异物的检查方法、检查装置、薄膜辊以及薄膜辊的制造方法制造方法及图纸

提供异物的检查方法，能够可靠地检测卷绕以高速输送的薄膜而得的薄膜辊中所含的微小的异物(例如包括检测是否为金属异物)。在用于实现上述目的的本发明专利技术的异物的检查方法中，针对即将卷绕于薄膜辊之前的输送中的薄膜，使用光学拍摄部来检测该薄膜上的异物，并将薄膜上的平面坐标下的异物的位置保存在存储部中，将平面坐标下的异物的位置转换为卷绕后的薄膜辊中的空间坐标下的异物的位置。而且，限定于所得到的薄膜辊中的异物的空间坐标，进行X射线拍摄装置等放射线拍摄部的对焦，通过放射线拍摄部来照射放射线，检测薄膜辊中的异物是否为金属。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】异物的检查方法、检查装置、薄膜辊以及薄膜辊的制造方法
本专利技术涉及对卷绕有薄膜的薄膜辊中混入的异物进行检查的方法和装置、薄膜辊及其制造方法。
技术介绍
各种聚合物薄膜等薄膜通常作为薄膜原材料在卷绕于辊的状态下被提供给使用该薄膜的制造商。特别是，在使用宽度比薄膜原材料小的薄膜的情况下，从宽度宽的原材料辊卷出薄膜并进行形成期望的薄膜宽度的分条加工，将分条加工后的薄膜卷绕于辊而形成薄膜辊。在使用分条加工后的薄膜时，从薄膜辊重新卷出薄膜来使用。另外，在使用进行了各种表面处理的薄膜的情况下，从未处理薄膜的原材料卷出薄膜并进行表面处理，并将处理后的薄膜卷绕而形成薄膜辊。在需要进行了表面处理且进行了分条加工的薄膜时，通常将表面处理后的薄膜卷绕成薄膜辊，然后，从该薄膜辊卷出薄膜并进行分条加工，并再次卷绕成薄膜辊。在从经过这样的过程而得到的薄膜辊卷出薄膜来使用的情况下，有时混入到薄膜辊中的微小的异物成为问题。因此，要求对混入到薄膜辊中的异物进行检测。例如，在将从薄膜辊卷出的薄膜用作插入于锂离子二次电池的正极与负极之间的电池分隔薄膜的情况下，混入到薄膜辊中的异物成为电池分隔薄膜上的异物，但如果该异物例如是微小的金属片，则会引起锂离子二次电池中的正极与负极之间的短路，或者溶解在电解液中而使电池特性劣化。因此，需求对混入到薄膜辊中的微小的异物进行检测的检查方法和装置。对于电池分隔薄膜，需要可靠地检测100μm以下的大小、例如数十μm左右的金属异物。不过，在异物是不具有电传导性的非金属的异物的情况下，有时即使是更大的异物也不成为问题，因此优选在检测电池分隔薄膜用的薄膜辊中的异物时，还能够判别异物的大小及其材质或种类。另外，如果能够知道在薄膜辊中的何处存在异物，则能够使用不存在异物的区间的薄膜，从而也能够实现薄膜的有效利用。作为对在薄膜辊中是否包含异物进行检测的方法，存在利用可见光对即将在薄膜辊上卷绕薄膜之前的输送中的薄膜进行光学检查的方法。在该方法中，无法判别异物的种类。因此，专利文献1记载了如下的内容：在进行光学检查时，使用可见光和红外光双方，使用可见光中的反射光和红外光中的反射光来对异物的种类进行判别。但是，在专利文献1的方法中，不一定能够可靠地从其他异物中判别出金属异物，而且需要严格地将可见光下的检测位置和红外光下的检测位置进行对位。虽然不是对薄膜辊中的异物进行检测的方法，但专利文献2公开了如下的方法：为了在卷绕成卷状的标签连续体中准确地对接缝的数量进行计数，沿着与辊的中心轴(卷绕的中心轴)平行的方向从X射线源向辊照射X射线，对透过标签连续体的辊的X射线的强度进行测量。在使用该方法来检测薄膜辊中的异物的情况下，在与辊的中心轴垂直的面内，使X射线源和X射线检测器(X射线照相机)相对于薄膜辊相对地扫描，并记录在哪个位置透过X射线量降低。但是，为了以较高的检测精度进行检查，需要使X射线源与异物之间的距离恒定，因此必须使X射线源在与辊的中心轴平行的方向上也移动来进行扫描。因此，在该方法中，如果要检测薄膜辊中的例如100μm见方的金属异物，则必须使X射线的照射视野为例如10mm见方以下的大小，因此在对薄膜辊的整体进行检查的情况下，检查时间变得非常长，在现实中难以执行检查。即使假设对薄膜辊的整体进行检查，由于检查时间长，因此在一个X射线源的寿命范围内能够检查的薄膜辊的根数也被限制。专利文献3公开了如下的装置：该装置对作为形成有半导体装置用的金属图案的薄膜的CSP(芯片尺寸封装)带上的金属图案的缺损或金属异物的附着等缺陷进行检查，具有光学检查装置和X射线检查装置，将通过了X射线检查装置的CSP带卷绕于辊，其中，该光学检查装置对被卷出并输送的CSP带进行光学拍摄并进行检查，该X射线检查装置在比光学检查装置靠CSP带的输送方向下游侧的位置向CSP带照射X射线并进行检查。在该装置中，通过光学检查装置来检测带上的缺陷，接着，通过X射线检查装置来检查由光学检查装置检测出的CSP带上的缺陷位置，判别缺陷是否由金属异物的附着引起。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特许第5673621号说明书专利文献2：日本特开2015-44602号公报专利文献3：日本特许第5126645号说明书
技术实现思路
专利技术要解决的课题专利文献3所记载的装置能够判别并检测输送中的薄膜或带上的金属异物，但由于在X射线检查装置中难以检测以10m/分钟以上的高速输送的物体中的微小的缺陷，因此不得不限制薄膜或带的输送速度。即，为了以能够在现实中应用的水平检查薄膜，需要以例如数十m/分钟至100m/分钟来输送薄膜，但在专利文献3所记载的装置中，无法应对这样的高输送速度。因此，本专利技术的目的在于，提供能够可靠地检测卷绕以高速输送的薄膜而得的薄膜辊中所含的微小的异物(例如包括检测是否为金属异物)的检查方法、用于该检查方法的检查装置、经过该检查方法而制造的薄膜辊以及薄膜辊的制造方法。用于解决课题的手段即，本专利技术是一种异物的检查方法，该异物混入于薄膜辊中，其中，该异物的检查方法包含如下的工序：第1异物检测工序，针对卷绕于薄膜辊之前的输送中的薄膜，使用光学拍摄部检测所述薄膜上的异物，取得至少包含该异物在所述薄膜上的位置信息A(平面坐标)在内的异物信息；在所述第1异物检测工序之后，将所述薄膜卷绕于芯上而作为薄膜辊的工序；转换工序，将所述位置信息A(平面坐标)中的所述异物的位置转换为卷绕后的所述薄膜辊上的位置信息B(空间坐标)中的位置信息；以及第2异物检测工序，针对所述薄膜辊使用放射线拍摄部，根据该异物的位置信息B(空间坐标)进行放射线拍摄部的对焦，以使拍摄焦点对准作为检测/评价对象的异物，并且通过所述放射线拍摄部照射放射线，进行作为对象的异物的检测并且进行该异物的评价(鉴定)。而且，提供异物的检查方法，该异物的检查方法包含如下的检查结果映射工序：在所述第2异物检测工序之后，将所述第2异物检测工序中的评价结果与所述异物的所述位置信息A(平面坐标)中的位置对应起来而作为检查结果进行保存。而且，提供异物的检查方法，在所述转换工序之前，进行如下的工序中的至少三个工序：对卷绕于薄膜辊的薄膜的总卷绕长度进行测量；对所述芯的外径进行测量；对卷绕有薄膜的薄膜辊的外径进行测量；以及对所述薄膜辊上的薄膜的卷绕数进行测量，所述转换工序是根据在所述至少三个工序中得到的测量结果而进行的。另外，本专利技术是一种检查装置，其对卷绕有薄膜的薄膜辊中混入的异物进行检查，其中，该检查装置具有：光学拍摄部，其对卷绕于所述薄膜辊之前的输送中的薄膜进行拍摄；图像处理部，其根据所述光学拍摄部中的拍摄图像来检测异物；存储部，其针对由所述图像处理部检测到的异物，存储至少包含所述薄膜上的位置信息A(平面坐标)中的该异物的位置在内的异物信息；转换部，其将所述位置信息A(平面坐标)中的所述异物的位置转换为卷绕后的所述薄膜辊中的位置信息B(空间坐标)中的所述异物的位置；放射线拍摄部，其检测从放射线源放射的放射线并进行拍摄；对焦部，其使所述放射线源相对本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种异物的检查方法，该异物混入于薄膜辊中，其中，/n该异物的检查方法包含如下的工序：/n第1异物检测工序，针对卷绕于所述薄膜辊之前的输送中的薄膜，使用光学拍摄部检测所述薄膜上的异物，取得至少包含该异物在所述薄膜上的位置信息A(平面坐标)在内的异物信息；/n在所述第1异物检测工序之后将所述薄膜卷绕于芯上而作为薄膜辊的工序；/n转换工序，将所述位置信息A(平面坐标)中的所述异物的位置转换为卷绕后的所述薄膜辊上的位置信息B(空间坐标)中的位置信息；以及/n第2异物检测工序，针对所述薄膜辊使用放射线拍摄部，根据该异物的位置信息B(空间坐标)进行放射线拍摄部的对焦，以使拍摄焦点对准作为检测/评价对象的异物，并且通过所述放射线拍摄部照射放射线，与作为对象的异物的检测一起进行该异物的评价(鉴定)。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180315 JP 2018-0479221.一种异物的检查方法，该异物混入于薄膜辊中，其中，
该异物的检查方法包含如下的工序：
第1异物检测工序，针对卷绕于所述薄膜辊之前的输送中的薄膜，使用光学拍摄部检测所述薄膜上的异物，取得至少包含该异物在所述薄膜上的位置信息A(平面坐标)在内的异物信息；
在所述第1异物检测工序之后将所述薄膜卷绕于芯上而作为薄膜辊的工序；
转换工序，将所述位置信息A(平面坐标)中的所述异物的位置转换为卷绕后的所述薄膜辊上的位置信息B(空间坐标)中的位置信息；以及
第2异物检测工序，针对所述薄膜辊使用放射线拍摄部，根据该异物的位置信息B(空间坐标)进行放射线拍摄部的对焦，以使拍摄焦点对准作为检测/评价对象的异物，并且通过所述放射线拍摄部照射放射线，与作为对象的异物的检测一起进行该异物的评价(鉴定)。


