【技术实现步骤摘要】
一种半导体晶粒筛选装置
本技术涉及晶粒筛选
,具体地说,本技术涉及一种半导体晶粒筛选装置。
技术介绍
半导体晶粒是组成热电制冷器的核心部分;晶粒的制作是由长条状的晶棒切割为晶圆片,再由晶圆片切割为幼小的方形小粒晶粒,晶粒切割后会存在破碎、缺角、裂纹、棱边镍盖等形状不合格的晶粒。现有技术中晶粒的筛选常采用人工挑选的方法,通过显微镜的辅助目测进行;但是,手动筛选的劳动强度较大且筛选效率较低,同时,随着筛选时间的增加,操作人员疲劳度的上升导致筛选质量无法保证,经过筛选的晶粒中可能仍存在形状不合格的晶粒且占比较高,晶粒的筛选操作需要手动返工。申请号为CN201821854566.0的中国专利公开了一种半导体晶粒多级筛选装置,包括支撑柱,两个支撑柱的表面固定连接有底座,底座的表面固定安装有电机,电机的输出轴通过联轴器固定连接有凸轮;两个支撑柱的表面固定开设有安装槽,六个安装槽的内壁均固定连接有安装管,安装管的内壁固定连接有第一弹簧,第一弹簧的一端固定连接有连接杆,连接杆的表面与安装管的内壁滑动连接,连接杆的一端延伸至安装 ...
【技术保护点】
1.一种半导体晶粒筛选装置,包括底座,其特征在于,底座上设有接料盘,接料盘远离底座的一端设有筛网,筛网远离接料盘的一端设有盖板,位于筛网与盖板之间的物料室用以放置待筛分的晶粒,筛网上开设有用以通过存在结构缺陷的晶粒的筛孔,位于筛网与接料盘之间的回收室用以承接存在结构缺陷的晶粒,底座、接料盘、筛网和盖板通过固定件依次相连,底座远离盖板的一端连接有振动器。/n
【技术特征摘要】
1.一种半导体晶粒筛选装置,包括底座,其特征在于,底座上设有接料盘,接料盘远离底座的一端设有筛网,筛网远离接料盘的一端设有盖板,位于筛网与盖板之间的物料室用以放置待筛分的晶粒,筛网上开设有用以通过存在结构缺陷的晶粒的筛孔,位于筛网与接料盘之间的回收室用以承接存在结构缺陷的晶粒,底座、接料盘、筛网和盖板通过固定件依次相连,底座远离盖板的一端连接有振动器。
2.根据权利要求1所述的一种半导体晶粒筛选装置,其特征在于,底座包括矩形框架状的本体和位于本体角点处的安装板,安装板沿本体的对角线朝向远离本体的一侧延伸,安装板包括对角布置的第一安装板和第二安装板。
3.根据权利要求2所述的一种半导体晶粒筛选装置,其特征在于,筒状的接料盘包括接料板和接料框,接料框靠近底座的端面上设有与第一安装板相匹配的定位槽,定位槽的数目为两个且沿接料框的径向排布,接料框远离底座的端面上设有第一定位凸台,第一定位凸台沿接料框的周向等间隔分布。
4.根据权利要求3所述的一种半导体晶粒筛选装置,其特征在于,筛网包括第一筛网和第二筛网,第一筛网包括第一筛框和第一筛板,第二筛网包括第二筛框和第二筛板,第一筛网位于第二筛网的上方,第一筛网和第二筛网之间的筛料室用以放置存在缺角缺陷的晶粒。
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【专利技术属性】
技术研发人员:曾扬扬,
申请(专利权)人:浙江先导热电科技股份有限公司,
类型:新型
国别省市:浙江;33
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