一种适用于光谱原位表征的装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种适用于光谱原位表征的装置，包括真空舱实验装置和置于真空舱实验装置内的全光谱原位表征实验装置；所述真空舱实验装置包括用于提供真空环境的真空舱体，所述真空舱体内设有电子枪，所述全光谱原位表征实验装置包括光谱仪、高分辨电子显微镜、原位探针电学测试结构。本实用新型专利技术适用于光谱原位表征，可以获得更微观、更动态变化的材料信息。

【技术实现步骤摘要】
一种适用于光谱原位表征的装置
本技术涉及空间光学成像和光谱测量
，尤其涉及一种适用于光谱原位表征的装置。
技术介绍
原位红外漫反射红外光谱仪（DRIFTS），通过对催化剂上现场反应吸附态的跟踪表征以获得一些有价值的表面反应信息，进而对反应机理进行剖析。光谱原位表征的装置是用于确定进行中工艺的处理状况、处理状态条件或端点的一种非常有用的手段。目前，传统的光谱原位表征的装置的光谱信息较为单一，缺乏联用多种光谱技术进行综合原位表征的相关实验。
技术实现思路
为解决上述缺陷，本技术的目的是在于提供克服现有技术存在的上述缺陷和不足，提供一种适用于光谱原位表征的装置。为实现上述目的，本技术提供一种适用于光谱原位表征的装置，包括真空舱实验装置和置于真空舱实验装置内的全光谱原位表征实验装置；所述真空舱实验装置包括用于提供真空环境的真空舱体，所述真空舱体内设有电子枪，所述全光谱原位表征实验装置包括光谱仪、高分辨电子显微镜、原位探针电学测试结构。所述光谱仪与采集光谱信号的传感元件相连接，所述传感元件与光源相连接，所述传感元件位于所述真空舱体内，所述光源位于所述真空舱体外。所述真空舱体实验装置还包括与所述真空舱体连接的真空控制单元，用于使所述真空舱体内形成真空环境；所述真空控制单元包括真空泵和与所述真空舱体连接的真空计，所述真空泵通过密封管路与所述真空舱体连通。所述真空舱体实验装置还包括压力控制单元、供气单元和气体配置件，所述压力控制单元包括气体流量计以及与所述气体流量计连接压力控制器，所述气体流量计设于连通所述供气单元与所述气体配置件连通的密封管路上。本技术的有益效果：适用于光谱原位表征，可以获得更微观、更动态变化的材料信息。附图说明图1为本技术的结构示意图。其中：1、真空舱实验装置，2、全光谱原位表征实验装置，11、真空舱体，12、电子枪，13、真空控制单元，14、真空泵，15、真空计，16、密封管路，17、气体流量计，18、压力控制器，21、光谱仪，22、高分辨电子显微镜，23、原位探针电学测试结构，24、传感元件，25、光源。具体实施方式下面结合附图描述本技术的具体实施方式。如图1所示，一种适用于光谱原位表征的装置，包括真空舱实验装置1和置于真空舱实验装置1内的全光谱原位表征实验装置2；真空舱实验装置1包括用于提供真空环境的真空舱体11，真空舱体11内设有电子枪12，全光谱原位表征实验装置2包括光谱仪21、高分辨电子显微镜22、原位探针电学测试结构23。光谱仪21与采集光谱信号的传感元件24相连接，传感元件24与光源25相连接，传感元件24位于真空舱体11内，光源25位于真空舱体11外。真空舱体11实验装置还包括与真空舱体11连接的真空控制单元13，用于使真空舱体11内形成真空环境；真空控制单元13包括真空泵14和与真空舱体11连接的真空计15，真空泵14通过密封管路16与真空舱体11连通。真空舱体11实验装置还包括压力控制单元、供气单元和气体配置件，压力控制单元包括气体流量计17以及与气体流量计17连接压力控制器18，气体流量计17设于连通供气单元与气体配置件连通的密封管路16上。使用本技术的方法，具体包括以下步骤：1)检测实验装置并调试其至正常工作状态，向实验装置内的样品盛放件中添加被测样品；2)调节实验装置的真空舱体内的温湿度、压力数值；3)打开光谱仪，采用高分辨电子显微镜实时观察被测样品的外观形貌和结构变化，光谱仪采集光谱，采用原位探针电学测试结构检测原位电子发射结构中的电信号；4)所有被测样品光谱采集完毕后，关闭检测实验装置。本技术并不局限于上述实施方式，如果对本技术的各种改动或变形不脱离本技术的精神和范围，倘若这些改动和变形属于本技术的权利要求和等同技术范围之内，则本技术也意图包含这些改动和变形。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种适用于光谱原位表征的装置，其特征在于：包括真空舱实验装置和置于真空舱实验装置内的全光谱原位表征实验装置；所述真空舱实验装置包括用于提供真空环境的真空舱体，所述真空舱体内设有电子枪，所述全光谱原位表征实验装置包括光谱仪、高分辨电子显微镜、原位探针电学测试结构。/n

【技术特征摘要】
1.一种适用于光谱原位表征的装置，其特征在于：包括真空舱实验装置和置于真空舱实验装置内的全光谱原位表征实验装置；所述真空舱实验装置包括用于提供真空环境的真空舱体，所述真空舱体内设有电子枪，所述全光谱原位表征实验装置包括光谱仪、高分辨电子显微镜、原位探针电学测试结构。


2.根据权利要求1所述的适用于光谱原位表征的装置，其特征在于：所述光谱仪与采集光谱信号的传感元件相连接，所述传感元件与光源相连接，所述传感元件位于所述真空舱体内，所述光源位于所述真空舱体外。


3.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：马庆，匡翠方，罗向东，杨春雷，
申请(专利权)人：江苏度微光学科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32