光学设备、图像读取设备及图像形成装置制造方法及图纸

技术编号:25894311 阅读:63 留言:0更新日期:2020-10-09 23:41
光学设备、图像读取设备及图像形成装置。一种光学设备,所述光学设备包括:透镜构件,所述透镜构件包括多个透镜,所述多个透镜布置为使得所述透镜的光轴大致彼此平行;以及多个柱部,每个柱部沿所述多个透镜中的每个透镜的光轴设置并且每个柱部允许光通过内部,每个柱部具有外周,与沿所述光轴方向通过所述柱部的端部相比,光通过所述外周从所述柱部的内部到外部的可能性更小,所述多个柱部一体地形成并设置为面对所述透镜构件。

【技术实现步骤摘要】
光学设备、图像读取设备及图像形成装置
本专利技术涉及光学设备、图像读取设备及图像形成装置。
技术介绍
JP-A-2004-111678公开了一种曝光方法,其中通过由有效光源形成的照明系统照射在掩模上形成的图案照明系统,该有效光源具有仅存在S偏振的第一部分和存在S偏振和P偏振的第二部分,并且透过掩模的光经由投影光学系统投射到工件上。同时,为了减少杂散光,可以提供阻挡穿过透镜的光的通道的遮光构件,以面对包括多个透镜的透镜构件,所述多个透镜被布置成使得光轴彼此平行。还已知这种遮光构件具有在与每个透镜对应的位置上具有透光通孔的结构。在这种情况下,如果透镜构件中的透镜之间的距离减小,则还需要减小遮光构件中的通孔之间的距离。然而,如果通孔之间的距离减小,则遮光构件经常会发生成型失败。
技术实现思路
因此,与在遮光构件中形成多个通孔的情况相比,本专利技术的目的是防止光透射抑制结构的成型失败。技术方案根据本专利技术的第一方面,提供了一种光学设备,包括:透镜构件,其包括多个透镜,该多个透镜布置为使得透镜的光轴大致彼此平本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光学设备,所述光学设备包括:/n透镜构件,所述透镜构件包括多个透镜,所述多个透镜布置为使得所述透镜的光轴大致彼此平行;以及/n多个柱部,每个柱部沿所述多个透镜中的每个透镜的光轴设置并且每个柱部允许光通过内部,/n每个柱部具有外周,与沿所述光轴方向通过所述柱部的端部相比,光通过所述外周从所述柱部的内部到外部的可能性小,/n所述多个柱部一体地形成并设置为面对所述透镜构件。/n

【技术特征摘要】
20190326 JP 2019-0589141.一种光学设备,所述光学设备包括:
透镜构件,所述透镜构件包括多个透镜,所述多个透镜布置为使得所述透镜的光轴大致彼此平行;以及
多个柱部,每个柱部沿所述多个透镜中的每个透镜的光轴设置并且每个柱部允许光通过内部,
每个柱部具有外周,与沿所述光轴方向通过所述柱部的端部相比,光通过所述外周从所述柱部的内部到外部的可能性小,
所述多个柱部一体地形成并设置为面对所述透镜构件。


2.根据权利要求1所述的光学设备,其中,
在所述柱部的内部沿所述光轴行进的光在所述柱部的内部不会聚。


3.根据权利要求2所述的光学设备,其中,
所述柱部和所述透镜具有除杂质之外的共同成分。


4.根据权利要求3所述的光学设备,其中,
所述柱部具有定位为与所述透镜接触的端部。


5.根据权利要求4所述的光学设备,其中,
所述柱部具有凹陷部分,所述凹陷部分设置在所述端部中并沿着所述透镜的外周并且定位为与所述透镜的外周接触。


6.根据权利要求1所述的光学设备,其中,
所述柱部的外周具有比所述端部粗糙的粗糙表面,并且
所述粗糙表面覆盖有抑制光从所述柱部的内部到外部的透射的光透射抑制部。


7.根据权利要求6所述的光学设备,所述光学设备还包括:
柱支撑构件,所述柱支撑构件支撑所述多个柱部并且比所述多个柱部透射光的可能性小。


8.根据权利要求1所述的光学设备,所述光学设备还包括:
罩部,所述罩部在沿着所述透镜的光轴的方向上设置在...

【专利技术属性】
技术研发人员:浅野元博蜂须贺正树
申请(专利权)人:富士施乐株式会社
类型:发明
国别省市:日本;JP

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