述的感光层，其中，聚乙烯醇膜上的上述感光性树脂组合物的静态接触角为2°以上且60°以下。[4]根据[1]至[3]中任一项所述的感光层，其中，上述感光层中的树脂的由酸的作用产生的溶解速度的变化为溶解速度的下降。[5]根据[1]至[4]中任一项所述的感光层，其中，上述感光层中的树脂包含具有由下述式(1)表示的结构单元的聚合物，[化学式1]式中，R8表示氢原子或烷基，L1表示羰基或亚苯基，R1～R7分别独立地表示氢原子或烷基。[6]根据[1]至[5]中任一项所述的感光层，其中，上述感光性树脂组合物中的钠离子、钾离子及钙离子的总含量为1质量ppt～1000质量ppb。[7]根据[1]至[6]中任一项所述的感光层，其用于有机半导体层加工。[8]一种层叠体，其具有[1]至[7]中任一项所述的感光层和水溶性树脂层。[9]根据[8]所述的层叠体，其还具有有机半导体层，且依次层叠有上述有机半导体层、上述水溶性树脂层、上述感光层。[10]一种感光性树脂组合物，其用于形成感光层，其中，上述感光层为与水溶性树脂层组合而形成层叠体的层，且所述感光性树脂组合物包含通过活化光线及辐射线中的至少一个的照射而产生酸的化合物、对于乙酸丁酯的溶解速度通过酸的作用而发生变化的树脂及水，上述感光性树脂组合物中的水的含量为0.008质量％以上且1质量％以下。[11]根据[10]所述的感光性树脂组合物，其用于有机半导体层加工。[12]一种试剂盒，其用于依次形成水溶性树脂层和感光层，该试剂盒具有[10]或[11]所述的感光性树脂组合物和水溶性树脂组合物。[13]根据[12]所述的试剂盒，其用于有机半导体层加工。[14]一种[10]或[11]所述的感光性树脂组合物的制造方法，其包括：调节包含通过活化光线及辐射线中的至少一个的照射而产生酸的化合物及对于乙酸丁酯的溶解速度通过酸的作用而发生变化的树脂的组合物的含水量的步骤；或者调节包含通过活化光线及辐射线中的至少一个的照射而产生酸的化合物及对于乙酸丁酯的溶解速度通过酸的作用而发生变化的树脂的组合物中所含的原料的含水量的步骤。专利技术效果根据本专利技术，能够提供一种对层叠于水溶性树脂层的上侧的感光层进行曝光/显影时，能够抑制此时产生的缺陷或使其消失的感光层、层叠体、感光性树脂组合物、试剂盒及感光性树脂组合物的制造方法。附图说明图1是示意性地表示本专利技术的优选的实施方式所涉及的层叠体的加工过程的剖视图，(a)为感光层的显影前的状态，(b)为显影后的状态。图2是示意性地表示静态接触角的测量状态的侧视图。图3是示意性地表示以往的层叠体的加工过程的剖视图，(a)为感光层的显影前的状态，(b)为显影后的状态。具体实施方式关于以下所记载的本专利技术中的构成要件的说明，有时基于本专利技术的代表性实施方式来进行，但是本专利技术并不限定于该种实施方式。本说明书中的基团(原子团)的标记中，未标注取代及未取代的标记包含不具有取代基的基团及具有取代基的基团。例如，所谓“烷基”不仅包含不具有取代基的烷基(未取代的烷基)，而且还包含具有取代基的烷基(取代的烷基)。并且，本说明书中的“活化光线”是指例如以汞灯的明线光谱、准分子激光为代表的远紫外线、极紫外线(EUV光)、X射线、电子束等。并本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种感光层，其包含于具有水溶性树脂层和感光层的层叠体中，/n所述感光层为由感光性树脂组合物形成的层，该感光性树脂组合物包含通过活化光线及辐射线中的至少一个的照射而产生酸的化合物、对于乙酸丁酯的溶解速度通过酸的作用而发生变化的树脂及水，所述感光性树脂组合物中的水的含量为0.008质量％以上且1质量％以下。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180223 JP 2018-0308541.一种感光层，其包含于具有水溶性树脂层和感光层的层叠体中，
所述感光层为由感光性树脂组合物形成的层，该感光性树脂组合物包含通过活化光线及辐射线中的至少一个的照射而产生酸的化合物、对于乙酸丁酯的溶解速度通过酸的作用而发生变化的树脂及水，所述感光性树脂组合物中的水的含量为0.008质量％以上且1质量％以下。


2.根据权利要求1所述的感光层，其中，
所述感光层对于i射线的照射具有感光能力。


3.根据权利要求1或2所述的感光层，其中，
聚乙烯醇膜上的所述感光性树脂组合物的静态接触角为2°以上且60°以下。


4.根据权利要求1至3中任一项所述的感光层，其中，
所述感光层中的树脂的由酸的作用产生的溶解速度的变化为溶解速度的下降。


5.根据权利要求1至4中任一项所述的感光层，其中，
所述感光层中的树脂包含具有由下述式(1)表示的结构单元的聚合物，



式中，R8表示氢原子或烷基，L1表示羰基或亚苯基，R1～R7分别独立地表示氢原子或烷基。


6.根据权利要求1至5中任一项所述的感光层，其中，
所述感光性树脂组合物中的钠离子、钾离子及钙离子的总含量为1质量ppt～1000质量ppb。


7.根据权利要求1至6中任一项所述的感光层，其用于有机半导体层加工。
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【专利技术属性】
技术研发人员：增田诚也，
申请(专利权)人：富士胶片株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP