超声检测窄脉宽激光除污机及其除污方法技术

一种超声检测窄脉宽激光除污机，包括窄脉宽激光器装置（１）、光束调整传输装置（２）、移动平台装置（３）、超声检测装置（４）、自动控制装置（５）、吸尘回收装置（６），以及超声检测窄脉宽激光清除污物的方法。它通过利用窄脉宽激光照射被清洗物表面，使其在很短的时间内产生强烈的振动冲击波从而将污物从介质表面去除，同时利用仪器装置监测和分析清洗过程中振动所形成的超声波，来保证介质表面完好以及实现清洗过程自动化。它可以用来清除金属、半导体、建筑物等介质表面的氧化物、锈蚀物、油漆、油渍、残留物等各种污物，具有效果好、无损伤、效率高、自动化等优点。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种可以清除基底物质表面污染物的超声检测窄脉宽激光除污机，其特征在于该装置包括窄脉宽激光器装置（１）、光束调整传输装置（２）、移动平台装置（３）、超声检测装置（４）、自动控制装置（５）、吸尘回收装置（６），该装置利用窄脉宽激光与物体作用时间极短的性质，首先将窄脉宽激光器所产生的激光通过光束调整传输装置进行光斑整形并传输到被清洗物体表面，激光与被清洗物体相互作用所产生强烈的振动冲击波能够清除物体表面的污物，同时超声检测装置可以采集振动所形成的超声信号，并传送给自动控制装置进行分析，自动控制装置根据超声信号变化规律来分析出清洗状态并及时控制清洗过程，从而保证污物被清除的同时介质表面的完好。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：宋峰，田彬，邹万芳，何真，刘淑静，牛孔贞，田建国，
申请(专利权)人：南开大学，
类型：发明
国别省市：12[中国|天津]