用于产生和烧结细微线条和图案的方法和装置制造方法及图纸

本发明专利技术旨在提供一种在基底上产生小传导迹线的无接触方法。因此，提供用于选择性材料沉积的方法，其包括：将第一材料沉积于基底上；然后通过一个或多个能量束以第一固化图案使第一材料选择性固化；及然后通过大面积光子曝光来推进非固化材料远离基底，在选时、能量及强度上受控以留下第一材料的固化第一图案。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于产生和烧结细微线条和图案的方法和装置
本专利技术有关于用于产生及烧结细线条及图案的经增强方法及装置。
技术介绍
存在数种在基底上产生细线条的方法。这些方法可细分成两个主要类别：以接触以及非接触为基础的沉积方法。典型地，传导膏的印刷基于接触方法。例如，(旋转)丝网印刷包括传导膏的印刷。虽可达成相当高解析度(但仍>20μm)，此方法需要丝网以接触表面。然而，不同的部件堆积体可能由于含有障壁堆积体而不容许接触。为此，期望具有用于提供图案化结构的无接触方法。例如，喷墨印刷具有身为无接触的优点。然而，喷嘴尺寸限制了传导墨水的可使用粒子尺寸，且最大解析度受到分散(低黏度)及滴尺寸所影响。仍想要具有对于来自宽广粘度范围的材料的大面积结构的快速(及无接触)高解析度(<10μm)图案化的经改良的控制。在皮克等人于2010年10月25日先进材料22卷40期4462–4466页的“银纳米膏的激光直接写入的互连件的三维印刷”(“Three-DimensionalPrintingofInterconnectsbyLaserDirect-Write本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于选择性材料沉积的方法，包括：/n将第一材料沉积于基底上；然后/n通过一个或多个能量束以第一固化图案使所述第一材料选择性固化；然后/n通过大面积光子曝光来推进非固化材料远离所述基底，在选时、能量及强度上受控以留下所述第一材料的固化的第一图案。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180131 EP 18154524.51.一种用于选择性材料沉积的方法，包括：
将第一材料沉积于基底上；然后
通过一个或多个能量束以第一固化图案使所述第一材料选择性固化；然后
通过大面积光子曝光来推进非固化材料远离所述基底，在选时、能量及强度上受控以留下所述第一材料的固化的第一图案。


2.根据权利要求1所述的方法，包括：
在通过大面积光子曝光来推进所述非固化材料远离所述基底的步骤之前，通过一个或多个能量束以第二固化图案使所述第一材料选择性固化；其中，所述第二固化图案与所述固化的第一图案互补并建构成在被推进时破碎非固化材料。


3.根据权利要求2所述的方法，其中，所述第二固化图案包括由连续线条、破断线条或点状线条形成的固化体。


4.根据权利要求2或3所述的方法，其中，所述固化的第一图案与所述第二固化图案之间的最小距离介于5与250微米之间。


5.根据权利要求2至4中任一项所述的方法，其中，所述第二固化图案仅包括固化体，该固化体在远离所述第一图案的方向上以至少50微米的范围面对非固化物质。


6.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中，所述第一固化图案包括具有凹口的边缘，以在推进非固化材料远离所述基底期间将被施加在所述边缘上的...

【专利技术属性】
技术研发人员：加里·阿鲁季诺夫，艾德斯格尔·康斯坦·彼得·斯米茨，杰伦·范·登·布兰德，
申请(专利权)人：荷兰应用科学研究会TNO，
类型：发明
国别省市：荷兰;NL