电极部分覆盖脊条的DFB激光器制造技术

本公开提供一种电极部分覆盖脊条的DFB激光器，包括：衬底层；下限制层，位于衬底层上；下波导层，位于下限制层上；有源层，位于下波导层上；上波导层，位于有源层上；上限制层，位于上波导层上，其内设置有光栅，沿上限制层设置有一纵向脊波导；欧姆接触层，覆于脊波导上表面共同构成脊条结构；绝缘层，位于上限制层表面及脊条结构侧壁；以及P面电极，覆于脊条结构中间段的表面并沿绝缘层延伸出一外部接入电极；其中，脊条结构的两端未覆盖P面电极的部分分别形成第一区域和第二区域。

【技术实现步骤摘要】
电极部分覆盖脊条的DFB激光器
本公开涉及激光器
，尤其涉及一种电极部分覆盖脊条的DFB激光器。
技术介绍
近年来，光通信网络已经成为我国基础设施建设中重要组成部分，是人们在生活工作学习中不可或缺的基础资源。激光器作为光通信网络的重要组成部分，它的性能直接决定了光通信系统的质量，其中脊波导DFB激光器凭借其优良的单模特性，在通信系统中发挥着越来越重要的作用。在光通信网络中，有两种光信号调制方式，一种是直接调制，一种是外调制。直接调制是把带有信息的电信号注入到激光器中，引起激光器出光功率的改变。外调制方式把光的发射过程与调制过程分开，中间进行隔离，一般运用于长距离、高速率通信。相比于外调制激光器，直接调制激光器成本低、体积小、功率高、易于集成，是短距离通讯的首选。随着信息需求的日益增长，直接调制激光器技术不断发展，人们发现缩短激光器腔长可以有效提高激光器直接调制带宽。日立公司在2007年利用100μm的短腔激光器，实现了29Ghz的调制带宽(K.Nakahara，T.Tsuchiya，T.Kitatani，etal.40-Gb/sd本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种电极部分覆盖脊条的DFB激光器，包括：/n衬底层；/n下限制层，位于衬底层上；/n下波导层，位于下限制层上；/n有源层，位于下波导层上；/n上波导层，位于有源层上；/n上限制层，位于上波导层上，其内设置有光栅，沿上限制层设置有一纵向脊波导；/n欧姆接触层，覆于脊波导上表面共同构成脊条结构；/n绝缘层，位于上限制层表面及脊条结构侧壁；以及/nP面电极，覆于脊条结构中间段的表面并沿绝缘层延伸出一外部接入电极；/n其中，脊条结构的两端未覆盖P面电极的部分分别形成第一区域和第二区域。/n

【技术特征摘要】
1.一种电极部分覆盖脊条的DFB激光器，包括：
衬底层；
下限制层，位于衬底层上；
下波导层，位于下限制层上；
有源层，位于下波导层上；
上波导层，位于有源层上；
上限制层，位于上波导层上，其内设置有光栅，沿上限制层设置有一纵向脊波导；
欧姆接触层，覆于脊波导上表面共同构成脊条结构；
绝缘层，位于上限制层表面及脊条结构侧壁；以及
P面电极，覆于脊条结构中间段的表面并沿绝缘层延伸出一外部接入电极；
其中，脊条结构的两端未覆盖P面电极的部分分别形成第一区域和第二区域。


2.根据权利要求1所述的电极部分覆盖脊条的DFB激光器，所述第二区域的长度大于第一区域的长度。


3.根据权利要求1所述的电极部分覆盖脊条的DFB激光器，所述脊条上第一区域长度不...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐长达，陈伟，班德超，祝宁华，
申请(专利权)人：中国科学院半导体研究所，雄芯光电科技有限责任公司，
类型：发明
国别省市：北京;11