【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】基于过滤器的集成颗粒物传感器相关申请的交叉引用本申请要求于2017年12月15日提交的美国专利申请序列号62/599,138的优先权，其全部内容通过引用并入本申请。该申请通过引用并入以下专利申请的全部内容：于2017年12月15日提交的美国专利申请序列号62/599,156；于2017年12月15日提交的美国专利申请序列号62/599,168；以及于2018年8月21日提交的美国专利申请序列号62/720,492。
技术介绍
有多种类型的颗粒物传感器，包括基于光散射的传感器，基于滤器的光吸收的传感器，基于扩散电荷的传感器，基于重量过滤器分析的传感器，β(beta)衰减传感器，锥形元素振荡微天平传感器以及光声传感器。
技术实现思路
在一方面，一种用于感测流体中的颗粒物的装置包括基板；以及电连接至基板的集成电路，该集成电路包括光电检测器。该装置包括过滤器组件，其包括与光电检测器对准的颗粒过滤器，以及用于颗粒过滤器的过滤器壳体，该过滤器壳体限定用于流体通过颗粒过滤器的流动路径。该装置包括光源，其电连接至基板并被定位以
【技术保护点】
1.一种用于感测流体中的颗粒物的装置，所述装置包括：/n基板；/n电连接至所述基板的集成电路，所述集成电路包括光电检测器；/n过滤器组件，包括：/n与所述光电检测器对准的颗粒过滤器，以及/n用于所述颗粒过滤器的过滤器壳体，所述过滤器壳体限定用于流体通过所述颗粒过滤器的流动路径；以及/n光源，其电连接至所述基板并被定位以照射所述颗粒过滤器。/n
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20171215 US 62/599,1381.一种用于感测流体中的颗粒物的装置，所述装置包括：
基板；
电连接至所述基板的集成电路，所述集成电路包括光电检测器；
过滤器组件，包括：
与所述光电检测器对准的颗粒过滤器，以及
用于所述颗粒过滤器的过滤器壳体，所述过滤器壳体限定用于流体通过所述颗粒过滤器的流动路径；以及
光源，其电连接至所述基板并被定位以照射所述颗粒过滤器。
2.根据权利要求1所述的装置，其中所述过滤器组件被固定至所述集成电路。
3.根据权利要求1或2所述的装置，其中所述过滤器组件被固定至所述基板。
4.根据前述权利要求中任一项所述的装置，其中所述基板包括印刷电路板。
5.根据前述权利要求中任一项所述的装置，其中所述光源设置在所述基板上。
6.根据权利要求5所述的装置，包括设置在所述基板上的多个光源，设置在所述过滤器组件的第一侧的第一光源以及设置在所述过滤器组件的第二侧的第二光源。
7.根据权利要求5或6所述的装置，包括：
多个光源，其设置在所述基板上；以及
多个光电检测器，其设置在所述基板上，
其中所述多个光源中的每一个被定位成用基本相似强度的光照射每个光电检测器。
8.根据前述权利要求中任一项所述的装置，包括设置在所述基板上的多个光电检测器，设置在所述过滤器组件的第一侧的第一光电检测器以及设置在所述过滤器组件的第二侧的第二光电检测器。
9.根据前述权利要求中任一项所述的装置，包括固定至所述基板的传感器壳体，所述传感器壳体和所述基板限定内部空间，所述集成电路、所述过滤器组件和所述光源设置在所述内部空间中。
10.根据权利要求9所述的装置，其中所述传感器壳体的内表面对所述光源发射的光的反射率至少为30％。
11.根据权利要求9或10所述的装置，包括设置在所述传感器壳体的内表面上的反射材料层。
12.根据权利要求9至11中任一项所述的装置，其中所述光源被定位成照射所述传感器壳体，使得从所述传感器壳体反射的光照射所述颗粒过滤器。
13.根据权利要求9至12中任一项所述的装置，其中所述光源设置在所述传感器壳体的内壁上。
14.根据权利要求9至13中任一项所述的装置，其中所述传感器壳体的横截面具有弯曲的轮廓。
15.根据前述权利要求中任一项所述的装置，其中所述集成电路包括第二光电检测器，并且其中所述过滤器组件包括与所述第二光电检测器对准的参考颗粒过滤器。
16.根据权利要求15所述的装置，其中所述过滤器壳体不限定用于流体通过所述参考颗粒过滤器的流动路径。
17.根据前述权利要求中任一项所述的装置，其中所述集成电路通过硅通孔，背侧重新分布层和焊球电连接至所述基板。
18.根据权利要求17所述的装置，包括设置在所述集成电路和所述基板之间的底部填充材料。
19.根据权利要求18所述的装置，包括设置在所述集成电路的一个或多个边缘的倒角。
20.根据前述权利要求中任一项所述的装置，其中所述光源包括广谱光源，并且其中所述光电检测器包括被配置为检测从所述广谱光源发射的第一波长的第一区域和被配置为检测从所述广谱光源发射的第二波长的第二区域。
21.根据前述权利要求中任一项所述的装置，其中所述光源是被配置为发射第一波长的光的第一光源，并且包括被配置为发射第二波长的光的第二光源；以及
其中所述光电检测器被配置为检测所述第一波长和所述第二波长。
22.一种用于检测流体中颗粒物的方法，所述方法包括：
使包含微粒物的流体流过由过滤器壳体限定的流动路径，包括使所述流体流过设置在所述过滤器壳体上的颗粒过滤器；
使用来自电连接至基板的光源的光照射所述颗粒过滤器；以及
通过形成在电连接至所述基板的集成电路中的光电检测器来检测所述颗粒过滤器的光学特性，所述光电检测器与所述颗粒过滤器对准。
23.根据权利要求22所述的方法，其中检测所述颗粒过滤器的光学特性包括检测所述颗粒过滤器的吸收。
24.根据权利要求22或23所述的方法，其中检测所述颗粒过滤器的光学特性包括检测所述光学特性的变化率。
25.根...
【专利技术属性】
技术研发人员：哈拉尔德·埃奇迈尔，乔治·罗勒，安德森·辛古拉尼，胡伯特·叶尼齐迈尔，朴钟文，亚历山大·伯格曼，保罗·迈尔霍费尔，
申请(专利权)人：ams国际有限公司，格拉茨工业大学，
类型：发明
国别省市：瑞士;CH
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