MEMS热电堆传感器模组制造技术

本实用新型专利技术MEMS热电堆传感器模组，包括MEMS热电堆传感器、传感器套筒、外壳、安装板和线路板；外壳开设有上下贯通的透光孔，外壳和安装板上下贴合固定且两者之间形成用于容纳MEMS热电堆传感器的空腔；MEMS热电堆传感器的引脚与线路板连接；传感器套筒套设在MEMS热电堆传感器上，且传感器套筒的上端开设有与透光孔相对应的通孔，通孔用于调整MEMS热电堆传感器所接收的红外线的视场角。通过设置传感器套筒，使被测物体发出的红外线先在通孔内汇聚，然后再射入MEMS热电堆传感器内并被其采集，从而达到了调整红外线视场角的目的，使红外线的视场角控制到10°～40°，从而减少了被测物体周围环境对测量数据的干扰，进而提高了温度测量的准确度。

【技术实现步骤摘要】
MEMS热电堆传感器模组
本技术涉及温度传感
，具体为MEMS热电堆传感器模组。
技术介绍
MEMS，即微机电系统，也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置。微机电系统是在微电子技术基础上发展起来的，融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。MEMS侧重于超精密机械加工，涉及微电子、材料、力学、化学、机械学诸多学科领域。热电堆是一种热释红外线传感器，它是由热电偶构成的一种器件。热电堆传感器可应用在多种领域中，比如空调、微波炉、烘干机、干衣机和测温仪等，其主要作用是接收被侧物体的红外线并利用塞贝克效应感测待测物体的温度。现有的热电堆传感器模组，其视场角较大，在测温时容易将被测物体以外的红外线也采集到，从而影响测量的准确性。
技术实现思路
本技术的目的在于提出一种视场角较窄，温度测量更加准确的MEMS热电堆传感器模组。为实现上述目的，本技术提出MEMS热电堆传感器模组，包括MEMS热电堆传感器、传感器套筒、外壳、安装板和线路板；本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.MEMS热电堆传感器模组，其特征在于：包括MEMS热电堆传感器、传感器套筒、外壳、安装板和线路板；/n所述外壳开设有上下贯通的透光孔，所述外壳和所述安装板上下贴合固定且两者之间形成用于容纳所述MEMS热电堆传感器的空腔；/n所述MEMS热电堆传感器的引脚与所述线路板连接；/n所述传感器套筒套设在所述MEMS热电堆传感器上，且所述传感器套筒的上端开设有与所述透光孔相对应的通孔，所述通孔用于调整所述MEMS热电堆传感器所接收的红外线的视场角。/n

【技术特征摘要】
1.MEMS热电堆传感器模组，其特征在于：包括MEMS热电堆传感器、传感器套筒、外壳、安装板和线路板；
所述外壳开设有上下贯通的透光孔，所述外壳和所述安装板上下贴合固定且两者之间形成用于容纳所述MEMS热电堆传感器的空腔；
所述MEMS热电堆传感器的引脚与所述线路板连接；
所述传感器套筒套设在所述MEMS热电堆传感器上，且所述传感器套筒的上端开设有与所述透光孔相对应的通孔，所述通孔用于调整所述MEMS热电堆传感器所接收的红外线的视场角。


2.根据权利要求1所述的MEMS热电堆传感器模组，其特征在于：还包括滤波磁环，所述滤波磁环套设在所述传感器套筒外。


3.根据权利要求1所述的MEMS热电堆传感器模组，其特征在于：所述通孔的高度为2.5mm～3.2mm。


4.根据权利要求3所述的MEMS热电堆传感器模组，其特征在于：所述通孔为上宽下窄的喇叭孔，且所述通孔的最大内径与最小内径的比值≥2。


5.根据权利要求3所述的MEMS热电堆传感器模组，其特征在于：所述通孔包括从上到下依次设置、且相...

【专利技术属性】
技术研发人员：龙克文，宋桐翠，胡锦文，严凯丽，
申请(专利权)人：三桥惠佛山新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44