Li-Al-Si光敏玻璃及其制备方法技术

本发明专利技术提供了一种Li‑Al‑Si光敏玻璃的制备方法，采用以下重量份数的原料制备：SiO

【技术实现步骤摘要】
Li-Al-Si光敏玻璃及其制备方法
本专利技术涉及三维集成封装转接板领域，尤其是一种Li-Al-Si光敏玻璃及其制备方法。
技术介绍
随着微电子技术的发展，集成电路所面临的隧道贯穿等量子效应也日渐突出，摩尔定律也遇到了前所未有的瓶颈，而这些瓶颈有望通过先进的三维集成封装技术得到突破。其中，转接板又在三维集成封装技术中扮演着重要作用：芯片之间通过高密度的镀铜通孔转接板进行垂直互联，大大缩短互连线长度，这样一来便显著降低了系统的寄生参数，功耗，信号延迟以及尺寸等。在众多转接板中，Li-Al-Si光敏玻璃凭借其独特的可光刻特性，低损耗、高密度通孔、低成本、强绝缘等属性，被认为是最具潜力的三维转接板材料。目前，行业内应用较为广泛的两款商业化光敏玻璃：(1)基于Li-Al-Si玻璃体系的Foturan(德国肖特)。(2)基于Na-Zn-Al-Si玻璃体系的光热折变玻璃(photo-thermo-refractiveglass,PTR)。肖特公司的Foturan光敏玻璃由于其微结构图形化精确度高，质量稳定可靠而被广泛应用于电子，生物等诸多领域，其本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.Li-Al-Si光敏玻璃的制备方法，其特征在于，采用以下重量份数的原料制备：/n

【技术特征摘要】
1.Li-Al-Si光敏玻璃的制备方法，其特征在于，采用以下重量份数的原料制备：





2.如权利要求1所述的Li-Al-Si光敏玻璃的制备方法，其特征在于，所述碱土金属包括MgO、CaO、BaO以及SrO中的一种或多种。


3.如权利要求2所述的Li-Al-Si光敏玻璃的制备方法，其特征在于，所述碱土金属包括MgO和CaO。


4.如权利要求3所述的Li-Al-Si光敏玻璃的制备方法，其特征在于，所述碱土金属包括0.5份CaO以及0.5份MgO。


5.如权利要求1所述的Li-Al-Si光敏玻璃的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
将原料均匀混合并对原料进行加热，使原料在150～180min内升温至800～900℃，生产气体以及不透明烧结物；
继续对原料进行加热，使原料在70～100min内升温至1200～1250℃，烧结物开始熔融并逐渐透明；
继续对原料进行加热，使原料在30min...

【专利技术属性】
技术研发人员：方针，陈宏伟，高莉彬，张继华，陈雨哲，曲胜，邹思月，王文君，蔡星周，穆俊宏，
申请(专利权)人：电子科技大学，成都迈科科技有限公司，
类型：发明
国别省市：四川;51