【技术实现步骤摘要】
一种对液体二氧化硫的精馏提纯装置
本技术属于高纯级液体二氧化硫生产
,尤其涉及一种对液体二氧化硫的精馏提纯装置。
技术介绍
目前市场上液体二氧化硫的规格有合格品(纯度≥99.6%)、一等品(纯度≥99.9%)、优等品(纯度≥99.97%),纯度均小于99.999%;目前半导体行业中广泛使用高纯度的液体二氧化硫产品,该类产品的液体二氧化硫纯度一般不能不低于99.999%,因此大多数的企业生产的液体二氧化硫纯度均不达标,因此半导体行业中使用的高纯级的液体二氧化硫产品主要来源于进口;国内有部分企业尝试生产高纯级的二氧化硫产品,但由于生产工艺不完善,造成产品纯度不稳定,无法实现规模化生产。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺陷,而提供一种以工业级二氧化硫作为原料,对工业级二氧化硫进行精馏提纯、并利用双塔精馏工艺稳定生产、通过循环液平衡罐气相调节,稳定循环液的液化压力,为主冷凝器提供稳定的冷量,进而为精馏提供稳定负荷,以达到有效保证产品纯度稳定性的对液体二氧化硫的精馏提纯装置。为了实现 ...
【技术保护点】
1.一种对液体二氧化硫的精馏提纯装置,该精馏提纯装置包括原料液储罐(11)、精馏塔(12)、废液罐(16)、热泵(18)以及充装排(29),其特征在于:所述原料液储罐(11)与第一精馏塔(12)中的第一原料液进口(22)相连,第一精馏塔(12)塔顶的气相出口与第二精馏塔(14)的原料气进口相连,第二精馏塔(14)塔底的液相出口通过充装泵(17)与充装排(29)相连;/n所述第一精馏塔(12)塔顶的气相出口与第二精馏塔(14)的原料气进口之间设有第一三通(8),第一三通(8)的第三端通过主冷凝器(13)的第一原料气进口(23)、主冷凝器(13)的第一原料气出口(24)与第一精 ...
【技术特征摘要】
1.一种对液体二氧化硫的精馏提纯装置,该精馏提纯装置包括原料液储罐(11)、精馏塔(12)、废液罐(16)、热泵(18)以及充装排(29),其特征在于:所述原料液储罐(11)与第一精馏塔(12)中的第一原料液进口(22)相连,第一精馏塔(12)塔顶的气相出口与第二精馏塔(14)的原料气进口相连,第二精馏塔(14)塔底的液相出口通过充装泵(17)与充装排(29)相连;
所述第一精馏塔(12)塔顶的气相出口与第二精馏塔(14)的原料气进口之间设有第一三通(8),第一三通(8)的第三端通过主冷凝器(13)的第一原料气进口(23)、主冷凝器(13)的第一原料气出口(24)与第一精馏塔(12)中的第二原料液进口(25)相连;
所述第二精馏塔(14)塔顶的气相出口通过主冷凝器(13)的第二原料气进口(26)和主冷凝器(13)的第二原料气出口(27)与气液分离器(15)相连,气液分离器(15)底部的液相出口与第二精馏塔(14)中上部的原料液进口(28)相连。
2.根据权利要求1所述的一种对液体二氧化硫的精馏提纯装置,其特征在于:所述的第一精馏塔(12)塔底的液相出口以及气液分离器(15)顶部的气相出口分别与废液罐(16)相连通。
3.根据权利要求1所述的一种对液体二氧化硫的精馏提纯装置,其特征在于:所述热泵(18)的循环气出口(30)通过第二三通(9)的第二端和第二三通(9)的第三端分别与各自对应的第一再沸器(19)和第二再沸器(20)相连,第一再沸器(19)和第二再沸器(20)的出口分别与循环液平衡罐(21)的进液口相连;
循环液平衡罐(2...
【专利技术属性】
技术研发人员:闫红伟,崔增涛,郑梦杰,王文堂,张亚清,郭俊磊,银延蛟,吕书山,莫佩,杨茂强,李莎莎,毛玉凤,闫云,
申请(专利权)人:河南心连心深冷能源股份有限公司,
类型:新型
国别省市:河南;41
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