【技术实现步骤摘要】
一种共用驱动轴的多级真空泵
本专利技术涉及真空泵领域，尤其涉及一种包括至少一共用驱动轴的多级真空泵。
技术介绍
在真空
中，可以直接排大气且形成真空的设备主要有液环泵，直排大气气冷罗茨真空泵、喷射泵（含蒸汽喷射泵，水喷泵）、滑阀泵、往复泵、旋片式真空泵（分为油式旋片真空泵和无油干式旋片真空泵）、螺杆式真空泵、爪式真空泵、多级罗茨真空泵、涡旋式真空泵等。而普通罗茨真空泵能够形成较高真空，但排气压力不能够达到直排大气的压力，必须配备上述的真空泵作为前级泵才能够正常安全的运行。还有罗茨式气冷泵虽然可以直排大气,但由于必须引回已排出气体冷却后再回到泵腔里,导致效率降低、功耗和噪音很大，最高工作真空度只有约2万帕。从节能减排、环境保护角度说，干式泵是未来发展的大趋势。但是干式真空泵虽然不会产生大量的废水，废油，对于环境的影响比非干式真空泵来说要小的多，但现市场上的各种类型的干式真空泵存在着很多先天性的不足之处，制约着其更广泛的使用。为了解决现有技术上有关真空泵的问题，专利技术人提出一种多驱动腔非共轴真空泵，包括多个独立的...
【技术保护点】
1.一种共用驱动轴的多级真空泵，包括多个独立的真空驱动腔，所述多个真空驱动腔串联或并联连接形成多级真空驱动腔，每个独立的真空驱动腔内设置至少一转子，其特征在于，第一级真空驱动腔的入口直通大气或前级装置；/n其中至少有两个真空驱动腔以一共用驱动轴驱动，其中该共用驱动轴包括至少两个分离驱动轴。/n
【技术特征摘要】
1.一种共用驱动轴的多级真空泵，包括多个独立的真空驱动腔，所述多个真空驱动腔串联或并联连接形成多级真空驱动腔，每个独立的真空驱动腔内设置至少一转子，其特征在于，第一级真空驱动腔的入口直通大气或前级装置；
其中至少有两个真空驱动腔以一共用驱动轴驱动，其中该共用驱动轴包括至少两个分离驱动轴。
2.如权利要求1所述的共用驱动轴的多级真空泵，其特征在于，以该共用驱动轴驱动的至少两个真空驱动腔，分别为一第一真空驱动腔及一第二真空驱动腔，该共用驱动轴包括一第一分离驱动轴和一第二分离驱动轴，该第一分离驱动轴位于第一真空驱动腔内，该第二分离驱动轴位于第二真空驱动腔内，其中该第一分离驱动轴与该第二分离驱动轴以第一连接件连接，且该第一分离驱动轴与该第二分离驱动轴间隔一段距离。
3.如权利要求2所述的共用驱动轴的多级真空泵，其特征在于，该共用驱动轴还包括一第三分离驱动轴，该第一分离驱动轴位于该第二分离驱动轴的一侧，且该第三分离驱动轴位于该第二分离驱动轴的另一侧，该第二分离驱动轴与该第三分离驱动轴以第二...
【专利技术属性】
技术研发人员：潇然，
申请(专利权)人：上海伊莱茨真空技术有限公司，潇然，苏州伊莱茨流体装备有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31
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