2.根据权利要求1所述的异物的检查方法，其中，
当在所述第1异物检测工序中检测到多个异物的情况下，在所述第2异物检测工序中，使拍摄焦点依次对准所述多个异物的各位置信息B(空间坐标)，检测并评价各异物。


3.根据权利要求1或2所述的异物的检查方法，其中，
所述光学拍摄部是直接透过光学系统，
仅与在所述第1异物检测工序中检测为暗缺陷的异物对应地实施所述第2异物检测工序。


4.根据权利要求1至3中的任意一项所述的异物的检查方法，其中，
所述异物信息包含与检测到的所述异物的大小相关的信息，
仅与为预先设定的阈值以上的异物对应地实施所述第2异物检测工序。


5.根据权利要求1至4中的任意一项所述的异物的检查方法，其中，
该异物的检查方法包含如下的检查结果映射工序：在所述第2异物检测工序之后，将所述第2异物检测工序中的评价结果与所述异物的所述位置信息A(平面坐标)中的位置对应起来而作为检查结果进行保存。


6.根据权利要求5所述的异物的检查方法，其中，
输出在所述检查结果映射工序中建立了对应的所述检查结果。


7.根据权利要求1至6中的任意一项所述的异物的检查方法，其中，
所述薄膜是电池分隔薄膜。


8.根据权利要求1至7中的任意一项所述的异物的检查方法，其中，
在所述转换工序之前，进行如下的工序中的至少三个工序：
对卷绕于薄膜辊的薄膜的总卷...

【专利技术属性】
技术研发人员：渡边充，
申请(专利权)人：东丽株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP