电化学传感器制造技术

有机污染物分子传感器（１０）包括电化学电池，该电化学电池具有固态氧阴离子导体（１２）、在该导体的第一表面上形成的用于暴露于被监测环境（１８）的测量电极（１４）和在该导体的第二表面上形成的用于暴露于参比环境（２０）的参比电极１６。所述电极由用于催化氧的离解吸收的材料形成或者涂覆有用于催化氧的离解吸收的材料。提供装置（３２）来监测电极之间的电势差，从而，在被监测的环境中没有有机污染物分子的情况下，电极之间的电势差呈现基值Ｖ↓［ｂ］，而一旦将有机污染物分子引入被监测的环境中，由于在被监测的环境中有机污染物分子和氧的反应，电势差呈现测量值Ｖ↓［ｍ］，Ｖ↓［ｍ］－Ｖ↓［ｂ］可以指示引入到被监测环境中的有机污染物分子的数量。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及电化学传感器。在一个实施方案中，本专利技术涉及用于在低氧气浓度加工环境例如在半导体加工工业中使用的那些环境中检测有机污染物的传感器。例如在半导体加工工业中，控制其中加工晶片的气氛(加工环境)是非常重要的。理想地是在受控制的环境中加工晶片。不希望的有机污染物或有机污染物水平的变化可以导致装置和/或设备故障。在万亿分之一(parts per trillion，ppt)到十亿分之一(parts perbillion，ppb)范围内的污染有机物质水平，其对应于10-9-10-6毫巴的分压，通常并不会导致设备或装置故障。但是，如果有机污染物水平变得远高于这个水平，可能就会导致故障。为了控制加工环境，就需要监控存在的有机污染物水平。尤其是由于一些加工对低ppb范围的污染物物质敏感，所以对于这些加工希望在ppt范围监控污染物物质的水平。然而，这些监控过程非常昂贵，并且难于确定在如此低的污染物水平存在的总有机化合物(TOC)的准确值。此外，很多制造过程能耐受轻质饱和烃例如甲烷(CH4)和乙烷(C2H6)，这些轻质烃与大多数表面具有特别低的反应可能性，因此并不参予各种引发污染的反应本文档来自技高网...

【技术保护点】
包括电化学电池和用于监测下述电极之间电势差的装置的有机污染物分子传感器，其中该电化学电池具有固态氧阴离子导体、在该导体的第一表面上形成的用于暴露于被监测环境的测量电极和在该导体的第二表面上形成的用于暴露于参比环境的参比电极，所述的电极包含用于催化氧的离解吸收的材料；从而，在被监测的环境中没有有机污染物分子的情况下，电极之间的电势差呈现基值Ｖ↓［ｂ］，而一旦将有机污染物分子引入被监测的环境中，由于在被监测的环境中有机污染物分子和氧的反应，电势差呈现测量值Ｖ↓［ｍ］，Ｖ↓［ｍ］－Ｖ↓［ｂ］指示引入到被监测环境中的有机污染物分子的数量。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：RB格兰特，FL塔普，
申请(专利权)人：英国氧气集团有限公司，
类型：发明
国别省市：GB[英国]