热制程承载盘制造技术

本实用新型专利技术公开一种热制程承载盘，包括：外框架、多个肋条件及多个限位支撑块，外框架围绕形成承载面，多个肋条件连接外框架且设置于承载面，多个限位支撑块滑移套设于这些肋条件，每一个限位支撑块的上表面具有多个锯齿结构。本实用新型专利技术解决传统的承载盘无法适用多种尺寸的承载件的问题。

【技术实现步骤摘要】
热制程承载盘
本技术涉及一种承载装置，更特别的是涉及一种热制程承载盘。
技术介绍
热制程承载盘是用来在热制程中承托承载件(例如玻璃、晶圆等)。承载盘需要耐高温、与承载件尽量少的接触、且承载盘的接触点需要有耐磨耗的性质。因此，传统的热制程承载盘的形状与构造设计很大程度受限于要承载的承载件的尺寸、形状。一旦承载件的形状规格发生改变，既有的热制程承载盘便不适用，需要因应新规格的承载件而开模设计新的承载盘，相当不便。
技术实现思路
本技术的目的在于解决熟知热制程承载盘的种种问题，提出一种热制程承载盘。为达上述目的及其他目的，本技术提出一种热制程承载盘，其包含：外框架，围绕形成一承载面；多个肋条件，连接该外框架且设置于承载面；以及多个限位支撑块，滑移套设于该肋条件，每一该限位支撑块的上表面具有多个锯齿结构。可选地，每一个该限位支撑块的多个锯齿结构的延伸方向垂直于该限位支撑块的滑移方向。可选地，该限位支撑块具有三个锯齿结构。可选地，该限位支撑块的位于中央的锯齿结构的高度高于位于两侧的锯齿结构。可选地，该外框架为长方形，具有两个长边及两个短边。可选地，该肋条件包括至少一个长肋条，平行该长边而连接该两个短边。可选地，该肋条件更包括多个短肋条，平行该短边而连接于该长肋条及该两个长边的其中一个。可选地，该肋条件更包括多个短肋条，该长肋条数量为多个，该短肋条平行该短边而连接于两个相邻的该长肋条之间。可选地，该外框架的一个角为斜角。可选地，该外框架的上表面设有凸起部，该外框架的下表面对应该凸起部的位置设有形状匹配该凸起部的凹陷部。可选地，该外框架的上表面设有垫高块，该凸起部设于该垫高块的上表面。可选地，该外框架的外侧面设有凹槽，以供夹爪夹持。可选地，该外框架的上表面设有刻度线。可选地，该外框架为铝合金外框架。可选地，该肋条件为铝合金肋条件。可选地，该限位支撑块为铁氟龙限位支撑块。可选地，该限位支撑块为可拆卸式。可选地，更包括多个辅助支撑块，设于该肋条件，每一个该辅助支撑块的上表面具有支撑齿。借此，本技术的热制程承载盘相较于先前技术，可适用于多种尺寸的承载件，而无需针对每一款承载件而设计对应的承载盘，提高制程上的便利性并降低生产成本。为使能更进一步了解本技术的特征及
技术实现思路
，请参阅以下有关技术的详细说明与附图，但是此多个说明与所附图式仅用来说明本技术，而非对本技术的权利范围作任何的限制。附图说明图1为本技术实施例的热制程承载盘的立体示意图。图2为本技术实施例的限位支撑块的示意图。图3为本技术实施例的热制程承载盘的第一承载型态示意图。图4为本技术实施例的热制程承载盘的第二承载型态示意图。图5为本技术实施例的热制程承载盘的第三承载型态示意图。图6为本技术实施例的热制程承载盘的堆叠示意图。附图标记：100热制程承载盘1外框架11长边12短边13凸起部14凹陷部15垫高块16凹槽2肋条件21长肋条22短肋条3限位支撑块31锯齿结构32锯齿结构4固定支撑块41支撑齿B斜角G1玻璃G2玻璃G3玻璃具体实施方式为了充分了解本技术，通过下述具体的实施例，并配合所附的附图，对本技术做一详细说明。本领域技术人员可由本说明书所公开的内容了解本技术的目的、特征及功效。须注意的是，本技术可通过其他不同的具体实施例加以施行或应用，本说明书中的各项细节也可基于不同观点与应用，在不悖离本技术的精神下进行各种修饰与变更。另外，本技术所附的附图仅为简单示意说明，并非依实际尺寸的描绘。以下的实施方式将进一步详细说明本技术的相关
技术实现思路
，但所公开的内容并非用以限制本技术的权利要求。说明如后：如图1所示，本技术实施例提供一种热制程承载盘100，其包含外框架1、多个肋条件2以及多个限位支撑块3。外框架1围绕形成承载面。在本实施例中，外框架1为长方形，具有两个长边11及两个短边12。然而本技术不限于此，外框架1可以为任意适合的几何形状。多个肋条件2连接外框架1且设置于承载面。在一个例子中，肋条件2包括至少一个长肋条21及多个短肋条22，长肋条21平行长边11而连接两个短边12，短肋条22平行短边12而连接于长肋条21及两个长边11的其中之一。在本实施例中，长肋条21数量为两个(也可以为更多的多个)，部分短肋条22平行短边12而连接于长肋条21的其中一个及两个长边11的其中一个，而有另外部分的短肋条22，其平行短边12而连接于二个相邻的长肋条21之间。如图1及图2所示，多个限位支撑块3滑移套设于肋条件2，每一限位支撑块3的上表面具有多个锯齿结构31、32。详细来说，在本实施例中，限位支撑块3滑移套设于长肋条21及短肋条22中，配合所承载的玻璃尺寸大小而改变位置。如图3至图5所示，经由滑移调整限位支撑块3的位置，热制程承载盘100可分别适配于支撑不同尺寸大小的玻璃G1、G2、G3。因此，同一款热制程承载盘100可适用于多种尺寸的承载件，而无需针对每一款承载件而设计对应的承载盘，提高制程上的便利性并降低生产成本。进一步地，在一个实施例中，如图2所示，每一限位支撑块3的多个锯齿结构31、32的延伸方向垂直于限位支撑块3的滑移方向。进一步地，在一个实施例中，如图2所示，限位支撑块3具有三个锯齿结构31、32，其中位于中央的锯齿结构32的高度高于位于两侧的锯齿结构31。如图4及图5所示，高度较低的位于两侧的锯齿结构31用以支撑玻璃G2、G3，高度较高的位于中央的锯齿结构32用以分隔相邻的玻璃。进一步地，在一个实施例中，如图1所示，外框架1的一角设为斜角B。斜角B可帮助人工或机器辨识热制程承载盘100的摆放位置和方向。进一步地，在一个实施例中，如图1所示，外框架1的上表面设有凸起部13，外框架1的下表面对应凸起部13的位置设有形状匹配凸起部13的凹陷部14。借由凸起部13和另一热制程承载盘100的凹陷部14互相匹配，可使多个热制程承载盘100如图6所示地堆叠起来。多个热制程承载盘100经堆叠后可在同一制程中进入烘烤设备进行烘烤。进一步地，在一个实施例中，如图1及图6所示，外框架1的上表面设有垫高块15，凸起部13设于垫高块15的上表面。借由垫高块15，可使堆叠的热制程承载盘100之间的间距增加，使所承载的玻璃等承载件不被上方的热制程承载盘100碰触，并在热制程中具有较好的热对流空间。进一步地，在一个实施例中，如图1所示，外框架1的外侧面设有凹槽16，以供夹爪夹持。借此，热制程承载盘100可用于自动化的制程。进一步地，在一个实施例中，如图本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种热制程承载盘，其特征在于，所述热制程承载盘包括：/n外框架，围绕形成承载面；/n多个肋条件，连接所述外框架且设置于所述承载面；以及/n多个限位支撑块，滑移套设于所述多个肋条件，每一个所述多个限位支撑块的上表面具有多个锯齿结构。/n

