一种溶胶—凝胶薄膜气敏传感头制造方法技术

本发明专利技术公开了一种溶胶－凝胶薄膜气敏传感器制造方法，其制作步骤及方法是：（１）选择光纤光栅；（２）确定镀膜厚度；（３）光纤光栅包层涂膜；（４）制备多孔气敏薄膜；（５）传感头制作。本发明专利技术提供了一种小型化、高集成、可遥测的高灵敏溶胶－凝胶薄膜气敏传感器的制造方法，应用这种方法所制造的传感器，对检测气体具有很高的灵敏度，对膜层折射率的测量分辨率可高达１０↑［－８］，它集中了薄膜传感器和光纤光栅结构的优点，可广泛应用于光化学传感器中。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种气敏传感器的制造方法，尤其是一种薄膜气敏传感器的制造方法。
技术介绍
近年来，溶胶—凝胶技术是发展较为迅速的一种可以获得具有各种优越性能、适用各种特殊要求的材料制备技术，尤其是在薄膜制备领域，由于掺杂容易控制、薄膜具有多孔结构和比表面积大等独特优点，使得它在传感材料制备领域引起了人们极大的重视。光学薄膜传感器与传统电学型块状传感器相比，它具有抗电磁干扰、动态范围大、灵敏度高、响应快的特点；由于无电接触，它特别适合于检测易燃、易爆的气体。利用光与物质相互作用前后光学诸特性的变化，通过先进的检测手段，结合光纤技术、光集成技术，可以实现性能价格比高的小型化器件。长周期光纤光栅(long-period fiber grating，LPFG)是光致纤芯折射率变化光纤器件，其周期远远大于一般的光纤光栅，范围从数百微米至1毫米，光栅长度数十毫米，折射率调制幅度达10-4或更大。自1995年首次报道以来，由于具有易于制造、介入损耗低、背反射损耗低、结构紧凑等优点，已广泛地应用于光纤通信和传感器领域。由于LPFG其周期较大，存在同向模式之间的耦合。导模与同向传输的包层模之间产生耦本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种溶胶－凝胶薄膜气敏传感器制造方法，其特征在于，其制作步骤及方法是：　　　　（１）选择光纤光栅；　　　　（２）确定镀膜厚度；　　　　（３）光纤光栅包层涂膜；　　　　（４）制备多孔气敏薄膜；　　　　（５）传感头制作。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：顾铮先，徐艳平，陈家璧，
申请(专利权)人：上海理工大学，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]