一种极小尺寸红外窄带镀膜滤光片的加工方法技术

本发明专利技术属于光学元件加工技术领域，尤其涉及一种极小尺寸红外窄带镀膜滤光片的加工方法，其特征在于，包括基片清洗、划片、基片切割、扩膜，以及对分别对玻璃小片两面的高温溅射镀膜和对普通UV胶带、耐高温UV胶带的解胶等步骤。通过本发明专利技术所述方法制备滤光片，具有良率高(崩边不良率大概控制在3％以内)，操作简单(仅需贴膜、解胶、揭膜)，可完美避开因玻璃基片太薄，无法承受较大镀膜应力而产生的基片破裂问题；并可完美解决基片在单面镀膜、成膜过程中，因膜层太厚导致翘曲大而引起镀膜或下片过程中产生的破裂问题，突破了膜系设计限制，且侧面有膜层沉积，此可防止外界光线干扰。

【技术实现步骤摘要】
一种极小尺寸红外窄带镀膜滤光片的加工方法
本专利技术属于光学元件加工
，尤其涉及一种极小尺寸红外窄带镀膜滤光片的加工方法。
技术介绍
近两年，TWS真无线蓝牙耳机市场逐渐火热，且出货量一直呈翻倍增长态势，根据IDC数据显示，2018年出货量已达4,600万部，平均年复合增长达到124％。2019年前三季度，全球TWS耳机出货量达到7,750万部，远超去年全年，行业整体呈现高景气度和高成长性。市场的高速增长也带来了越来越激烈的竞争，产品的选择将受重要参数的影响，其中一项是电池续航时间。如何尽可能延长充电后的使用时间，一种方式就是取下耳塞时自动停止播放，戴上耳塞时则再次启动，若需实现此功能必须采用近距离接近传感技术。作为近距离接近传感模组不可缺少的极小红外窄带滤光片部件，将具备广阔的市场空间。另在智能手机中，红外(IR)接近传感器模块中同样会使用到红外窄带镀膜滤光片。红外窄带镀膜滤光片现主要使用到的中心波长有850nm、960nm、1100nm、1380nm等类别。完成镀膜后，为产出率及良率考量，多数厂家优选采用波长为1064本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种极小尺寸红外窄带镀膜滤光片的加工方法，其特征在于，包括如下步骤：/nS1.选片：选取玻璃基片并对其进行超声清洗，然后在所述玻璃基片上贴附普通UV胶带；/nS2.切割：对所述玻璃基片进行激光切割，并断裂成若干玻璃小片；/nS3.扩膜：将粘附有若干所述玻璃小片的普通UV胶带进行扩膜，以扩张所述玻璃小片之间的间距；/nS4.单面镀膜：/nS4.1.通过第一双面耐高温UV胶带，将若干所述玻璃小片固定在第一基板承载盘上；/nS4.2.解胶胶带：解胶普通UV胶带，将普通UV胶带从若干所述玻璃小片上除去；/nS4.3.溅射镀膜：对固定在所述第一基片承载盘上的若干所述玻璃小片的一表面进行高温溅射镀膜，...

【技术特征摘要】
1.一种极小尺寸红外窄带镀膜滤光片的加工方法，其特征在于，包括如下步骤：
S1.选片：选取玻璃基片并对其进行超声清洗，然后在所述玻璃基片上贴附普通UV胶带；
S2.切割：对所述玻璃基片进行激光切割，并断裂成若干玻璃小片；
S3.扩膜：将粘附有若干所述玻璃小片的普通UV胶带进行扩膜，以扩张所述玻璃小片之间的间距；
S4.单面镀膜：
S4.1.通过第一双面耐高温UV胶带，将若干所述玻璃小片固定在第一基板承载盘上；
S4.2.解胶胶带：解胶普通UV胶带，将普通UV胶带从若干所述玻璃小片上除去；
S4.3.溅射镀膜：对固定在所述第一基片承载盘上的若干所述玻璃小片的一表面进行高温溅射镀膜，形成第一镀膜膜层；
S5.双面镀膜：
S5.1.以第一镀膜膜层面为接触面，通过第二双面耐高温UV胶带将镀有第一镀膜膜层的若干所述玻璃小片固定在第二基片承载盘上；
S5.2.二次解胶：解胶第一双面耐高温UV胶带，将第一基片承载盘和第一双面耐高温UV胶带从若干所述玻璃小片上除去；
S5.3.溅射镀膜：对固定在所述第二基片承载盘上的若干所述玻璃小片的另一表面进行高温溅射镀膜，形成第二镀膜膜层；
S6.三次解胶：解胶第二双面耐高温UV胶带，将第二基片承载盘和第二双面耐高温UV胶带从若干所述玻璃小片上除去；
S7.质检：对两面均镀有镀膜膜层的若干所述玻璃小片进行质量检验。


2.根据权利要求1所述的极小尺寸红外窄带镀膜...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴岳，王刚，陈林帆，李飞，
申请(专利权)人：杭州美迪凯光电科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33