压电驱式微混合芯片制造技术

一种微电子技术领域的压电驱动的微混合芯片，包括：密封盖层、通道层、压电控制器，密封盖层与通道层通过离子键合技术或者热键合技术密封在一起，密封盖层上侧设有三个压电控制器安装槽，压电控制器以粘贴方式嵌入密封盖层上侧的三个压电控制器安装槽内，通道层上设有循环流体通道；所述的三个压电控制器通过逻辑顺序作用于其下通道层循环流体通道，循环流体通道按照顺序开启、闭合，通过这种逻辑开关顺序，形成片上蠕动泵。本发明专利技术结合了通道式混合器和微腔混合器的特点，使不同试剂间的扩散和主动对流得到加强，从而提升混合效率，可以广泛用于生物试剂、化学试剂浓度和组分的实时测定，对于预防医学、环境水源监控都具有很强的实用价值。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及的是一种微电子
的芯片，特别是一种压电驱式微混合芯片。
技术介绍
在生物化学和医学检测分析系统中，生物试剂和化学试剂的混合是至关重要 的组成环节，微机电技术(MEMS)的发展使这一功能可以在芯片上完成。基于不同 混合原理的众多混合方法都被用于生物试剂和化学试剂组分混合研究中，目前， 微混合器件可分为通道式混合器和微腔混合器，通道式混合器通过构造特殊的微 流体通道来使不同试剂流的扩散效应变得更为显著，从而实现试剂的混合；而微 腔混合器，由一个或多个制作在基片上的密闭微室和驱动部件构成，通过驱动部 件在外部施加机械运动引起震荡，从而促进微室内不同试剂的混合。在微流体系 统中，由于通道长度和孔径的小，雷诺数较小，流体在通道式混合器中实现均匀 混合难度较高，耗时较长。而利用微腔混合器则不仅可以縮短混合时间，还可以 使混合进行的更加彻底完全，对于利用混合来实现微反应的混合反应体系尤其有 利。当前在微升容量的微型混合器研究中，主要通过气动、电场来进行驱动，促 进腔体内试剂扩散流动，实现混合，这种方式下，由于混合在微小腔室内进行， 扩散主要依靠外力被动完成，时间较长，况且，气本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种压电驱式微混合芯片，包括：密封盖层（１）、通道层（２），其特征在于，还包括：压电控制器（４），密封盖层（１）与通道层（２）通过离子键合技术或者热键合技术密封在一起，密封盖层（１）上侧设有三个压电控制器安装槽（３），压电控制器（４）以粘帖方式嵌入密封盖层上侧的三个压电控制器安装槽（３）内，通道层（２）上设有循环流体通道（６）；所述的三个压电控制器（４）通过逻辑顺序作用于其下通道层循环流体通道（６），循环流体通道（６）按照顺序开启、闭合，这种开启和闭合的逻辑顺序为：关开开、关关开、开关开、开关关、开开关和关开关，通过这种逻辑开关顺序，形成片上蠕动泵。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：陈文元，贾晓宇，张卫平，牛志强，
申请(专利权)人：上海交通大学，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]