一种光刻机的取片装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种光刻机的取片装置，包括底座，所述底座上表面焊接有片盒，所述底座上表面焊接有安装块，所述安装块与片盒侧壁焊接，所述安装块为空心结构，所述安装块内通过轴承转动连接有转动轴，所述转动轴两端均过盈配合有齿轮，所述齿轮啮合有第一齿条，所述第一齿条与安装块顶壁贯穿滑动连接，所述第一齿条位于安装块外部的一端焊接有挡板，所述挡板与安装块上表面之间固定连接有弹簧，所述齿轮啮合有第二齿条，所述第二齿条与所述安装块和片盒侧壁贯穿滑动连接。本实用新型专利技术可以在取片过程中保证片盒内的硅片不被灰尘污染，保障了优质的光刻效果，同时可以对不同厚度的硅片进行夹持，具有更强实用性。

【技术实现步骤摘要】
一种光刻机的取片装置
本技术涉及光刻机辅助装置
，尤其涉及一种光刻机的取片装置。
技术介绍
在集成电路芯片的生产过程中，芯片的设计图形在硅片表面光刻胶上的曝光转印(光刻)是其中最重要的工序之一，该工序所用的设备称为光刻机(曝光机)。光刻机是集成电路加工过程中最关键的设备。而光刻机的光刻过程中，需要利用取片装置将片盒中的硅片逐片取出，而然后在传递给其他的送片机构，最后将硅片送光刻工位光刻，光刻完成后，又需要通过取片装置将硅片回送至片盒中。现有技术中，现有的取片装置在取片的过程中，片盒一般都是敞口放置，敞口放置可能会导致硅片表面沾染灰尘，从而导致光刻效果较差，且现有的取片装置不能适用于各种不同厚度硅片的取放。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种光刻机的取片装置。为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种光刻机的取片装置，包括底座，所述底座上表面焊接有片盒，所述底座上表面焊接有安装块，所述安装块与片盒侧壁焊接，所述安装块为空心结构，所述安装块内通过轴承转动本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光刻机的取片装置，包括底座(1)，其特征在于，所述底座(1)上表面焊接有片盒(3)，所述底座(1)上表面焊接有安装块(2)，所述安装块(2)与片盒(3)侧壁焊接，所述安装块(2)为空心结构，所述安装块(2)内通过轴承转动连接有转动轴(21)，所述转动轴(21)两端均过盈配合有齿轮(22)，所述齿轮(22)啮合有第一齿条(23)，所述第一齿条(23)与安装块(2)顶壁贯穿滑动连接，所述第一齿条(23)位于安装块(2)外部的一端焊接有挡板(24)，所述挡板(24)与安装块(2)上表面之间固定连接有弹簧(25)，所述齿轮(22)啮合有第二齿条(26)，所述第二齿条(26)与所述安装块(2)和...

【技术特征摘要】
1.一种光刻机的取片装置，包括底座(1)，其特征在于，所述底座(1)上表面焊接有片盒(3)，所述底座(1)上表面焊接有安装块(2)，所述安装块(2)与片盒(3)侧壁焊接，所述安装块(2)为空心结构，所述安装块(2)内通过轴承转动连接有转动轴(21)，所述转动轴(21)两端均过盈配合有齿轮(22)，所述齿轮(22)啮合有第一齿条(23)，所述第一齿条(23)与安装块(2)顶壁贯穿滑动连接，所述第一齿条(23)位于安装块(2)外部的一端焊接有挡板(24)，所述挡板(24)与安装块(2)上表面之间固定连接有弹簧(25)，所述齿轮(22)啮合有第二齿条(26)，所述第二齿条(26)与所述安装块(2)和片盒(3)侧壁贯穿滑动连接，所述片盒(3)上表面开设有滑动槽(33)，所述滑动槽(33)内滑动连接有第一滑块(32)，所述第一滑块(32)下表面与第二齿条(26)焊接，所述第一滑块(32)上表面共同焊接有盒盖(31)，所述底座(1)上表面设置有取片装置。


2.根据权利要求1所述的一种光刻机的取片装置，其特征在于，所述底座(1)上表面焊接有立柱(101)，所述立柱(101)远离底座(1)的一端通过轴承转动连接有转动杆(102)，所述转动杆(102)为L形杆，所述转动杆(102)另一端固定连接有电动推杆(103)，所述电动推杆(103)的输出端设置有夹持装置(5)，所述夹持装置...

【专利技术属性】
技术研发人员：鹿国庆，钱钟惟，薛清，王素芹，陶莎，魏仙琦，袁冬青，曹晓琴，王慧明，陆金男，
申请(专利权)人：江苏海洋大学，
类型：新型
国别省市：江苏;32