IC制造虚拟仿真教学平台制造技术

本发明专利技术公开了一种IC制造虚拟仿真教学平台，登录模块、课程学习模块、模拟练习模块、笔记管理模块和考核管理模块；模拟练习模块包括：选择模块，用于供学生操作以选择想要练习的IC加工工艺流程；参数设定模块，用于供学生操作以对设备进行参数设定；模拟展示模块，用于根据学生的设定向学生展示设备模拟运行过程；考核管理模块包括：第一设定模块，用于供老师设定考题；生成模块，用于根据老师的设定生成电子考卷；答卷模块，用于供学生操作以完成电子考卷；批阅模块，用于对学生完成的电子考卷进行批阅。本发明专利技术的有益之处在于提供的IC制造虚拟仿真教学平台解决了IC制造工艺及技术教学难的困境，为学生营造了一个高效的学习环境。

【技术实现步骤摘要】
IC制造虚拟仿真教学平台
本专利技术涉及一种IC制造虚拟仿真教学平台。
技术介绍
现有的教学方式中，学生利用教材学习IC(integratedcircuit)制造工艺、技术、实操等内容，传统课堂教学，以教师为主体的教学关系，教师以口授、板书形式进行传授知识。集成电路实训课程由老师进行演示操作，实训报告多数为纸质模式。以纸质试卷的形式对学生技能知识进行考核。教师对试卷、报告的批阅形式为一对多手动批阅。现有的教学方式，对于实操类以及较抽象的内容难以贴近产业工厂，导致学生的积极主动性不足。教师所面对几十位或较多位学生，难以把控教学进度。试题准备时间较长、批改试卷与分析费时费力且试卷难以长时间保存。课程以及教学模式单一，学生对于课程内容难以掌握。同时，IC制造技术是一项集当今世界最先进科技成果于一体的复杂系统工程和综合技术，而高校实验装备无法进行较高水平的实训。且IC制造过程中设备昂贵，场地有限制，有些工艺流程掺杂有害气体，无法完全在实训室内复现。
技术实现思路
为解决现有技术的不足，本专利技术提供了一种可以解决上述问题的IC制造虚拟仿真教学平台。为了实现上述目标，本专利技术采用如下的技术方案：一种IC制造虚拟仿真教学平台，包括：登录模块，用于供用户登录账号连接IC制造虚拟仿真教学平台；课程学习模块，用于供学生进行操作以模拟学习IC制造过程中的不同的IC加工工艺流程；模拟练习模块，用于供学生进行操作以模拟练习IC制造过程中的不同的IC加工工艺流程；笔记管理模块，用于供学生添加及管理学习笔记；考核管理模块，用于供学生进行线上考核；模拟练习模块包括：选择模块，用于供学生操作以选择想要练习的IC加工工艺流程；参数设定模块，用于供学生操作以对设备进行参数设定；模拟展示模块，用于根据学生的设定向学生展示设备模拟运行过程；考核管理模块包括：第一设定模块，用于供老师设定考题；生成模块，用于根据老师的设定生成电子考卷；答卷模块，用于供学生操作以完成电子考卷；批阅模块，用于对学生完成的电子考卷进行批阅。进一步地，模拟练习模块还包括：故障模拟模块，用于向学生模拟展示设备故障并分析故障产生原因；在模拟展示模块根据学生的设定向学生展示设备模拟运行过程时，当学生设定的参数存在错误时，模拟展示模块将故障码发送至故障模拟模块，故障模拟模块根据接收到的故障码向学生模拟展示设备故障并分析故障产生原因。进一步地，笔记管理模块包括：笔记添加模块，用于根据学生操作增加新的学习笔记，学习笔记包括笔记内容、笔记时间和章节标签；笔记搜索模块，用于根据学生输入的查找条件从笔记添加模块中搜索出符合条件的学习笔记；笔记提醒模块，用于根据学生的设定在学生登录IC制造虚拟仿真教学平台时向学生提示重要的学习笔记。进一步地，笔记管理模块还包括：智能关联模块，用于智能语义分析学生正在查看的学习笔记以找到与学习笔记相似的其他学习笔记。进一步地，笔记管理模块还包括：智能整合模块，用于智能语义分析学生新添加的学习笔记以找到与学习笔记相似的其他学习笔记并且可以根据学生的操作对相似的若干学习笔记进行合并。进一步地，批阅模包括：自动批阅模块，用于对电子考卷进行自动打分；人工批阅模块，用于供老师进行操作以对自动批阅模块自动批阅后的电子考卷进行人工校正；考核管理模块还包括：分析模块，用于根据批阅模块的批阅结果生成分析报告供学生和老师查看。进一步地，考核管理模块还包括：第二设定模块，用于供学生设定模拟考核出题范围；生成模块还根据学生设定的出题范围自动生成模拟电子考卷；答卷模块还用于供学生操作以完成模拟电子考卷。进一步地，IC制造虚拟仿真教学平台还包括：咨询模块；咨询模块包括：提问模块，用于供学生发布问题；答疑模块，用于供老师查看学生发布的问题并对该问题进行答复。进一步地，IC加工工艺流程包括：晶圆制程工艺流程、流片工艺流程、晶圆检测工艺流程、封装工艺流程和芯片检测工艺流程。进一步地，IC制造虚拟仿真教学平台还包括：日志模块，用于记录用户的操作记录；权限管理模块，用于供管理员设置用户的权限级别；通知模块，用于向用户发送通知信息。本专利技术的有益之处在于提供的IC制造虚拟仿真教学平台，解决了IC制造工艺及技术教学难的困境，通过语音、图片、动画、视频、虛拟交互等表现形式生动展示IC制造工艺流程、制造方法、生产设备操作过程，为学生营造了一个高效的学习环境。老师可以通过IC制造虚拟仿真教学平台设置考卷，实现了对学生学习能力的考核，且借助于该在线教学平台，可规范和统一教学环境，方便对学生进行教学管理。本专利技术的有益之处还在于提供的IC制造虚拟仿真教学平台的笔记管理模块可以在学生查看学习笔记时内容智能匹配出与该学习笔记内容相似的其他学习笔记供学生查看。有利于学生对某一知识点的全面学习。本专利技术的有益之处还在于提供的IC制造虚拟仿真教学平台的笔记管理模块可以在学生添加学习笔记时内容智能匹配出与该添加的学习笔记内容相似的其他学习笔记，并且可以根据学生的操作对相似的若干学习笔记进行合并。可以将学生在不同时间对同一技术点添加的学习笔记整合在一起，有利于学生后续的复习。附图说明图1是本专利技术的IC制造虚拟仿真教学平台的示意图。IC制造虚拟仿真教学平台100，登录模块10，课程学习模块20，模拟练习模块30，选择模块301，参数设定模块302，模拟展示模块303，故障模拟模块304，笔记管理模块40，笔记添加模块401，笔记搜索模块402，笔记提醒模块403，智能关联模块404，智能整合模块405，考核管理模块50，第一设定模块501，生成模块502，答卷模块503，批阅模块504，自动批阅模块505，人工批阅模块506，分析模块507，第二设定模块508，咨询模块60，提问模块601，答疑模块602，日志模块70，权限管理模块80，通知模块90。具体实施方式以下结合附图和具体实施例对本专利技术作具体的介绍。如图1所示为本专利技术的一种IC制造虚拟仿真教学平台100，主要包括：登录模块10、课程学习模块20、模拟练习模块30、笔记管理模块40和考核管理模块50。登录模块10用于供用户登录账号连接IC制造虚拟仿真教学平台100。在本专利技术中，用户包含学生、老师和管理员。用户通过注册的账号密码登录IC制造虚拟仿真教学平台100进行相关操作。课程学习模块20用于供学生进行操作以模拟学习IC制造过程中的不同的IC加工工艺流程。IC加工工艺流程包含晶圆制程工艺流程、流片工艺流程、晶圆检测工艺流程、封装工艺流程和芯片检测工艺流程。课程学习模块20通过语音、图片、动画、视频、虛拟交互等表现形式生动展示IC制造工艺流程、制造方法、生本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种IC制造虚拟仿真教学平台，其特征在于，包含：/n登录模块，用于供用户登录账号连接所述IC制造虚拟仿真教学平台；/n课程学习模块，用于供学生进行操作以模拟学习IC制造过程中的不同的IC加工工艺流程；/n模拟练习模块，用于供学生进行操作以模拟练习IC制造过程中的不同的所述IC加工工艺流程；/n笔记管理模块，用于供学生添加及管理学习笔记；/n考核管理模块，用于供学生进行线上考核；/n所述模拟练习模块包括：/n选择模块，用于供学生操作以选择想要练习的所述IC加工工艺流程；/n参数设定模块，用于供学生操作以对设备进行参数设定；/n模拟展示模块，用于根据学生的设定向学生展示设备模拟运行过程；/n所述考核管理模块包括：/n第一设定模块，用于供老师设定考题；/n生成模块，用于根据老师的设定生成电子考卷；/n答卷模块，用于供学生操作以完成所述电子考卷；/n批阅模块，用于对学生完成的所述电子考卷进行批阅。/n

