【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种电阻型氧传感器,它是以包含氧化物半导体组成的氧检测部分与基板为构成要素的电阻型氧传感器,其特征在于,此氧化物半导体是包含铈离子与锆离子的氧化物,而锆离子的相对于铈离子与锆离子质量和的质量比为0.5~40mol%。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员:伊豆典哉,申宇奭,村山宣光,
申请(专利权)人:独立行政法人产业技术综合研究所,
类型:发明
国别省市:JP[日本]
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