一种超小接触角值的测量所需采用的光学处理装置制造方法及图纸

技术编号:25687544 阅读:57 留言:0更新日期:2020-09-18 21:00
本实用新型专利技术公开了一种超小接触角值的测量所需采用的光学处理装置,属于界面化学分析测试技术领域。它包括包括光学机构、测样机构和成像装置。本实用新型专利技术有效地降低了小接触角液滴时的背景光漫反射导致的无法有效成像或液滴边缘轮廓不清晰的问题;同时,由于在样品台和成像系统中均采用了微米级的二维水平调整机构,也有效的解决了背景光挡光或液滴整体被挡的问题,从而实现了可以高精度、方便地测量小接触角的目的,为半导体、晶圆、空调器等高精密行业测试小接触角值提供了可能,也大大提升了测值的精度和可靠度,测值精度高,操作方便,具有非常高的推广价值。

【技术实现步骤摘要】
一种超小接触角值的测量所需采用的光学处理装置
本技术涉及一种超小接触角值的测量所需采用的光学处理装置,属于界面化学分析测试

技术介绍
接触角是表征固体材料物理化学性质的最重要指标,通常情况下,对于探针液体是蒸馏水或超纯水的情况下,小于10度的接触角值,称为亲水接触角;对于大于140度的接触角值,称为疏水接触角。通常情况下,接触角测试装置包括了背景光源、可XYZ移动的样品台面以及包括相机、显微镜的成像系统,其基本组成类似于卧式显微镜或平整度测试仪。商业化或常规的接触角测试装置对于要求不高或精度要求非严格的情况下可以满足要求,但是,对于特殊情况下,特别是超小接触角值或亲水接触角的测量时,常规的光学设计以及机械结构的配合会严重影响到测值结果的精度,甚至出现无法有效成像的问题。在常规光学设计及其机械结合的组合条件下,在被测试固体材料上滴上水滴后,根本没有有效成像,因而也就无法测试得到有效的接触角值。出现如上无法成像或液滴轮廓边缘不清晰的主要原因在于,在背光成像的光学结构中包括了光源、柔光板的设计,而柔光板会导致背景光形成漫散射本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种超小接触角值的测量所需采用的光学处理装置,其特征在于:包括光学机构、测样机构和成像装置,所述光学机构包括电气盒、背景灯、三角支撑块、可移动结构、遮光板、柔光板、光路结构,所述测样机构包括样品台和两个二维水平调整机构,所述电气盒、测样机构和成像装置从左到右依次设置,所述背景灯和柔光板分别固定安装在电气盒的内部两侧,所述三角支撑块固定安装在电气盒的顶部,所述遮光板通过可移动结构固定在三角支撑块的一侧,且所述遮光板的一侧靠近柔光板,所述样品台固定安装在其中一个二维水平调整机构上,所述成像装置固定安装在另一个所述二维水平调整机构上。/n

【技术特征摘要】
1.一种超小接触角值的测量所需采用的光学处理装置,其特征在于:包括光学机构、测样机构和成像装置,所述光学机构包括电气盒、背景灯、三角支撑块、可移动结构、遮光板、柔光板、光路结构,所述测样机构包括样品台和两个二维水平调整机构,所述电气盒、测样机构和成像装置从左到右依次设置,所述背景灯和柔光板分别固定安装在电气盒的内部两侧,所述三角支撑块固定安装在电气盒的顶部,所述遮光板通过可移动结构固定在三角支撑块的一侧,且所述遮光板的一侧靠近柔光板,所述样品台固定安装在其中一个二维水平调整机构上,所述成像装置固定安装在另一个所述二维水平调整机构上。


2.根据权利要求1所述的一种超小接触角值的测量所需采用的光学处理装置,其特征在于:所述可移动结构包括丝杆、导轨、固定块、滑块,所述固定块通过螺丝固定在三角支撑块的一侧,所述导轨也固定在三角支撑块的一侧,并位于固定块的底端,所述丝杆螺纹套接在固定块上,且所述丝杆的底部与滑块固定连接,所述滑块的一侧与导轨滑动连接,所述遮光板的顶端固定在滑块上,且所述遮光板、柔光板均位于电气盒的同一侧,所述丝杆的一端端部还设有旋钮。


3.根据权利要求1所述的一种超小接触角值的测量所需采用的光学处理装置,其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员:施建辉施语辰
申请(专利权)人:上海梭伦信息科技有限公司
类型:新型
国别省市:上海;31

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