【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种材料性能测试装置，特别是涉及超精密加工领域中的一种材料纳米尺度 弯曲力学性能测试中的精密加载装置。本专利技术可应用于微机电系统、纳米科学、精密光学、 飞机汽车制造业、生物医学工程、航空航天、新材料新工艺等领域。技术背景近年来，随着微电子学、生物医学、半导体、光学、数据存储、超精密机械及其制造等 学科的迅猛发展，人们对材料纳米力学性能的评价和测试方法提出了越来越高的要求。因此 各种具有精密定位或有精密加载驱动功能的加载机构被研发出来，以便满足材料纳米力学性 能的测试需求。但传统的微加载装置在检测加载力方面存在着无法检测或检测精度不高的问 题，或者检测装置存在结构复杂、造价较高的问题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于为解决传统的微加载装置在检测加载力方面存在着无法检测或检测精 度不高的问题，或者检测装置存在结构复杂、造价较高等问题，而提供一种材料纳米尺度料 弯曲力学性能测试中的精密加载装置，使之具有加载分辨率高、响应迅速、结构小的特点。 本专利技术技术的上述目的通过以下技术方案实现，结合附图说明如下 一种材料纳米尺度弯曲力学性能测试中的精密加载...
【技术保护点】
一种材料纳米尺度弯曲力学性能测试中的精密加载装置，该装置主要由基座、压头、驱动元件和载物台组成，其特征在于所说的压头（８）由多个薄壁柔性铰链（５、６、７）连接到基座（３）上；所说的基座（３）一端通过柔性铰链（２）与一个刚体（１）连接起来，所说的基座（３）另一端通过柔性铰链（１０）与另一个刚体（１１）连接起来，所说的驱动元件（４）采用压电叠堆，驱动原件（４）安装在压头（８）和预紧机构之间，所说的载物台（９）固定在另一个刚体（１１）上，压头（８）在驱动原件（４）作用下，可以沿ｘ轴作正向精密运动。
【技术特征摘要】
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