【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
微悬臂梁谐振式酞菁锌薄膜气体传感器，它由微悬臂梁（１）、压阻拾振电桥（２）、热激励电阻（３）组成，在微悬臂梁（１）的根部和自由端分别渗有压阻拾振电桥（２）和热激励电阻（３），其特征在于在渗有热激励电阻（３）处的微悬臂梁（１）的上表面上蒸镀有酞菁锌气体敏感膜（４），并使酞菁锌气体敏感膜（４）完全覆盖在热激励电阻（３）的上面。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：邱成军，左霞，卜丹，穆长生，安旭，
申请(专利权)人：黑龙江大学，
类型：发明
国别省市：93[中国|哈尔滨]
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