【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种铺片式周期性金属膜传感器单元（３３５，４３５），包括：排列成棋盘图案的第一组（３１０，４１０）和第二组（３２０，４２０）交替的传感片，其中所述第一组传感片（３１０，４１０）包括淀积在电介质基板（３９９）上的第一金属膜（例如３７５ ），并且所述第二组传感片（３２０，４２０）包括淀积在所述电介质基板（３９９）上的第二金属膜（例如３７５），所述第一金属膜（例如３７５）形成第一周期性图案（３２５，４２５）并且所述第二金属膜（例如３７５）形成第二周期性图案（３５５，４５５），以使得所述第一（３２５，４２５）和所述第二（３５５，４５５）周期性图案不相同。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：蒂路玛拉R兰格纳斯，米哈伊尔M西加拉斯，
申请(专利权)人：安捷伦科技有限公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]
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