【技术特征摘要】
1.一种IC制造虚拟仿真教学平台，其特征在于，包含：
登录模块，用于供用户登录账号连接所述IC制造虚拟仿真教学平台；
课程学习模块，用于供学生进行操作以模拟学习IC制造过程中的不同的IC加工工艺流程；
模拟练习模块，用于供学生进行操作以模拟练习IC制造过程中的不同的所述IC加工工艺流程；
笔记管理模块，用于供学生添加及管理学习笔记；
考核管理模块，用于供学生进行线上考核；
所述模拟练习模块包括：
选择模块，用于供学生操作以选择想要练习的所述IC加工工艺流程；
参数设定模块，用于供学生操作以对设备进行参数设定；
模拟展示模块，用于根据学生的设定向学生展示设备模拟运行过程；
所述考核管理模块包括：
第一设定模块，用于供老师设定考题；
生成模块，用于根据老师的设定生成电子考卷；
答卷模块，用于供学生操作以完成所述电子考卷；
批阅模块，用于对学生完成的所述电子考卷进行批阅。


2.根据权利要求1所述的IC制造虚拟仿真教学平台，其特征在于，
所述模拟练习模块还包括：
故障模拟模块，用于向学生模拟展示设备故障并分析故障产生原因；
在所述模拟展示模块根据学生的设定向学生展示设备模拟运行过程时，当学生设定的参数存在错误时，所述模拟展示模块将故障码发送至所述故障模拟模块，所述故障模拟模块根据接收到的所述故障码向学生模拟展示设备故障并分析故障产生原因。


3.根据权利要求1所述的IC制造虚拟仿真教学平台，其特征在于，
所述笔记管理模块包括：
笔记添加模块，用于根据学生操作增加新的学习笔记，所述学习笔记包含笔记内容、笔记时间和章节标签；
笔记搜索模块，用于根据学生输入的查找条件从所述笔记添加模块中搜索出符合条件的所述学习笔记；
笔记提醒模块，用于根据学生的设定在学生登录所述IC制造虚拟仿真教学平台时向学生提示重要的所述学习笔记。


4.根据权利要求3所述的IC制造虚拟仿真教学平台，其特征在于，
所述笔记管理模块还...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐振，周文清，
申请(专利权)人：杭州朗迅科技有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33