【技术实现步骤摘要】
一种双面镀膜设备及电池片的双面镀膜方法
本专利技术涉及电池制备设备,尤其涉及一种双面镀膜设备及电池片的双面镀膜方法。
技术介绍
现有的HIT电池(HeterojunctionwithintrinsicThinlayer,太阳能电池)的制备工艺的设备中,PECVD(PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition,增强化学的气相沉积法)设备,用于对电池片进行镀膜,也称为镀膜设备。镀膜设备根据结构的不同,一般分为板式镀膜设备和管式镀膜设备。其中,板式镀膜设备,一般由平板组成,通过在平板上加工凹槽放置电池片,然后通过托盘将平板上的电池片传送到工艺腔室内进行镀膜。板式镀膜设备的成膜均匀性好、控制简单。管式镀膜设备,一般采用花篮的方式来放置硅片,通过在花篮的边缘位置设置卡点将电池片卡住,然后通过移动花篮将电池片的传送到工艺腔室内进行镀膜。但是,板式镀膜设备、管式镀膜设备每次都只能针对电池的一个表面进行镀膜,导致设备的产能大大降低,甚至影响电池的生产效率。
技术实现思路
为了克服现有 ...
【技术保护点】
1.一种双面镀膜设备,其特征在于,所述双面镀膜设备包括第一载板支撑架以及与所述第一载板支撑架配套的第二载板支撑架;其中,所述第一载板支撑架上设有一个第一载板或依次层叠间隔设置的多个第一载板;所述第二载板支撑架上设有一个第二载板或依次层叠间隔设置的多个第二载板;所述第一载板上设有第一电池片载片、所述第二载板上设有第二电池片载片;所述第一电池片载片、第二电池片载片均用于放置电池片;/n通过将多个第一载板与多个第二载板交叉间隔设于第一载板支撑架与第二载板支撑架之间,使得第一载板支撑架与第二载板支撑架合并;同时,当第一载板支撑架与第二载板支撑架合并时,第一载板上的第一电池片载片与对 ...
【技术特征摘要】
1.一种双面镀膜设备,其特征在于,所述双面镀膜设备包括第一载板支撑架以及与所述第一载板支撑架配套的第二载板支撑架;其中,所述第一载板支撑架上设有一个第一载板或依次层叠间隔设置的多个第一载板;所述第二载板支撑架上设有一个第二载板或依次层叠间隔设置的多个第二载板;所述第一载板上设有第一电池片载片、所述第二载板上设有第二电池片载片;所述第一电池片载片、第二电池片载片均用于放置电池片;
通过将多个第一载板与多个第二载板交叉间隔设于第一载板支撑架与第二载板支撑架之间,使得第一载板支撑架与第二载板支撑架合并;同时,当第一载板支撑架与第二载板支撑架合并时,第一载板上的第一电池片载片与对应相邻的第二载板上第二电池片载片上下正对设置,并使得第一电池片载片与第二电池片载片之间形成用于容纳电池片的第一腔体;
通过将第一载板支撑架与第二载板支撑架翻转180度,使得位于所述第一腔体内的电池片翻面。
2.根据权利要求1所述一种双面镀膜设备,其特征在于,所述第一载板上设有多个第一电池片载片时,所述第二载板上设有多个第二电池片载片,并且多个第一电池片载片与多个第二电池片载片的数量、尺寸以及排列位置均相同。
3.根据权利要求2所述一种双面镀膜设备,其特征在于,相邻第一电池片载片之间设有一个或多个电池边部挡柱;通过一个或多个电池边部挡柱阻挡对应第一腔体内的电池片从对应第一腔体中移出。
4.根据权利要求3所述一种双面镀膜设备,其特征在于,相邻第二电池片载片之间设有与所述一个或多个电池边部挡柱对应的一个或多个电池边部档孔,通过将一个或多个电池边部挡柱安装于对应的一个或多个电池边部档孔内,使得第一载板与对应相邻的第二载板合并。
5.根据权利要求2所述一种双面镀膜设备,其特征在于,每个第一电池片载片的四个角设有一个或多个倒角边档块,通过一个或多个倒角边档块阻挡第一电池片载片上的电池片的移动。
6.根据权利要求5所述一种双面镀膜设备,其特征在于,每个第二电池片载片的四个角均设有与所述一个或多个倒角边档块对应的一个或多个倒角边档槽,通过将一个或多个倒角边档块安装于对应的一个或多个倒角边档槽内,使得第一载板与对应相邻的第二载板合并。
7.根据权利要求4或6所述一种双面镀膜设备,其特征在于,第一载板与对应相邻的第二载板合并时,每个第一电池片载片与对应第二电池片载片形成第二腔体,所述第二腔体的...
【专利技术属性】
技术研发人员:谷士斌,许明现,黄强,张莹,
申请(专利权)人:东方日升新能源股份有限公司,
类型:发明
国别省市:浙江;33
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