【技术特征摘要】
1.一种热制程承载盘，其特征在于，所述热制程承载盘包括：
外框架，围绕形成承载面；
多个肋条件，连接所述外框架且设置于所述承载面；以及
多个限位支撑块，滑移套设于所述多个肋条件，每一个所述多个限位支撑块的上表面具有多个锯齿结构。


2.根据权利要求1所述的热制程承载盘，其特征在于，每一个所述多个限位支撑块的多个锯齿结构的延伸方向垂直于所述限位支撑块的滑移方向。


3.根据权利要求1所述的热制程承载盘，其特征在于，所述多个限位支撑块具有三个锯齿结构。


4.根据权利要求3所述的热制程承载盘，其特征在于，所述多个限位支撑块的位于中央的锯齿结构的高度高于位于两侧的锯齿结构。


5.根据权利要求1所述的热制程承载盘，其特征在于，所述外框架为长方形，具有两个长边及两个短边。


6.根据权利要求5所述的热制程承载盘，其特征在于，所述多个肋条件包括至少一个长肋条，平行所述长边而连接所述两个短边。


7.根据权利要求6所述的热制程承载盘，其特征在于，所述多个肋条件更包括多个短肋条，平行所述短边而连接于所述长肋条及所述两个长边的其中一个。


8.根据权利要求6所述的热制程承载盘，其特征在于，所述多个肋条件更包括多个短肋条，所述长肋条数量为多个，所述多个短肋条平行所述短边而连接于两个相邻...

【专利技术属性】
技术研发人员：林宏信，
申请(专利权)人：志圣科技广州有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44