高流量低压控制阀制造技术

公开了质量流量控制器和控制阀。控制阀包括提动头，该提动头包括多个竖直流动通道，该控制阀还包括孔口元件，该孔口元件包括从孔口元件的底面延伸通过孔口元件到达孔口元件的顶面的多个竖直流动通道。孔口元件的竖直流动通道在轴向上与提动头的竖直流动通道不对准，以防止当提动头的顶面与孔口元件的底面之间的间隙封闭时气体流过孔口元件。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】高流量低压控制阀
本专利技术涉及用于质量流量控制的系统和方法。特别地但非限制性地，本专利技术涉及质量流量控制器的阀。
技术介绍
质量流量控制器可用于将流体(例如，气体)的质量流率调节到期望的位置。例如，一些质量流量控制器用于以非常低但精确的质量流率将处理气体输送到处理应用(例如等离子体处理)的环境中。其它质量流量控制器用于调节高流率下的气体流，例如大于100标准升每分钟(SLM)的流率，但现有的质量流量控制器需要相对高的进气压力，并且需要大的阀门开度或跨度。当前需要在高流率和低入口压力下操作(例如，将气体输送到期望位置)的质量流量控制器。因此，现有的质量流量控制器均无法(或者效率很低)满足该要求。
技术实现思路
根据一方面，控制阀包括阀腔，所述阀腔包括入口和出口。提动头(poppet)布置在所述阀腔内，并且所述提动头包括多个竖直流动通道，并且所述提动头的底面面向所述入口。孔口元件布置在所述提动头和所述出口之间的所述阀腔内，所述孔口元件包括推杆槽，所述推杆槽允许推杆延伸穿过所述孔口元件并接触所述提动头，以允许所述推杆相本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种控制阀，其包括：/n阀腔，其包括入口和出口；/n提动头，其布置在所述阀腔内，所述提动头包括：/n多个竖直流动通道，其中所述提动头的底面面向所述入口；/n孔口元件，其布置在所述提动头和所述出口之间的所述阀腔内，所述孔口元件包括：/n推杆槽，其允许推杆延伸穿过所述孔口元件并接触所述提动头，以允许所述推杆相对于所述孔口元件移动所述提动头，从而打开和封闭所述提动头的顶面与所述孔口元件的底面之间的间隙；以及/n多个竖直流动通道，其从所述孔口元件的底面延伸穿过所述孔口元件，到达所述孔口元件的顶面；/n其中，所述孔口元件的竖直流动通道在轴向上与所述提动头的竖直流动通道不对准，以防止当所述提动头的顶面...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180226 US 62/635,3261.一种控制阀，其包括：
阀腔，其包括入口和出口；
提动头，其布置在所述阀腔内，所述提动头包括：
多个竖直流动通道，其中所述提动头的底面面向所述入口；
孔口元件，其布置在所述提动头和所述出口之间的所述阀腔内，所述孔口元件包括：
推杆槽，其允许推杆延伸穿过所述孔口元件并接触所述提动头，以允许所述推杆相对于所述孔口元件移动所述提动头，从而打开和封闭所述提动头的顶面与所述孔口元件的底面之间的间隙；以及
多个竖直流动通道，其从所述孔口元件的底面延伸穿过所述孔口元件，到达所述孔口元件的顶面；
其中，所述孔口元件的竖直流动通道在轴向上与所述提动头的竖直流动通道不对准，以防止当所述提动头的顶面与所述孔口元件的底面之间的所述间隙封闭时气体流过所述孔口元件。


2.根据权利要求1所述的控制阀，其特征在于，所述孔口元件包括多个水平流动通道。


3.根据权利要求2所述的控制阀，其特征在于，各个所述水平流动通道与所述孔口元件的至少一个竖直流动通道相交。


4.根据权利要求1所述的控制阀，其特征在于，所述提动头和所述孔口元件均包括多通道环，其中，所述提动头和所述孔口元件各自中的...

【专利技术属性】
技术研发人员：瑞恩·约翰逊，
申请(专利权)人：日立金属株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP