微机电系统残余应力表面分布测试方法技术方案

本发明专利技术为微机电系统残余应力表面分布测试方法，涉及微机电系统的一种参量测试方法。本发明专利技术解决拉曼光谱单点、离散测试样品残余应力，激光聚焦尺寸过大、以点代面所造成的局域表面残余应力测试精度极低的问题，以及进一步的对样品局域表面上某一截面下的应力分布梯度无法测量的问题。该包含激光照射样品、样品产生拉曼散射、输出拉曼光谱、分析拉曼光谱的拉曼测试过程，激光的聚焦直径０．３－１μｍ，对被测局域表面先按直线逐点照射，再逐线照射。用不同波长的激光对被测局域表面先按直线逐点照射，再逐线照射。本发明专利技术所述测试方法极大地提高了样品残余应力的测试精度。同时，还可测试样品特定位置不同深度的残余应力梯度变化情况。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种微机电系统残余应力表面分布测试方法，包含激光照射样品、样品产生拉曼散射、输出拉曼光谱、分析拉曼光谱的拉曼测试过程，其特征为：激光的聚焦直径０．３－１μｍ，对被测局域表面先按直线逐点照射，再逐线照射。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：熊继军，薛晨阳，张文栋，张斌珍，桑胜波，
申请(专利权)人：中北大学，
类型：发明
国别省市：14[中国|山西]